محصولات لایه نشانی در خلاء
دستگاه لایه‌نشانی مدل DTE، یک سیستم لایه‌نشانی خلاء بالا به روش تبخیر حرارتی با امکان تبخیر مواد مختلف در خلاء بالا، برای لایه‌نشانی لایه‌های نازک است. دستگاه DTE مقرون به صرفه با محفظه شیشه ای کوچک، مجهز به پمپ توربومولکولاربوده و با دارا بودن منبع تغذیه DC جریان بالا، قادر به لایه‌نشانی گروه وسیعی از مواد می‌باشد.
دستگاه اسپاترینگ و تبخیر حرارتی مناسب برای گلاوباکس مدل DST2-TG، یک سیستم لایه‌نشانی در خلاء بالا با محفظه شیشه‌ای بزرگ، به روش‌های اسپاترینگ و تبخیر حرارتی با قابلیت تغییر نوع لایه‌نشانی (اسپاترینگ/تبخیر حرارتی) و لایه‌نشانی پوشش‌های چندلایه (بدون نیاز به باز کردن درب محفظه) و کنترل از راه دور از طریق Wi-Fi است.
DST3، یک سیستم لایه نشانی در خلاء به روش اسپاترینگ(کند و پاش) با محفظه شیشه‌ای و پمپ توربومولکولار می‌باشد. Triple Target Sputter Coater، مجهز به سه کاتد مگنترون آبگرد دو اینچی بوده و با منابع تغذیه RF و DC، قادر به لایه نشانی گروه وسیعی از مواد شامل فلزات اکسیدی و غیر‌اکسیدی، نیمه هادی‌ها و سرامیک‌ها می‌باشد.
دستگاه مگنترون اسپاترینگ DSR1 از محصولات لایه نشانی در خلاء است که با ابـعاد کوچک و قیمت مناسب، قادر است به روش اسپاترینگ اقدام به لایه نشانی هدف‌هایی از جنس فلزات نجیب مانند طلا، پلاتین و پالادیوم نماید (جدول لایه نشانی مواد) و عمدتا به عنوان پوشش‌دهنده نمونه‌های میکروسکوپ الکترونی در آزمایشگاه های تحقیقاتی مورد استفاده قرار می‌گیرد.
دستگاه لایه نشانی ترکیبی اسپاترینگ و تبخیر حرارتیDST3-T , یک دستگاه لایه نشانی در خلاء، با محفظه شیشه ای بزرگ و پمپ توربومولکولار می باشد. این دستگاه مجهز به سه کاتد مگنترون آبگرد دو اینچی برای انجام لایه نشانی به روش اسپاترینگ(اسپاترینگ کند و پاش) و یک سامانه تبخیر حرارتی برای انجام لایه نشانی …
دستگاه تبخیر حرارتی در خلاء با ابعاد بسیار مناسب در مدل رومیزی قادر است در طی کمتر از ۱۰ دقیقه به فشار مورد نظر رسیده و عملیات لایه نشانی را از سه بوته مختلف شروع کند و اقدام به ساخت انواع لایه های مختلف نماید. قابلیت لایه نشانی از سه منبع تبخیر به صورت همزمان، امکان ایجاد لایه های آلیاژی توسط این دستگاه را فراهم …
،PLD – T یکی از محصولات لایه نشانی در خلاء است که قادر به لایه نشانی رنج وسیعی از مواد با استفاده از لیزر پالسی(لایه نشانی لیزر پالسی) و یا تبخیر حرارتی می باشد. این سیستم خلاء بالا، در روش لایه نشانی با استفاده از لیزر پالسی، منبع تبخیر(لیزر) در خارج از محفظه قرار داده می شود و پرتو لیزر از طریق یک پنجره تحت زوایه مناسب …
دستگاه DCR، یک دستگاه لایه نشانی در خلاء، با ابـعاد کوچک و قیمتی بسیار مناسب است. این دستگاه به روش تبخیر حرارتی، لایه نشانی کربن روی سطوح مختلف را انجام می دهد. به علاوه از آن به عنوان پوشش دهنده نمونه های میکروسکوپ الکترونی روبشی(SEM) در آزمایشگاه های تحقیقاتی مورد استفاده قرار می گیرد.
DST1-300، یک دستگاه لایه نشانی در خلاء به روش اسپاترینگ(کند و پاش) با محفظه شیشه ای و پمپ توربومولکولار می باشد. این دستگاه مجهز به یک کاتد مگنترون بوده و با قابلیت نصب منابع تغذیه RF و DC، قادر به لایه نشانی گروه وسیعی از مواد شامل فلزات(اکسیدی و غیر اکسیدی)، نیمه هادی ها و و سرامیک ها می باشد.
DSCT، یک دستگاه لایه نشانی در خلاء، با دو درِ قابل تعویض به منظور انجام فرایند اسپاترینگ و تبخیر حرارتی کربن می باشد. این دستگاه مجهز به پمپ توربومولکولار بوده و قابلیت اسپاترینگ رنج وسیعی از فلزات را دارا است. این مدل مناسب برای آماده سازی نمونه ها به منظور مشاهده با میکروسکوپ های الکترونی می باشد.
دستگاه پوشش دهنده کربن، با ابـعاد کوچک و قیمتی بسیار مناسب، که قادر به لایه نشانی کربن روی سطوح مختلف با روش تبخیر حرارتی می باشد و عمدتا به عنوان پوشش دهنده نمونه های میکروسکوپ الکترونی روبشی(SEM) در آزمایشگاه های تحقیقاتی مورد استفاده قرار می گیرد. مدل DCT مجهز به پمپ توربو مولکولار …
DST1-170، یک دستگاه لایه نشانی در خلاء به روش اسپاترینگ(کند و پاش) با محفظه شیشه ای و پمپ توربومولکولار می باشد. این دستگاه مجهز به یک کاتد مگنترون بوده و با دارا بودن یک منبع تغذیه DC با توان ۸۰ وات، قادر به لایه نشانی گروه وسیعی از فلزات، می باشد. این مدل مناسب برای آماده سازی …
دستگاه اسپاترینگ، لایه نشان کربن و تبخیر حرارتی – DSCT-T، یک دستگاه با سه در قابل تعویض به منظور انجام فرایند اسپاترینگ، لایه نشانی کربن و تبخیر حرارتی فلزات می‌باشد. این دستگاه مجهز به پمپ توربومولکولار است و قابلیت اسپاترینگ و تبخیر حرارتی طیف وسیعی از فلزات مانند طلا (Au)، آلیاژ پلاتین/پالادیوم (Pt/Pd)، نقره (Ag) و غیره را دارا می‌باشد.
دستگاه DSCR، با ابـعاد کوچک و قیمتی بسیار مناسب قادر است به روش اسپاترینگ اقدام به لایه نشانی هدف هایی از جنس فلزات نجیب مانند طلا، پلاتین و پالادیوم نماید و همچنین این دستگاه با قابلیت تجهیز به سیستم لایه نشان کربن امکان لایه نشانی کربن از نخ کربنی به روش تبخیر حرارتی را نیز فراهم می کند. این سیستم عمدتا به …
دستگاه لایه نشان ترکیبی در خلاء مدل VCS100F یک سیستم لایه نشانی ترکیبی شامل مگنترون اسپاترینگ و تبخیر حرارتی می‌باشد. به دلیل بزرگ‌تر بودن ابعاد محفظه این دستگاه، سیستم تبخیر حرارتی و کاتدهای اسپاترینگ هر دو روی کف محفظه تعبیه شده‌اند و عملیات لایه نشانی از سمت پایین به بالا انجام می‌گیرد.
دستگاه DSCR-300، با محفظه‌ای به قطر ۳۰۰ میلیمتر، یک سیستم لایه نشانی با دو در جداگانه مخصوص لایه نشانی اسپاترینگ و کربن است. دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن، به کاتدهای آبگرد ۳ یا ۴ اینچی متناسب با خواست مشتری تجهیز می‌شود و برای لایه نشانی نمونه‌های بزرگ تا ۱۲ سانتی‌متر با کاتد ۳ اینچی و تا ۱۵ سانتی‌متر با کاتد ۴ اینچی، مناسب است.
جدول محصولات لایه نشانی در خلاء و ویژگی‌های آنها
| PLD-T | PLD | DTT | DTE | DST2-TG | DST3-TS | DST3-TA | DST3-S | DST3-A | DCT | DSCT-T | DSCT | DST1-300 | DST1-170 | DCR | DSCR-300 | DSCR | DSR1 | Options & Features |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | Sputtering | ||||||
| ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | Carbon Evaporation | ||||||||||||
| ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | Resistance Thermal Evaporation | |||||||||||
| ✔ | ✔ | Pulsed Laser Deposition | ||||||||||||||||
| ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | Multi Layer Deposition | ||||||||||
| ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | Co-Sputtering or Co-Evaporation | ||||||||||||||
| ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | RF Power Supply | ||||||||||||
| ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | High Voltage DC Power Supply | ||||||
| ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | High Current Spply | ||||||
| ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | Rotary Pump |
| ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | Turbo Pump | ||||
| L | L | L | S | L | L | L | L | L | S | S | S | L | S | S | L | S | S | Size of Vacuum Chamber* |
| ۳ | ۳ | ۳ | ۱ | ۳ | ۳ | ۳ | ۳ | ۳ | ۱ | ۱ | ۱ | ۱ | ۱ | ۱ | ۱ | Number of Targets or Thermal Sources |