NSC DCT 3000px Product Page

دستگاه لایه نشان کربن خلاء بالا – DCT، در ابـعاد کوچک و قیمتی بسیار مناسب قادر است به روش تبخیر حرارتی اقدام به لایه نشانی کربن روی سطوح مختلف نموده و عمدتا به عنوان پوشش دهنده نمونه‌های میکروسکوپ الکترونی روبشی(SEM) در آزمایشگاه‌های تحقیقاتی مورد استفاده قرار می‌گیرد. مدل DCT مجهز به پمپ توربومولکولار بوده و مناسب برای ایجاد لایه نازک کربنی مورد استفاده در کاربردهای تحقیقاتی و تصویربرداری FE-SEM، TEM، EDS/WDS، EBSD می‌باشد. لایه نشانی کربن در یک محیط خلاء بالا موجب می‌شود تا لایه ایجاد شده دارای کیفیت بالایی بوده و برای نمونه‌هایی که نیاز به تصویربرداری با رزولوشن بالا دارند، مناسب باشد.

اتوماسیون

  • صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
  • لایه نشانی فیبر کربن به صورت دو مد پالسی یا فلش
  • لایه نشانی راد کربن به صورت دو مد پالسی یا جریان افزایشی
  • قابلیت انجام فرآیند لایه‌نشانی به صورت نیمه-تمام اتوماتیک
  • لایه‌نشانی تکرارپذیر و قابل برنامه‌ریزی بر اساس ضخامت مورد نظر در حالت اتوماتیک
  • قابلیت ذخیره‌سازی تا ۱۰ برنامه لایه‌نشانی  
  • نرم‌افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه
  • قابلیت ذخیره و رسم نمودار داده‌ها
  • دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات

مشخصات دستگاه

ویژگی‌های سخت‌افزاری

  • خلاء بالا با استفاده از پمپ خلاء توربو مولکولار ۹۰ لیتر بر ثانیه (آلمانی)
  • پمپ پشتیبان دومرحله‌ای روتاری (با قابلیت انتخاب پمپ دیافراگمی)
  • منبع تغذیه DC سوییچینگ ۵۰۰ وات
  • ضخامت‌سنج کریستال کوارتز با دقت ۱ نانومتر و رزولشن ۱ آنگستروم
  • شیر تخلیه اتوماتیک
  • قابلیت چرخش و تنظیم ارتفاع و زاویه نمونه
  • نمونه‌گیر سیاره‌ای
  • شاتر الکترونیک
  • قابلیت تعویض آسان پایه‌های نمونه‌گیر
  • یک سال گارانتی کامل
  • منطبق بر استاندارد CE
  • بسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حمل
NSC Product Carbon Fiber Head

لایه نشانی پالسی کربن در دستگاه لایه نشان کربن خلاء بالا

دستگاه لایه نشان کربن خلاء بالا، مجهز به یک منبع تغذیه جریان بالا می‌باشد که امکان لایه نشانی کربن در دو مد پالسی و یا فلش را فراهم می‌کند. در لایه نشانی پالسی کربن که فرایند لایه نشانی در خلال پالس‌های کوتاه صورت می‌پذیرد، کنترل فرایند لایه نشانی بهتر بوده و مقدار دور‌ریز‌های کربن نسبت به روش‌های متداول کمتر می‌باشد.

لایه نشانی کربن از میله کربنی (Carbon Rod)

دستگاه لایه نشان کربن خلاء بالا با امکان تجهیز به درب محفظه نگهدارنده میله کربنی قابلیت لایه نشانی کربن از میله کربنی را نیز دارا می‌باشد (در صورت درخواست مشتری). برای این منظور یک منبع تغذیه جریان بالا (۰-۱۰۰ آمپر) که در خارج از جعبه دستگاه قرار می‌گیرد جایگزین منبع تغذیه جریان بالای داخلی دستگاه (تعبیه شده به منظور لایه نشانی کربن از نخ کربنی) می‌شود.

در لایه نشانی کربن – Carbon Fiber Evaporation Head

صفحه نمایش لمسی رنگی دستگاه لایه نشان کربن خلاء بالا

دستگاه لایه نشانی تحت خلاء بالای کربن، مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می‌باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می‌شود. با توجه به رابط کاربری ساده سیستم، کاربر می‌تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید.

همچنین داده‌های مربوط به ۳۰۰ لایه‌نشانی آخر در صفحه تاریخچه (History) ذخیره می‌شود و امکان انتقال داده‌ها به کامپیوتر با استفاده از خروجی USB بر روی دستگاه وجود دارد.

سیستم  چرخاننده زیر لایه

چرخش زیرلایه در هنگام لایه نشانی به منظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات لایه نشان DCT می‌باشد. همچنین دستگاه قابلیت مجهز شدن به سیستم چرخاننده سیاره‌ای زیرلایه را نیز دارا است. حرکت سیاره‌ای (در سه جهت x,y,z) موجب می‌شود تا درون حفره‌های نمونه‌های متخلخل نیز به خوبی پوشش داده شوند.

نگهدارنده نمونه می‌تواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارنده‌های نمونه در این دستگاه بسیار ساده بوده و کاربر به سادگی قادر به انجام آن می‌باشد.

NSC Product DSR1 Sample Holder
NSC Product DSR1 Planetary Holder

نگهدارنده نمونه جدید

نگهدارنده نمونه جدید چرخان به قطر ۱۰ سانتی‌متر به منظور افزایش سطح و تعداد پایه‌های SEM قابل لایه‌نشانی برای این دستگاه طراحی شده است. (در حدود ۵۰ پایه SEM به قطر یک میلیمتر به طور همزمان قابل لایه‌نشانی هستند).

تجهیزات اضافه و لوازم جانبی DCT

  • درب و منبع تغذیه مناسب برای لایه نشانی از میله‌های کربنی (Carbon Rod)
  • سنسورکریستال کوارتز
  • چرخاننده نمونه سیاره‌ای
  • شیشه یدک محفظه خلاء به همراه لاستیک‌های آب‌بندی دور شیشه
  • نخ کربنی

سایر مشخصات دستگاه

  • فشارسنج فول رنج (آلمانی)
  • فشار نهایی کمتر از ۶-۱۰ ×۵ Torr
  • محفظه از جنس پیرکس با ارتفاع ۱۴۰mm و قطر خارجی ۱۷۰mm
  • منبع تغذیه پالسی ۰ تا ۲۵ آمپر
  • توان مصرفی ۲ کیلووات
  • رسم نمودار داده‌های لایه‌نشانی در لحظه انجام فرآیند
  • قابلیت نگهداری نمونه‌ها در خلاء
  • کنترل دقیق فشار خلاء با شیر اتوماتیک
  • Plasma Cleaning
  • ابعاد: ۵۴۰*۵۰۰*۴۵۰ میلیمتر (ارتفاع*عرض*عمق)
  • وزن دستگاه همراه با پمپ: ۴۶ کیلوگرم

محصولات مشابه