دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا – DST1-170

این مدل مناسب برای آماده‌سازی نمونه‌ها به منظور مشاهده با میکروسکوپ الکترونی می‌باشد. با استفاده از این دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا میتوان لایه‌ای نانومتری از مواد گوناگون از جمله طلا (Au)، آلیاژ پلاتین/پالادیوم (Pt/Pd)، نقره (Ag)، کروم (Cr)، تنگستن (W)، ایریدوم (Ir) و بسیاری از مواد دیگر ایجاد کرد. لایه نشانی در یک محیط خلاء بالا موجب می‌شود تا لایه نازک ایجاد شده دارای کیفیت بالایی بوده و برای نمونه‌هایی که نیاز به رزولوشن بالایی دارند، مناسب باشد. از جمله کاربرد‌های دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا، میتوان به آماده سازی نمونه‌ها برای کاربردهای میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی (FE-SEM) و میکروسکوپ الکترونی عبوری (TEM) اشاره کرد.

صفحه نمایش رنگی دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا

دستگاه لایه نشانی به روش کند و پاش (اسپاترینگ) مدل DST1-170 مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می‌باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می‌شود. با توجه به کاربری ساده نرم‌افزار DST1-170، کاربر میتواند اطلاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا می‌باشد.

کاربر میتواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف می‌شود.

سیستم چرخاننده زیر لایه

چرخش زیرلایه در هنگام لایه نشانی به منظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا – DST1-170، می‌باشد. همچنین دستگاه قابلیت مجهز شدن به سیستم چرخاننده سیاره‌ای زیرلایه را نیز دارا می‌باشد. حرکت سیاره‌ای (در سه جهت x,y,z) موجب می‌شود تا درون حفره‌های نمونه‌های متخلخل نیز به خوبی پوشش داده شوند.

نگهدارنده نمونه میتواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارنده‌های نمونه در این دستگاه بسیار ساده بوده و کاربر به سادگی قادر به انجام آن می‌باشد.