دستگاه لایه نشانی ترکیبی اسپاترینگ و تبخیر حرارتیDST3-T

دستگاه لایه نشانی ترکیبی اسپاترینگ و تبخیر حرارتیDST3-T , یک سیستم لایه نشانی در خلاء با محفظه شیشه ای بزرگ و پمپ توربومولکولار می باشد.  این دستگاه مجهز به سه کاتد مگنترون آبگرد دو اینچی برای انجام لایه نشانی به روش اسپاترینگ(اسپاترینگ کند و پاش) و یک سامانه تبخیر حرارتی برای انجام لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی بوده و با دارا بودن منابع تغذیه RF و DC، قادر به لایه نشانی گروه وسیعی از مواد شامل فلزات (اکسیدی و غیر اکسیدی)، نیمه هادی ها و سرامیک ها می باشد.

کاربردها
از جمله کاربردهای دستگاه DST3T می توان به موارد زیر اشاره کرد:
  •  ساخت انواع سنسورهای لایه نازک و سلولهای خورشیدی
  •  ساخت ادوات اپتیکی، نانو الکترونیک و میکروالکترونیک
  •  ساخت سنسورهای مغناطیسی لایه نازک
  •  رساناهای شفاف (لایه بسیار نازکی که نور می تواند از آن بگذرد)،
  •  لایه های نازک کنترل کننده حرارت،
  •  GLAD Sputtering
  •  آماده سازی نمونه های میکروسکوپ الکترونی (SEM)

محفظه خلاء شیشه ای عاری از هر گونه آلودگی

محفظه خلاء دستگاه شامل یک مخزن استوانه اي از جنس پيرکس به قطر  mm 300 و ارتفاع  mm 200 همراه با اورينگهاي ال شکل می باشد. دستگاه مجهز به پمپ توربومولکولار خلاء بالا می باشد که توسط یک پمپ دیافراگمی پشتیبانی می شود و در نتیجه هیچ گونه آلودگی ناشی از روغن (که از ویژگی های پمپ های دیفیوژنی است)  وارد محفظه خلاء نمی شود و لایه نشانی در یک محیط بسیار تمیز انجام می شود.

مشخصات دستگاه

  • مجهز به پمپ توربو مولکولار خلاء بالا 90 l/s (آلماني) و پمپ پشتیبان دیافراگمی (آلمانی)
  •  خلاء نهايي 2 × 10​-5 torr
  •  فشار سنج ترکيبي با قابليت قرائت فشار از اتمسفر تا 10-9 torr (آلماني)
  •  سه  عدد کاتد دو اينچي که با آب خنک می شوند
  •  یک عدد سامانه تبخیر حرارتی به منظور انجام لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی
  •  توانایی لایه نشانی همزمان از سه کاتد (Co-Sputtering) و آلیاژسازی
  •  ضخامت سنج کريستال کوارتز با دقت اندازه گيري يک نانومتر شامل اسيلاتور و نگهدارنده کريستال باقابليت اندازه گيري ضخامت در حين لايه نشاني
  •  صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
  •  نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه
  •  نگهدارانده زیر لایه با قابلیت چرخش و زاویه دادن
  •  مجهز به هیتر زیرلایه 500 درجه سانتیگراد
  •  قابلیت اعمال ولتاژ بایاس به زیرلایه تا 350 ولت
  •  کنترل نرخ لايه نشاني براي هر کاتد به صورت مستقل به منظور رسيدن به ساختاری با مرزدانه های ظریف تر
  •  لایه نشانی محدوده وسیعی از فلزات (اکسیدی و غیراکسیدی)، سرامیک ها و دی الکتریک ها
  •  قابلیت لایه نشانی به صورت پیوسته بدون محدودیت زمانی
  •  یک سال گارانتی کامل

صفحه نمایش رنگی

دستگاه مجهز به یک مانیتور لمسی 7 اینچی تمام رنگی می باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده این نرم افزار، کاربر می تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی(فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به 300 لایه نشانی آخر را دارا می باشد.

touch DST3-T
monitor DST3-T
internal DST3-T

کاتدهای اسپاترینگ

این مدل دارای سه کاتد زاویه دار با نقطه کانونی مشترک می باشد که امکان لایه نشانی همزمان از سه کاتد برای ایجاد آلیاژها و یا لایه نشانی از تک کاتد (با توجه به وجود شاتر)  به منظور ایجاد چند لایه ای ها را بدون خارج شدن از خلاء فراهم می کند. کاتدهای آبگرد  موجب می شوند تا کاربر بدون محدودیت زمانی و به صورت پیوسته لایه نشانی انجام دهد.

سایر ویژگی های دستگاه DST3

  • منبع تغذيه DC صفر تا هزار ميلي آمپر با قابليت کنترل و نمايش ولتاژ و جريان
  •  منیع تغذیه جریان بالا براي تبخير حرارتي KW 2.5
  •  منبع تغذیه RF با توان 300 وات به همراه مچینگ باکس
  •  تنظيم زمان و يا ضخامت فرايند لايه نشاني به صورت دستي و خودکار
  •  مجهز به نگهدارنده نمونه قابل چرخش که توانايي کج شدن در جهت کاتد ها را دارد
  •  دو عدد MFC براي کنترل فشار محفظه خلاء و ورود گاز به محفظه
  •  کنترل خودکار توان لايه نشاني به صورت مستقل از فشار
  •  کنترل خودکار دماي کاتدها در جهت بالا بردن طول عمر مگنت ها
  •  قابليت ورود سريع داده ها با استفاده از کنترل لمسي و تمام خودکار
  •  رسم منحني هاي فشار و ضخامت
  •  انتقال منحني ها و داده هاي فرآيند لايه نشاني بوسيله ي USB به کامپيوتر
  •  برق ورودي V 220 – 50 HZ- 16 A
  •  وزن همراه با راک حدود Kg 90
  •  ابعاد: قطر 50 سانتي متر × عرض 65 سانتي متر × ارتفاع 60 سانتي متر

تجهیزات اضافه و لوازم جانبی

  • دستگاه دارای هیتر تحت خلاء، شیشه یدک، کریستال کوارتز، منابع تبخیر و تارگت های اسپاترینگ می باشد.

نمونه پکیج بسته بندی دستگاه ها

1Standard-Packaging-min-569x1024

نمونه ویدئو کلیپ دستگاه ها

کاتالوگ DST3-T

محصولات مشابه

Product Details
product image
Rating
5 based on 1 votes
Brand Name
Nano-Strtuctured Coatings Co
Product Name
DST3-T