دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن – DSCR

دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن – DSCR با ابـعاد کوچک و قیمتی بسیار مناسب قادر است به روش اسپاترینگ اقدام به لایه نشانی هدف‌هایی از جنس فلزات نجیب مانند طلا، پلاتین و پالادیوم نماید و همچنین این دستگاه با قابلیت تجهیز به سیستم لایه نشان کربن امکان لایه نشانی کربن از نخ کربنی به روش تبخیر حرارتی را نیز فراهم می‌کند. این سیستم عمدتا به عنوان پوشش‌دهنده نمونه‌های میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) در آزمایشگاه‌های تحقیقاتی مورد استفاده قرار می‌گیرد.

دستگاه DSCR، یک لایه نشان مجهز به پمپ روتاری است که با دو درِ (Head) قابل تعویض امکان اسپاترینگ فلزات نجیب یا تبخیر حرارتی کربن را ایجاد می‌کند. انجام لایه نشانی در فرایندی تمام اتوماتیک این امکان را فراهم می‌آورد که حتی کاربران کم تجربه نیز به راحتی بتوانند با این سیستم به لایه نشانی بپردازند.

درخواست صدور پیش فاکتور

مشخصات دستگاه

دارای فرایند عملکرد راحت و بدون پیچیدگی
صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
سهولت در قرار دادن و برداشتن نمونه‌ها از داخل دستگاه
لایه نشانی دقیق با قابلیت تکرار‌پذیری
بدون نیاز به خنک‌سازی محفظه خلاء
کنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر با استفاده از ضخامت‌سنج کریستالی
لایه نشانی کربن به صورت دو مد پالسی یا فلش
نرم‌افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه
قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات
یک سال گارانتی کامل
بسته‌بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب‌دیدگی دستگاه در حین حمل
دارای گواهی بین‌المللی CE برای اجازه ورود به بازار اتحادیه اروپا

لایه نشانی کربن

دستگاه DSCR به گونه‌ای طراحی شده است که قابلیت جایگذاری در (Head) مجهز به لایه نشان کربن را دارا می‌باشد. برای این منظور، فقط کافیست کاربر در اسپاترینگ را از روی محفظه شیشه‌ای در حالت باز قرار دهد و در لایه نشان کربن را روی محفظه قرار دهد. الکترودها به گونه‌ای در نظر گرفته شده‌اند که کاربر به راحتی میتواند نخ کربن را در مکان مناسب جای دهد.

کاربرد‌های DSCR

دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن – DSCR برای ایجاد لایه‌های نازک نانومتری، ایجاد اتصالات الکتریکی بسیار ظریف در حوزه نانو تکنولوژی و میکرو الکترونیک بسیار قابل استفاده می‌باشد. اصلی‌ترین کاربرد این دستگاه به عنوان پوشش‌دهنده نمونه‌های عایق به منظور مشاهده آنها با میکروسکوپ الکترونی (SEM) می‌باشد. همچنین امکان لایه نشانی کربن موجب شده تا بتوان از این دستگاه برای آماده‌سازی نمونه‌ها به منظور آنالیز با اشعه ایکس (EDXA) نیز استفاده کرد. برای لایه نشانی انواع فلزات اکسیدی و غیر‌اکسیدی و همچنین لایه نشانی کربن در فشار کمتر، مدل DSCT که مجهز به پمپ توربو‌مولکولار می‌باشد، توصیه می‌گردد.

صفحه نمایش رنگی

دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می‌باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می‌شود. با توجه به کاربری ساده نرم‌افزار سیستم، کاربر میتواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید.

همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا می‌باشد. کاربر میتواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف می‌شود.

سیستم چرخاننده زیر لایه

چرخش زیرلایه در هنگام لایه نشانی به منظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات این سیستم لایه نشانی می‌باشد. همچنین دستگاه قابلیت مجهز شدن به سیستم چرخاننده سیاره‌ای زیرلایه را نیز دارا می‌باشد. حرکت سیاره‌ای (در سه جهت x,y,z) موجب می‌شود تا درون حفره‌های نمونه‌های متخلخل نیز به خوبی پوشش داده شوند. نگهدارنده نمونه میتواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارنده‌های نمونه در این دستگاه بسیار ساده بوده و کاربر به سادگی قادر به انجام آن می‌باشد.