DST3-T، یک سیستم لایه نشانی در خلاء با محفظه شیشه ای بزرگ و پمپ توربومولکولار می باشد. این دستگاه مجهز به سه کاتد مگنترون آبگرد دو اینچی برای انجام لایه نشانی به روش اسپاترینگ (کندوپاش) و یک سامانه تبخیر حرارتی برای انجام لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی بوده و با دارا بودن منابع تغذیه RF و DC، قادر به لایه نشانی گروه وسیعی از مواد شامل فلزات (اکسیدی و غیر اکسیدی)، نیمه هادی ها و سرامیک ها می باشد.

دستگاه مجهز به سه کاتد مگنترون آبگرد ۲ اینچی و محفظه خلاء بزرگ است که این سیستم را برای لایه نشانی طولانی مدت مناسب می سازد. به منظور افزایش چسبندگی لایه نازک لایه نشانی شده به زیرلایه، امکان اعمال ۳۰۰ ولت ولتاژ بایاس به زیرلایه و همچنین امکان تمیز کردن سطح زیرلایه با پلاسما نیز وجود دارد (در صورت در خواست). DST3-T مجهز به یک منبع تغذیه RF به همراه مچینگ باکس اتوماتیک است که امکان لایه نشانی دی الکتریک ها را نیز فراهم می آورد.

DST3-T با توجه به حالت قرار گرفتن کاتدهای آن دارای دو مدل می باشد:

angels DST3-A
angels second DST3-A

DST3-TA کاتدهای با زاویه

مدل DST3-TA با بکارگیری سه کاتد زاویه دار با نقطه کانونی مشترک، قادر به انجام لایه نشانی مستقل یا متمرکز و همزمان دو یا سه کاتد است و علاوه بر ساخت چند لایه ای ها امکان آلیاژ سازی را نیز فراهم می کند. قابلیت چرخش زیر لایه این سیستم باعث یکنواختی بسیار خوب لایه رشد داده شده می شود. همچنین به دلیل امکان زاویه دادن به زیر لایه نسبت به کاتدها می توان انواع لایه ها را به صورت ستونی رشد داد (Glad Sputtering). حداکثر قطر زیرلایه در این سیستم، ۳ اینچ است.

DST3-TS کاتدهای خطی (یا مستقیم)

مدل DST3-TS با دارا بودن سه کاتد با قطر دو اینچ که بدون زاویه کنار یکدیگر قرار گرفته اند، برای لایه نشانی بر روی تک نمونه های بزرگ با قطری حدود ۲۰ سانتی متر و یا چندین قطعه با ابعاد کوچکتر در این محدوده مناسب می باشد. این دستگاه برای اطمینان از یکنواختی لایه در تمام سطح نمونه های بزرگ، مجهز به سه کاتد مگنترون گردیده است.

تبخیر حرارتی

دستگاه ترکیبی DST3-T مجهز یه یک منبع تغذیه جریان بالا و یک جفت الکترود مسی برای انجام لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی است. انواع مختلفی از قایقک، بسکت و یا سیم پیچ قابل (Boat, Basket and coil) نصب بر روی این سیستم می باشند. دستگاه امکان لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی رنج وسیعی از مواد را فراهم آورده است.

مشخصات دستگاه

  • امکان انجام اسپاترینگ و تبخیر حرارتی در یک سیستم (به صورت غیر همزمان)
  • محفظه خلاء بالا
  • مجهز به منابع تغذیه DC، RF و High current
  • سه کاتد آبگرد دو اینچی با قابلیت لایه نشانی فیلم های چند لایه ای و آلیاژها (Co-Sputtering)
  • یک عدد سامانه تبخیر حرارتی به منظور انجام لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی
  • دو ضخامت سنج کریستالی کوارتز  شامل اسیلاتور و نگهدارنده کریستال با قابلیت اندازه گیری ضخامت در حین لایه نشانی
  • دو عدد MFC به منظور کنترل دقیق فشار داخل محفظه
  • کنترل فرآیند لایه نشانی بر اساس زمان یا ضخامت
  • صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
  • نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه
  • نگهدارنده زیرلایه با قابلیت چرخش و امکان تنظیم ارتفاع و زاویه
  • کنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر با استفاده از ضخامت سنج کریستالی
  • محفظه خلاء بزرگ (قطر ۳۰۰ میلیمتر) مناسب برای لایه نشانی نمونه های بزرگ
  • هیتر زیرلایه ۵۰۰ درجه (در صورت درخواست)
  • ۳۰۰ ولت، ولتاژ بایاس زیرلایه (در صورت درخواست)
  • مجهز به شاتر الکترونیکی
  • مجهز به سیستم تمیزکننده سطح نمونه با استفاده از پلاسما (در صورت درخواست)
  • قابلیت لایه نشانی به صورت پیوسته بدون محدودیت زمانی
  • یک سال گارانتی کامل
  • بسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حمل
DST3-T with ray
internal DST3-T

کاربردها

  • ایجاد لایه نازک هایی از جنس فلزات، نیمه هادی ها و دی الکتریک ها
  • زمینه های نانو و میکرو الکترونیک
  • ساخت سلول های خورشیدی
  • فرایند لایه نشانی آلیاژها (Co-Sputtering)
  • اپتیک و فوتونیک
  • سنسورهای لایه نازک
  • ساخت حافظه های رایانه ای
  • آماده سازی نمونه های میکروسکوپ  الکترونی

محفظه خلاء بالا

محفظه خلاء دستگاه شامل یک مخزن استوانه ای از جنس پیرکس به قطر mm300 و ارتفاع  mm 250 همراه با اورینگهای ال شکل می باشد. دستگاه مجهز به پمپ توربومولکولار خلاء بالا می باشد که توسط یک پمپ روتاری دو مرحله ای پشتیبانی می شود و در نتیجه هیچ گونه آلودگی ناشی از روغن (که از ویژگی های پمپ های دیفیوژنی است)  وارد محفظه خلاء نمی شود و لایه نشانی در یک محیط بسیار تمیز انجام می شود.

monitor DST3-T

صفحه نمایش رنگی

دستگاه مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده این نرم افزار، کاربر می تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا می باشد. کاربر می تواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف می شود.

سیستم تمیز کننده سطح زیرلایه با استفاده از پلاسما (Plasma Cleaner)

DST3-T  امکان مجهز شدن به سیستم تمیز کننده سطح زیرلایه با استفاده از پلاسما را دارا می باشد (در صورت درخواست مشتری). تمیز کردن سطح نمونه با استفاده از پلاسما فرایندی است که طی آن مواد ارگانیک موجود روی سطح نمونه که موجب عدم چسبندگی مناسب لایه نازک به زیرلایه می شوند، در اثر برخورد گاز یونیزه شده از بین بروند.

 

نگهدارنده زیرلایه

نگهدارنده زیرلایه دستگاه براساس سایز متداول لامهای میکروسکوپ ساخته شده  ولی کاربر میتواند متناسب با نیاز خود سفارش ساخت آن را به شرکت ارسال کند یا خود راسا اقدام به ساخت کند و به راحتی  با باز کردن پیچی که نگهدارنده نمونه را به موتور چرخاننده زیرلایه متصل کرده آن را جایگزین کند. بر روی نگهدارنده زیرلایه تعدادی سوراخ و قلاویز ایجاد شده است تا در صورت نیاز کاربر بتواند نمونه های کوچک خود را با نگهدارنده های ساده ای نگهدارد تا در حین چرخش نیفتند.

تجهیزات اضافه و لوازم جانبی

  • ولتاژ بایاس زیرلایه
  • هیتر زیرلایه
  • سیستم تمیز کننده سطح زیرلایه با استفاده از پلاسما (Plasma cleaner)
  • سنسورکریستال کوارتز
  • شیشه یدک محفظه خلاء به همراه لاستیک های آب بندی دور شیشه
  • تارگت های اسپاترینگ
  • مواد تبخیری مورد نیاز برای انجام تبخیر حرارتی

 

سایر مشخصات دستگاه

  • پمپ توربومولکولار خلاء بالا (آلمانی)
 سرعت پمپاژ ۹۰ l/s ۳۵۰ l/s
 فشار نهایی ۲ x10 Torr ۵ x10 Torr
  • پمپ پشتیبان روتاری دو مرحله ای
  • فشارسنج فول رنج (آلمانی)
  • محفظه از جنس پیرکس با ارتفاع  mm 250 و قطر خارجی mm 300
  • کنترل خودکار توان لایه نشانی به صورت مستقل از فشار
  • کنترل خودکار دمای کاتدها در جهت بالا بردن طول عمر مگنت ها
  • مجهز به سیستم انتخاب تارگت (برای قرار گرفتن زیرلایه مقابل تارگت مورد نظر)
  • قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
  • دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات
  • رسم منحنی های فشار و ضخامت
  • قابلیت نگهداری نمونه ها در خلأ
  • قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
  • شاتر الکترونیکی
  • ابعاد: قطر ۵۰سانتی متر × عرض ۴۷ سانتی متر ×  ارتفاع ۶۰ سانتی متر
  • برق ورودی: ۲۲۰V- 50HZ- 16A
  • وزن همراه با راک حدود Kg 160

نمونه ویدئو کلیپ دستگاه ها

کاتالوگ DST3-T

محصولات مشابه

Product Details
product image
Rating
۵ based on ۱ votes
Brand Name
Nano-Strtuctured Coatings Co
Product Name
DST3-T