دستگاه DSCR  با ابـعاد کوچک و قیمتی بسیار مناسب قادر است به روش اسپاترینگ اقدام به لایه نشانی هدفهایی از جنس فلزات نجیب مانند طلا، پلاتین و پالادیوم نماید و همچنین این دستگاه با قابلیت تجهیز به سیستم لایه نشان کربن امکان لایه نشانی کربن از نخ کربنی به روش تبخیر حرارتی را نیز فراهم می کند. این سیستم عمدتا به عنوان پوشش دهنده نمونه های میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) در آزمایشگاه های تحقیقاتی مورد استفاده قرار می گیرد.  DSCR، یک لایه نشان مجهز به پمپ روتاری است که با دو درِ قابل تعویض امکان اسپاترینگ فلزات نجیب یا تبخیر حرارتی کربن را ایجاد می کند. انجام لایه نشانی در فرایندی تمام اتوماتیک این امکان را فراهم می آورد که حتی کاربران کم تجربه نیز به راحتی بتوانند با این سیستم به لایه نشانی بپردازند.

مشخصات دستگاه

  • دارای فرایند عملکرد راحت و بدون پیچیدگی
  • صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
  • سهولت در قرار دادن و برداشتن نمونه ها از داخل دستگاه
  • لایه نشانی دقیق با قابلیت تکرار پذیری
  • بدون نیاز به خنک سازی محفظه خلاء
  • کنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر با استفاده از ضخامت سنج کریستالی
  • لایه نشانی کربن به صورت دو مد پالسی یا فلش
  • نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه
  • قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
  • دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات
  • یک سال گارانتی کامل
  • بسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حمل
  • دارای گواهی بین المللی CE برای اجازه ورود به بازار اتحادیه اروپا

کاربردها

سیستم لایه نشانی در خلاء مدل DSCR برای ایجاد لایه های نانومتری ، ایجاد اتصالات الکتریکی بسیار ظریف در حوزه نانو تکنولوژی و ​میکرو الکترونیک بسیار قابل استفاده می باشد. اصلی ترین کاربرد این دستگاه به عنوان پوشش دهنده نمونه های عایق به منظور مشاهده آنها با میکروسکوپ الکترونی (SEM) می باشد. همچنین امکان لایه نشانی کربن موجب شده تا بتوان از این دستگاه برای آماده سازی نمونه ها به منظور آنالیز با اشعه ایکس (EDXA ) نیز استفاده کرد. برای لایه نشانی انواع فلزات اکسیدی و غیر اکسیدی و همچنین لایه نشانی کربن در فشار کمتر، مدل DSCT که مجهز به پمپ توربو مولکولار می باشد توصیه می گردد.

لایه نشانی کربن

دستگاه DSCR به گونه ای طراحی شده است که قابلیت جایگذاری درب مجهز به لایه نشان کربن را دارا می باشد. برای این منظور فقط کافیست کاربر درب اسپاترینگ را از روی محفظه شیشه ای در حالت باز قرار دهد و درب لایه نشان کربن را روی محفظه قرار دهد. الکترودها به گونه ای در نظر گرفته شده اند که کاربر به راحتی می تواند نخ کربن را در مکان مناسب جای دهد.

صفحه نمایش رنگی

دستگاه لایه نشانی تحت خلاء، مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده نرم افزار سیستم، کاربر می تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید.

همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا می باشد. کاربر می تواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف می شود.

سیستم  چرخاننده زیر لایه

چرخش زیرلایه در هنگام لایه نشانی به منظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات این سیستم لایه نشانی می باشد. همچنین دستگاه قابلیت مجهز شدن به سیستم چرخاننده سیاره ای زیرلایه را نیز دارا می باشد. حرکت سیاره ای ( در سه جهت x,y,z ) موجب می شود تا درون حفره های نمونه های متخلخل نیز به خوبی پوشش داده شوند. نگهدارنده نمونه می تواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارنده های نمونه در این دستگاه بسیار ساده بوده و کاربر به سادگی قادر به انجام آن می باشد.

تجهیزات اضافه و لوازم جانبی

  • منبع تغذیه و درِ تبخیر حرارتی مناسب برای تبخیر
  • سنسورکریستال کوارتز
  • چرخاننده نمونه سیاره ای
  • شیشه یدک محفظه خلاء به همراه لاستیک های آب بندی دور شیشه
  • نخ کربن
  • تارگتهای اسپاترینگ

سایر مشخصات دستگاه

  • پمپ روتاری دو مرحله ای   m۳/h4
  • فشار نهایی کمتر از ۵۰ میلی تور
  • محفظه از جنس پیرکس با ارتفاع  mm 140 و قطر خارجی mm 170
  • یک کاتد مگنترون ۲ اینچی
  • الکترونیک شاتر
  • منبع تغذیه پالسی ۰ تا ۲۵ آمپر
  • منبع تغذیه سوئیچینگ با توان ۸۰ وات
  • نگهدارانده زیر لایه با قابلیت چرخش
  • دارای دو مد کنترل اتوماتیک و دستی
  • کنترل فرآیند لایه نشانی بر اساس زمان یا ضخامت
  • قابلیت نگهداری نمونه ها در خلأ
  • تنظیم فشار داخل محفظه توسط شیر الکتریکی
  • شاتر الکترونیکی
  • ابعاد: ۴۵۰*۵۰۰*۳۷۰ میلیمتر
  • وزن دستگاه همراه با پمپ ۴۲ کیلوگرم

نمونه بسته بندی دستگاه

کاتالوگ DSCR