NSC PLD 3000px Product Page

دستگاه لایه نشانی با لیزر پالسی و تبخیر حرارتی – PLD-T یک سیستم لایه نشانی خلاء بالا است که میتواند لایه نشانی با لیزر پالسی و یا تبخیر حرارتی رنج وسیعی از مواد را انجام دهد. در روش لایه نشانی به کمک لیزر پالسی، منبع تبخیر (لیزر) در خارج از محفظه قرار داده می‌شود و پرتو لیزر از طریق یک پنجره تحت زاویه مناسب به سطح هدف که در حال دوران است، برخورد کرده و اتم‌های جدا شده از سطح هدف روی زیر لایه نشانده می‌شوند.

در این روش پالس لیزر با زمان خیزش کمتر از چند نانو ثانیه به ماده مورد نظر تابانده شده و موجب تبخیر ماده مورد نظر بدون تغییر استوکیومتری می‌شود. این روش برای لایه نشانی مواد ترکیبی مثل نیترات‌ها، اکسیدها، پلیمرها، ابر شبکه‌ای ها و … بسیار مناسب می‌باشد. به علاوه سیستم لایه نشانی با لیزر پالسی، دارای یک منبع تبخیر حرارتی با قابلیت فعال‌سازی سه بوته یا بسکت بوده و امکان انجام لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی برای کاربرد‌های لایه نازک را نیز فراهم می‌کند.

نگهدارنده و چرخاننده تارگت‌ها

در دستگاه لایه نشانی با لیزر پالسی و تبخیر حرارتی – PLD-T، در صورتی که پرتوی لیزر برای مدتی رو یک نقطه از تارگت تابیده شود، موجب آسیب دیدن آن نقطه و سوراخ شدن تارگت می‌شود. به همین جهت این دستگاه لایه نشان لیزر پالسی و تبخیر حرارتی، مجهز به یک سیستم نگهدارنده و چرخاننده تارگت (Target Manipulator) است که قابلیت نگهداری سه تارگت با قطر ۲ سانتی‌متر را دارا می‌باشد.

تجهیزات اضافه و لوازم جانبی

  • منابع تبخیر حرارتی (بوته، بسکت و سیم‌پیچ)
  • هیتر ۵۰۰ درجه زیرلایه
  • سنسورکریستال کوارتز
  • مواد تبخیر شونده
  • شیشه یدک محفظه خلاء به همراه لاستیک‌های آب‌بندی دور شیشه

سایر مشخصات دستگاه

سرعت پمپاژ ۹۰ l/s ۳۵۰ l/s
فشار نهایی ۷ x10 Torr ۷ x10 Torr
  • پمپ پشتیبان روتاری دو مرحله‌ای
  • فشارسنج فول رنج (آلمانی)
  • دارای MFC به منظور کنترل دقیق فشار داخل محفظه
  • قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
  • دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات
  • ابعاد: قطر ۶۰ سانتی متر × عرض ۴۷ سانتی متر ×  ارتفاع ۵۰ سانتی متر
  • برق ورودی: ۲۲۰V- 50HZ- 16A
  • وزن حدود Kg 70

مشخصات دستگاه لایه نشانی با لیزر پالسی و تبخیر حرارتی

  • نگهدارنده و چرخاننده تارگت‌ها با قابلیت تنظیم سرعت چرخش
  • مجهز به سه نگهدارنده بوته و فیدتروهای الکتریکی مخصوص
  • ضخامت‌سنج کریستال کوارتز با دقت اندازه‌گیری یک نانومتر شامل اسیلاتور و نگهدارنده کریستال با قابلیت اندازه‌گیری ضخامت در حین لایه نشانی
  • صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
  • نرم‌افزاری با کاربری آسان و قابلیت به‌روز‌رسانی از طریق شبکه
  • نگهدارنده زیر لایه با قابلیت چرخش
  • مجهز به هیتر زیرلایه ۵۰۰ درجه سانتیگراد
  • مجهز به شاتر الکترونیکی
  • مجهز به سیستم انتخاب بوته/بسکت
  • بسته‌بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب‌دیدگی دستگاه در حین حمل
  • یک سال گارانتی کامل
  • Plasma Cleaning

صفحه نمایش رنگی

دستگاه مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می‌باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می‌شود. با توجه به کاربری ساده نرم‌افزار سیستم، کاربر می‌تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا می‌باشد.

touch PLD

محصولات مشابه