PLD – T یک سیستم لایه نشانی خلاء بالا است که قادر به لایه نشانی رنج وسیعی از مواد با استفاده از لیزر پالسی و یا تبخیر حرارتی می باشد. در روش لایه نشانی با استفاده از لیزر پالسی،  منبع تبخیر (لیزر) در خارج از محفظه قرار داده می شود و پرتو لیزر از طریق یک پنجره تحت زاویه مناسب به سطح هدف که در حال دوران است، برخورد کرده و اتم های جدا شده از سطح هدف روی زیر لایه نشانده می شوند.

در این روش پالس لیزر با زمان خیزش کمتر از چند نانو ثانیه به ماده مورد نظر تابانده شده و موجب تبخیر ماده مورد نظر بدون تغییر استوکیومتری می شود. این روش برای لایه نشانی مواد ترکیبی مثل نیترات ها، اکسیدها، پلیمرها، ابر شبکه ای ها و … بسیار مناسب می باشد.

به علاوه سیستم دارای یک منبع تبخیر حرارتی با قابلیت فعال سازی سه بوته یا بسکت بوده و امکان انجام لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی برای کاربرد های لایه نازک را نیز فراهم می کند.

نگهدارنده و چرخاننده تارگت ها

در سیستم های لایه نشانی با استفاده از لیزر پالسی، در صورتی که پرتوی لیزر برای مدتی رو یک نقطه از تارگت تابیده شود، موجب آسیب دیدن آن نقطه و سوراخ شدن تارگت می شود. به همین جهت دستگاه PLD – T مجهز به یک سیستم نگهدارنده و چرخاننده تارگت ( target manipulator) است که قابلیت نگهداری سه تارگت با قطر ۲ سانتی متر را دارا می باشد.

تجهیزات اضافه و لوازم جانبی

  • منابع تبخیر حرارتی (بوته، بسکت، سیم پیچ)
  • هیتر ۵۰۰ درجه زیرلایه
  • سنسورکریستال کوارتز
  • مواد تبخیر شونده
  • شیشه یدک محفظه خلاء به همراه لاستیک های آب بندی دور شیشه

سایر مشخصات دستگاه

  • پمپ توربومولکولار خلاء بالا (آلمانی)
سرعت پمپاژ ۹۰ l/s ۳۵۰ l/s
فشار نهایی ۲ x10 Torr ۵ x10 Torr
  • پمپ پشتیبان روتاری دو مرحله ای
  • فشارسنج فول رنج (آلمانی)
  • دارای MFC به منظور کنترل دقیق فشار داخل محفظه
  • قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
  • دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات
  • ابعاد: قطر ۶۰سانتی متر × عرض ۴۷ سانتی متر ×  ارتفاع ۵۰ سانتی متر
  • برق ورودی: ۲۲۰V- 50HZ- 16A
  • وزن حدود Kg 70

مشخصات دستگاه

  • نگهدارنده و چرخاننده تارگت ها با قابلیت تنظیم سرعت چرخش
  • مجهز به سه نگهدارنده بوته و فیدتروهای الکتریکی مخصوص
  • ضخامت سنج کریستال کوارتز با دقت اندازه گیری یک نانومتر شامل اسیلاتور و نگهدارنده کریستال با قابلیت اندازه گیری ضخامت در حین لایه نشانی
  • صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
  • نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه
  • نگهدارانده زیر لایه با قابلیت چرخش
  • مجهز به هیتر زیرلایه ۵۰۰ درجه سانتیگراد
  • مجهز به شاتر الکترونیکی
  • مجهز به سیستم انتخاب بوته / بسکت
  • بسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حمل
  • یک سال گارانتی کامل
touch PLD

صفحه نمایش رنگی

دستگاه مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده نرم افزار سیستم، کاربر می تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا می باشد.

نمونه بسته بندی دستگاه

نمونه ویدئو کلیپ دستگاه ها

کاتالوگ PLD-T

محصولات مشابه

Product Details
product image
Rating
۵ based on ۱ votes
Brand Name
Nano-Strtuctured Coatings Co
Product Name
PLD-T