مگنترون اسپاترینگ رومیزی تک کاتد، مدل DSR1، با ابـعاد کوچک و قیمتی بسیار مناسب، قادر است به روش اسپاترینگ اقدام به لایه نشانی هدف هایی از جنس فلزات نجیب مانند طلا، پلاتین و پالادیوم نموده و عمدتا به عنوان پوشش دهنده نمونه های میکروسکوپ الکترونی در آزمایشگاه های تحقیقاتی مورد استفاده قرار می گیرد. ایجاد پوشش یکنواخت با دانه بندی ریز از توانایی های این سیستم لایه نشانی می باشد. با کنترل اتوماتیـک یا دستی فرایند خـلأ سازی و لایه نشانی می توان لایه هایـی با دقت ضخـامت ۱ نانومــتر تولید کرد.

DSR1 full face

مشخصات دستگاه

  • کنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر با استفاده از ضخامت سنج کریستالی
  • صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
  • نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه
  • قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
  • دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات
  • یک سال گارانتی کامل
  • بسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حمل
  • دارای گواهی بین المللی CE برای اجازه ورود به بازار اتحادیه اروپا

کاربردها

سیستم لایه نشانی در خلاء مدل DSR1 برای ایجاد لایه های نانومتری ، ایجاد اتصالات الکتریکی بسیار ظریف در حوزه نانو تکنولوژی و ​میکرو الکترونیک بسیار قابل استفاده می باشد. اصلی ترین کاربرد این دستگاه به عنوان پوشش دهنده نمونه های عایق به منظور مشاهده آنها با میکروسکوپ الکترونی (SEM) می باشد. یکی دیگر از کاربردهای این دستگاه در آزمایشگاه های لایه نشانی، نانو تکنولوژی و الکترونیک بوده و ابزار آموزشی بسیار مناسبی برای آشنا نمودن دانشجویان و دانش آموزان با مقوله خلأ، پلاسما و لایه نشانی می باشد.

لازم به ذکر است برای لایه نشانی انواع فلزات اکسیدی و غیر اکسیدی مدل DST1 که مجهز به پمپ توربو مولکولار می باشد توصیه می گردد.

touch DSR1/DCR
monitor DSR1/DCR

صفحه نمایش رنگی

دستگاه لایه نشانی به روش کند و پاش (اسپاترینگ) مدل DSR1 مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده نرم افزار سیستم، کاربر می تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا می باشد.

کاربر می تواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف می شود

سیستم  چرخاننده زیر لایه

چرخش زیرلایه در هنگام لایه نشانی به منظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات این سیستم لایه نشانی می باشد. همچنین دستگاه قابلیت مجهز شدن به سیستم چرخاننده سیاره ای زیرلایه را نیز دارا می باشد. حرکت سیاره ای ( در سه جهت x,y,z ) موجب می شود تا درون حفره های نمونه های متخلخل نیز به خوبی پوشش داده شوند. نگهدارنده نمونه می تواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارنده های نمونه در این دستگاه بسیار ساده بوده و کاربر به سادگی قادر به انجام آن می باشد.

تجهیزات اضافه و لوازم جانبی

  • سنسورکریستال کوارتز
  • چرخاننده نمونه سیاره ای
  • شیشه یدک محفظه خلاء همراه با لاستیکهای آب بندی دور شیشه
  • تارگت های اسپاترینگ

سایر مشخصات دستگاه

  • پمپ روتاری دو مرحله ای   m۳/h4
  • فشار نهایی کمتر از ۴۰ میلی تور
  • محفظه از جنس پیرکس با ارتفاع  mm 140 و قطر خارجی mm 170
  • دارای یک کاتد مگنترون دو اینچی
  • منبع تغذیه سوئیچینگ DC  با توان ۸۰ وات
  • نگهدارانده زیر لایه با قابلیت چرخش
  • دارای دو مد کنترل اتوماتیک و دستی
  • کنترل فرآیند لایه نشانی بر اساس زمان یا ضخامت
  • قابلیت نگهداری نمونه ها در خلأ
  • تنظیم فشار داخل محفظه توسط شیر الکتریکی
  • شاتر الکترونیکی
  • ابعاد: ۴۵۰*۵۰۰*۳۷۰ میلیمتر
  • وزن دستگاه همراه با پمپ ۴۲ کیلوگرم

نمونه بسته بندی دستگاه

ویدئو کلیپ DSR1

کاتالوگ DSR1

محصولات مشابه

Product Details
product image
Author Rating
1star1star1star1star1star
Rating
۵ based on ۲ votes
Brand Name
Nano-Strtuctured Coatings Co
Product Name
DSR1