دستگاه لایه نشانی با لیزر پالسی و تبخیر حرارتی – PLD-T یک سیستم لایه نشانی خلاء بالا است که میتواند لایه نشانی با لیزر پالسی و یا تبخیر حرارتی رنج وسیعی از مواد را انجام دهد. در روش لایه نشانی به کمک لیزر پالسی، منبع تبخیر (لیزر) در خارج از محفظه قرار داده می‌شود و پرتو لیزر از طریق یک پنجره تحت زاویه مناسب به سطح هدف که در حال دوران است، برخورد کرده و اتم‌های جدا شده از سطح هدف روی زیر لایه نشانده می‌شوند.
در این روش پالس لیزر با زمان خیزش کمتر از چند نانو ثانیه به ماده مورد نظر تابانده شده و موجب تبخیر ماده مورد نظر بدون تغییر استوکیومتری می‌شود. این روش برای لایه نشانی مواد ترکیبی مثل نیترات‌ها، اکسیدها، پلیمرها، ابر شبکه‌ای ها و … بسیار مناسب می‌باشد. به علاوه سیستم لایه نشانی با لیزر پالسی، دارای یک منبع تبخیر حرارتی با قابلیت فعال‌سازی سه بوته یا بسکت بوده و امکان انجام لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی برای کاربرد‌های لایه نازک را نیز فراهم می‌کند.
نگهدارنده و چرخاننده تارگت‌ها
در دستگاه لایه نشانی با لیزر پالسی و تبخیر حرارتی – PLD-T، در صورتی که پرتوی لیزر برای مدتی رو یک نقطه از تارگت تابیده شود، موجب آسیب دیدن آن نقطه و سوراخ شدن تارگت می‌شود. به همین جهت این دستگاه لایه نشان لیزر پالسی و تبخیر حرارتی، مجهز به یک سیستم نگهدارنده و چرخاننده تارگت (Target Manipulator) است که قابلیت نگهداری سه تارگت با قطر ۲ سانتی‌متر را دارا می‌باشد.
تجهیزات اضافه و لوازم جانبی
- منابع تبخیر حرارتی (بوته، بسکت و سیم‌پیچ)
- هیتر ۵۰۰ درجه زیرلایه
- سنسورکریستال کوارتز
- مواد تبخیر شونده
- شیشه یدک محفظه خلاء به همراه لاستیک‌های آب‌بندی دور شیشه
سایر مشخصات دستگاه
- پمپ توربومولکولار خلاء بالا (آلمانی)
| سرعت پمپاژ | ۹۰ l/s | ۳۵۰ l/s |
| فشار نهایی | ۷ x10-۶ Torr | ۷ x10-۷ Torr |
- پمپ پشتیبان روتاری دو مرحله‌ای
- فشارسنج فول رنج (آلمانی)
- دارای MFC به منظور کنترل دقیق فشار داخل محفظه
- قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
- دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات
- ابعاد: قطر ۶۰ سانتی متر × عرض ۴۷ سانتی متر × ارتفاع ۵۰ سانتی متر
- برق ورودی: ۲۲۰V- 50HZ- 16A
- وزن حدود Kg 70
مشخصات دستگاه لایه نشانی با لیزر پالسی و تبخیر حرارتی
- نگهدارنده و چرخاننده تارگت‌ها با قابلیت تنظیم سرعت چرخش
- مجهز به سه نگهدارنده بوته و فیدتروهای الکتریکی مخصوص
- ضخامت‌سنج کریستال کوارتز با دقت اندازه‌گیری یک نانومتر شامل اسیلاتور و نگهدارنده کریستال با قابلیت اندازه‌گیری ضخامت در حین لایه نشانی
- صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
- نرم‌افزاری با کاربری آسان و قابلیت به‌روز‌رسانی از طریق شبکه
- نگهدارنده زیر لایه با قابلیت چرخش
- مجهز به هیتر زیرلایه ۵۰۰ درجه سانتیگراد
- مجهز به شاتر الکترونیکی
- مجهز به سیستم انتخاب بوته/بسکت
- بسته‌بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب‌دیدگی دستگاه در حین حمل
- یک سال گارانتی کامل
- Plasma Cleaning
صفحه نمایش رنگی
دستگاه مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می‌باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می‌شود. با توجه به کاربری ساده نرم‌افزار سیستم، کاربر میتواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا می‌باشد.
