DST3، یک سیستم لایه نشانی در خلاء به روش اسپاترینگ (کند و پاش) با محفظه شیشه ای و پمپ توربومولکولار می باشد. این دستگاه مجهز به سه کاتد مگنترون آبگرد دو اینچی بوده و با دارا بودن منابع تغذیه RF و DC، قادر به لایه نشانی گروه وسیعی از مواد شامل فلزات (اکسیدی و غیر اکسیدی)، نیمه هادی ها و سرامیک ها می باشد. دستگاه مجهز به سه کاتد مگنترون آبگرد ۲ اینچی و محفظه خلاء بزرگ است که این سیستم را برای لایه نشانی طولانی مدت مناسب می سازد. به منظور افزایش چسبندگی لایه نازک لایه نشانی شده به زیرلایه، امکان اعمال ۳۰۰ ولت ولتاژ بایاس به زیرلایه نیز وجود دارد (در صورت در خواست). DST3، مجهز به یک منبع تغذیه RF به همراه مچینگ باکس اتوماتیک است که امکان لایه نشانی دی الکتریک ها را نیز فراهم می آورد.

angels DST3-A
angels second DST3-A

DST3 با توجه به حالت قرار گرفتن کاتدهای آن دارای دو مدل می باشد:

 

DST3-A کاتدهای با زاویه

مدل DST3-A با بکارگیری سه کاتد زاویه دار با نقطه کانونی مشترک، قادر به انجام لایه نشانی مستقل یا متمرکز و همزمان دو یا سه کاتد است و علاوه بر ساخت چند لایه ای ها امکان آلیاژ سازی را نیز فراهم می کند. قابلیت چرخش زیر لایه این سیستم باعث یکنواختی بسیار خوب لایه رشد داده شده می شود. همچنین بدلیل امکان زاویه دادن به زیر لایه نسبت به کاتدها می توان انواع لایه ها را به صورت ستونی رشد داد (Glad Sputtering). حداکثر قطر زیرلایه در این سیستم، ۳ اینچ است.

DST3-S کاتدهای خطی (یا مستقیم)

مدل DST3-S با دارا بودن سه کاتد با قطر دو اینچ که بدون زاویه کنار یکدیگر قرار گرفته اند، برای لایه نشانی بر روی تک نمونه های بزرگ با قطری حدود ۲۰ سانتی متر و یا چندین قطعه با ابعاد کوچکتر در این محدوده مناسب می باشد. این دستگاه برای اطمینان از یکنواختی لایه در تمام سطح نمونه های بزرگ، مجهز به سه کاتد مگنترون گردیده است.

مشخصات دستگاه

 

  • پمپ توربومولکولار خلاء بالا (آلمانی)
سرعت پمپاژ ۹۰ l/s ۳۵۰ l/s
فشار نهایی ۲ x10 Torr ۵ x10 Torr
  • پمپ پشتیبان روتاری دو مرحله ای
  • فشارسنج فول رنج (آلمانی)
  • سه کاتد آبگرد ۲ اینچی
  • محفظه خلاء بزرگ (قطر ۳۰۰ میلیمتر) مناسب برای لایه نشانی نمونه های بزرگ
  • مجهز به سیستم انتخاب تارگت (برای قرار گرفتن زیرلایه مقابل تارگت مورد نظر)
  • امکان لایه نشانی همزمان از دو یا سه کاتد برای ایجاد آلیاژها (Co-Sputtering)
  • دو ضخامت سنج کریستالی کوارتز  شامل اسیلاتور و نگهدارنده کریستال با قابلیت اندازه گیری ضخامت در حین لایه نشانی
  • کنترل فرآیند لایه نشانی بر اساس زمان یا ضخامت
  • کنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر با استفاده از ضخامت سنج کریستالی
  • نگهدارنده زیرلایه با قابلیت چرخش و امکان تنظیم ارتفاع و زاویه
  • صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
  • نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه
  • قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
  • دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات
  • مجهز به شاتر الکترونیکی
  • هیتر زیرلایه ۵۰۰ درجه (در صورت درخواست)
  • ۳۰۰ ولت، ولتاژ بایاس زیرلایه (در صورت درخواست)
  • یک سال گارانتی کامل
  • بسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حمل
DST3-T with ray

محفظه خلاء بالا

محفظه خلاء دستگاه شامل یک مخزن استوانه ای از جنس پیرکس به قطر mm300 و ارتفاع  mm 250 همراه با اورینگهای ال شکل می باشد. دستگاه مجهز به پمپ توربومولکولار خلاء بالا می باشد که توسط یک پمپ روتاری دو مرحله ای پشتیبانی می شود و در نتیجه هیچ گونه آلودگی ناشی از روغن (که از ویژگی های پمپ های دیفیوژنی است)  وارد محفظه خلاء نمی شود و لایه نشانی در یک محیط بسیار تمیز انجام می شود.

touch DST3-T
DST3-A three shots

صفحه نمایش رنگی

دستگاه مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده این نرم افزار، کاربر می تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا می باشد. کاربر می تواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف می شود.

تجهیزات اضافه و لوازم جانبی

  • ولتاژ بایاس زیرلایه
  • سنسورکریستال کوارتز
  • شیشه یدک محفظه خلاء به همراه لاستیک های آب بندی دور شیشه
  • تارگت های اسپاترینگ

سایر مشخصات دستگاه

  • کنترل خودکار توان لایه نشانی به صورت مستقل از فشار
  • کنترل خودکار دمای کاتدها در جهت بالا بردن طول عمر مگنت ها
  • رسم منحنی های فشار و ضخامت
  • محفظه از جنس پیرکس با ارتفاع  mm 250 و قطر خارجی mm 300
  • دو عدد MFC به منظور کنترل دقیق فشار داخل محفظه
  • قابلیت نگهداری نمونه ها در خلأ
  • قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
  • شاتر الکترونیکی
  • ابعاد: قطر ۵۰سانتی متر × عرض ۴۷ سانتی متر ×  ارتفاع ۶۰ سانتی متر
  • برق ورودی: ۲۲۰V- 50HZ- 16A
  • وزن همراه با راک حدود Kg 120

نمونه پکیج بسته بندی دستگاه ها

نمونه ویدئو کلیپ دستگاه ها

کاتالوگ DST3

محصولات مشابه

Product Details
product image
Rating
۵ based on ۱ votes
Brand Name
Nano-Strtuctured Coatings Co
Product Name
DST3-A