دستگاه اسپاترینگ سه کاتده و تبخیر حرارتی – DST3-T

دستگاه اسپاترینگ سه کاتده و تبخیر حرارتی – DST3-T یک سیستم لایه نشانی در خلاء با محفظه شیشه‌ای بزرگ و پمپ توربومولکولار می‌باشد. این دستگاه مجهز به سه کاتد مگنترون آبگرد دو اینچی برای انجام لایه نشانی به روش اسپاترینگ (کندوپاش) و یک سامانه تبخیر حرارتی برای انجام لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی بوده و با دارا بودن منابع تغذیه RF و DC، قادر به لایه نشانی گروه وسیعی از مواد شامل فلزات (اکسیدی و غیر اکسیدی)، نیمه هادی‌ها و سرامیک‌ها می‌باشد.

دستگاه اسپاترینگ سه کاتده و تبخیر حرارتی، مجهز به سه کاتد مگنترون آبگرد ۲ اینچی و محفظه خلاء بزرگ است که این سیستم را برای لایه نشانی طولانی مدت مناسب می‌سازد. به منظور افزایش چسبندگی لایه نازک لایه نشانی شده به زیرلایه، امکان اعمال ۳۰۰ ولت ولتاژ بایاس به زیرلایه و همچنین امکان تمیز کردن سطح زیرلایه با پلاسما یا Plasma Cleaning نیز وجود دارد (در صورت در خواست). به علاوه، DST3-T مجهز به یک منبع تغذیه RF به همراه مچینگ باکس اتوماتیک است که امکان لایه نشانی دی الکتریک‌ها را نیز فراهم می‌آورد.

درخواست صدور پیش فاکتور

DST3-T با توجه به حالت قرار گرفتن کاتدهای آن دارای دو مدل می‌باشد:

DST3-TA – کاتدهای با زاویه

مدل DST3-TA با بکارگیری سه کاتد زاویه دار با نقطه کانونی مشترک، قادر به انجام لایه نشانی مستقل یا متمرکز و همزمان دو یا سه کاتد (Co-Deposition) است و علاوه بر ساخت چند لایه‌ای‌ها امکان آلیاژ‌سازی را نیز فراهم می‌کند. قابلیت چرخش زیر لایه این سیستم باعث یکنواختی بسیار خوب لایه رشد داده شده می‌شود. همچنین به دلیل امکان زاویه دادن به زیر لایه نسبت به کاتدها میتوان انواع لایه‌ها را به صورت ستونی رشد داد (Glad Sputtering). حداکثر قطر زیرلایه در این سیستم، ۳ اینچ است.

DST3-TS– کاتدهای خطی (یا مستقیم)

مدل DST3-TS با دارا بودن سه کاتد با قطر دو اینچ که بدون زاویه کنار یکدیگر قرار گرفته‌اند، برای لایه نشانی بر روی تک نمونه‌های بزرگ با قطری حدود ۲۰ سانتی‌متر و یا چندین قطعه با ابعاد کوچکتر در این محدوده مناسب می‌باشد. این دستگاه برای اطمینان از یکنواختی لایه در تمام سطح نمونه‌های بزرگ، مجهز به سه کاتد مگنترون گردیده است.

تبخیر حرارتی

دستگاه ترکیبی اسپاترینگ سه کاتده و تبخیر حرارتی، مجهز یه یک منبع تغذیه جریان بالا و یک جفت الکترود مسی برای انجام لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی است. انواع مختلفی از قایقک، بسکت و یا سیم‌پیچ (Boat, Basket, and coil) قابل نصب بر روی این سیستم می‌باشند. به علاوه، اسپاترینگ سه کاتده و تبخیر حرارتی – DST3-T، امکان لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی رنج وسیعی از مواد را فراهم آورده است.

مشخصات دستگاه

امکان انجام اسپاترینگ و تبخیر حرارتی در یک سیستم (به صورت غیر همزمان)
محفظه خلاء بالا
مجهز به منابع تغذیه DC ،RF و High current
سه کاتد آبگرد دو اینچی با قابلیت لایه نشانی فیلم‌های چند‌لایه‌ای و آلیاژها (Co-Sputtering)
یک عدد سامانه تبخیر حرارتی به منظور انجام لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی
دو ضخامت سنج کریستالی کوارتز شامل اسیلاتور و نگهدارنده کریستال با قابلیت اندازه‌گیری ضخامت در حین لایه نشانی
دو عدد MFC به منظور کنترل دقیق فشار داخل محفظه
کنترل فرآیند لایه نشانی بر اساس زمان یا ضخامت
صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
نرم‌افزاری با کاربری آسان و قابلیت به‌روز‌رسانی از طریق شبکه
نگهدارنده زیرلایه با قابلیت چرخش و امکان تنظیم ارتفاع و زاویه
کنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر با استفاده از ضخامت سنج کریستالی
محفظه خلاء بزرگ (قطر ۳۰۰ میلیمتر) مناسب برای لایه نشانی نمونه‌های بزرگ
هیتر زیرلایه ۵۰۰ درجه (در صورت درخواست)
۳۰۰ ولت، ولتاژ بایاس زیرلایه (در صورت درخواست)
مجهز به شاتر الکترونیکی
مجهز به سیستم تمیزکننده سطح نمونه با استفاده از پلاسما (در صورت درخواست)
قابلیت لایه نشانی به صورت پیوسته بدون محدودیت زمانی
یک سال گارانتی کامل
بسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حمل
GLAD Sputtering
Plasma Cleaning

کاربردها

ایجاد لایه نازک‌هایی از جنس فلزات، نیمه هادی‌ها و دی‌الکتریک‌ها
زمینه‌های نانو و میکرو الکترونیک
ساخت سلول‌های خورشیدی
فرایند لایه نشانی آلیاژها (Co-Sputtering)
اپتیک و فوتونیک
سنسورهای لایه نازک
ساخت حافظه‌های رایانه‌ای
آماده‌سازی نمونه‌های میکروسکوپ الکترونی

محفظه خلاء بالا

محفظه خلاء دستگاه شامل یک مخزن استوانه ای از جنس پیرکس به قطر mm300 و ارتفاع mm 250 همراه با اورینگهای ال شکل می باشد. دستگاه مجهز به پمپ توربومولکولار خلاء بالا می باشد که توسط یک پمپ روتاری دو مرحله ای پشتیبانی می شود و در نتیجه هیچ گونه آلودگی ناشی از روغن (که از ویژگی های پمپ های دیفیوژنی است) وارد محفظه خلاء نمی شود و لایه نشانی در یک محیط بسیار تمیز انجام می شود.

صفحه نمایش رنگی

دستگاه مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده این نرم افزار، کاربر می تواند اطلاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید.

همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا می باشد. کاربر می تواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف می شود.

سیستم تمیز کننده سطح زیرلایه با استفاده از پلاسما (Plasma Cleaner)

DST3-T امکان مجهز شدن به سیستم تمیز کننده سطح زیرلایه با استفاده از پلاسما را دارا می باشد (در صورت درخواست مشتری). تمیز کردن سطح نمونه با استفاده از پلاسما فرایندی است که طی آن مواد ارگانیک موجود روی سطح نمونه که موجب عدم چسبندگی مناسب لایه نازک به زیرلایه می شوند، در اثر برخورد گاز یونیزه شده از بین بروند.

نگهدارنده زیرلایه

نگهدارنده زیرلایه دستگاه براساس سایز متداول لامهای میکروسکوپ ساخته شده ولی کاربر میتواند متناسب با نیاز خود سفارش ساخت آن را به شرکت ارسال کند یا خود راسا اقدام به ساخت کند و به راحتی با باز کردن پیچی که نگهدارنده نمونه را به موتور چرخاننده زیرلایه متصل کرده آن را جایگزین کند. بر روی نگهدارنده زیرلایه تعدادی سوراخ و قلاویز ایجاد شده است تا در صورت نیاز کاربر بتواند نمونه های کوچک خود را با نگهدارنده های ساده ای نگهدارد تا در حین چرخش نیفتند.