لایه نشانی لیزر پالسی و تبخیر حرارتیPLD-T

یک سیستم لایه شانی خلاء بالا است که قادر به لایه نشانی رنج وسیعی از مواد با استفاده از لیزر پالسی  (لایه نشانی لیزر پالسی) و یا تبخیر حرارتی می باشد. در روش لایه نشانی با استفاده از لیزر پالسی،  منبع تبخیر (لیزر) در خارج از محفظه قرار داده می شود و پرتو لیزر از طریق یک پنجره تحت زاویة مناسب به سطح هدف که در حال دوران است، برخورد کرده و اتم های جدا شده از سطح هدف روی زیر لایه نشانده می شوند.

لایه نشانی مواد ترکیبی مثل نیترات ها، اکسیدها، پلیمرها، ابر شبکه ای ها و … بسیار مناسب می باشد. به علاوه سیستم دارای یک منبع تبخیر حرارتی با قابلیت فعال سازی سه بوته یا بسکت بوده و امکان انجام لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی برای کاربرد های لایه نازک را نیز فراهم می کند.

  • نگهدارنده و چرخاننده تارگت ها با قابلیت تنظیم سرعت چرخش
  • ضخامت سنج کريستال کوارتز با دقت اندازه گيري يک نانومتر شامل اسيلاتور و نگهدارنده کريستال با قابليت اندازه گيري ضخامت در حين لايه نشاني
  • صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
  • نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه
  • نگهدارانده زیر لایه با قابلیت چرخش
  • مجهز به هیتر زیرلایه 500 درجه سانتیگراد
  • شاتر الکترونیکی
  • یک سال گارانتی کامل
  • مجهز به پمپ توربو مولکولار خلاء بالا 300 l/s (آلماني) و پمپ پشتیبان دیافراگمی (آلمانی)
  • خلاء نهايي 2 × 10-6 torr
  • فشار سنج ترکيبي با قابليت قرائت فشار از اتمسفر تا 10-9 torr (آلماني)
  • مجهز به  سامانه تبخیر حرارتی با قابلیت نصب سه منبع تبخیر ( قایقک، سبد و یا سیم پیچ )
  • مجهز به نگهدارنده بوته ها و فیدتروهای الکتریکی مخصوص
  • مجهز به سیستم boat selection
  • فیدتروهای الکتریکی جریان بالا
touch PLD

صفحه نمایش رنگی

دستگاه مجهز به یک مانیتور لمسی 7 اینچی تمام رنگی می باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده نرم افزار سیستم، کاربر می تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به 300 لایه نشانی آخر را دارا می باشد.

محفظه خلاء

محفظه خلاء دستگاه شامل یک مخزن استوانه اي از استیل به قطر خارجی  mm 300 و ارتفاعmm 250 همراه با چهار پنجره 2 اینچی می باشد. دستگاه مجهز به پمپ توربومولکولار خلاء بالا می باشد که توسط یک پمپ دیافراگمی پشتیبانی می شود و با توجه به اینکه لیزر ( به عنوان منبع انرژی ) در خارج ار محفظه خلاء قرار دارد، لایه نشانی در یک محیط بسیار تمیز و خلاء بالا انجام می شود.

sources PLD
target PLD

منابع تبخیر (سبد، قایقک، سیم پیچ)

دستگاه لایه نشانی در خلاء مدل PLD – T دارای قابلیت نصب سه منبع تبخیر مستقل  با بازه طولی 5 تا 9 سانتی متر می باشد. این منایع به صورتی طراحی شده اند که یکدیگر را آلوده نمی کنند.

نگهدارنده و چرخاننده تارگت ها

در سیستم های لایه نشانی با استفاده از لیزر پالسی، در صورتی که پرتوی لیزر برای مدتی رو یک نقطه از تارگت تابیده شود، موجب آسیب دیدن آن نقطه و سوراخ شدن تارگت می شود. به همین جهت دستگاه PLD – T مجهز به یک سیستم نگهدارنده و چرخاننده تارگت ( است که قابلیت نگهداری سه   (target manipulator تارگت با قطر 2 سانتی متر را دارا می باشد.

monitor PLD

سایر ویژگی های دستگاه PLD – T

  • مجهز به منبع تغذیه جریان بالای 5/2 کیلو وات
  • یک عدد MFC براي کنترل فشار محفظه خلاء و ورود گاز به محفظه
  • کنترل خودکار توان لايه نشاني به صورت مستقل از فشار
  • رسم منحني هاي فشار و ضخامت
  • انتقال منحني ها و داده هاي فرآيند لايه نشاني بوسيله ي USB به کامپيوتر
  • وزن دستگاه:
  • ابعاد: قطر 50سانتي متر × عرض 65 سانتي متر ×  ارتفاع 60 سانتي متر

تجهیزات اضافه و لوازم جانبی

  • دستگاه دارای  کریستال کوارتز، منابع تبخیر ( قایقک، سبد و سیم پیچ ) و مواد تبخیر شونده می باشد.

نمونه پکیج بسته بندی دستگاه ها

1Standard-Packaging-min-569x1024

نمونه ویدئو کلیپ دستگاه ها

کاتالوگ PLD-T

محصولات مشابه

Product Details
product image
Rating
5 based on 1 votes
Brand Name
Nano-Strtuctured Coatings Co
Product Name
PLD-T