دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا مدل DST1-170

DST1-170، یک سیستم لایه نشانی تحت خلاء به روش اسپاترینگ(کند و پاش) با محفظه شیشه ای و پمپ توربومولکولار می باشد. دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا ، مدل DST1-170، مجهز به یک کاتد مگنترون بوده و با دارا بودن یک منبع تغذیه DC با توان ۸۰ وات، قادر به لایه نشانی گروه وسیعی از فلزات(اکسیدی و غیر اکسیدی)، می باشد.

این مدل مناسب برای آماده سازی نمونه ها به منظور مشاهده با میکروسکوپ الکترونی می باشد. با استفاده از دستگاه لایه نشانی مدل DST1-170 می توان لایه ای نانومتری از مواد گوناگون از جمله طلا(Au)، آلیاژ پلاتین/پالادیوم(Pt/Pd)، نقره(Ag)، کروم(Cr)، تنگستن(W)، ایریدوم(Ir) و بسیاری از مواد دیگر ایجاد کرد. لایه نشانی در یک محیط خلاء بالا موجب می شود تا لایه ایجاد شده دارای کیفیت بالایی بوده و برای نمونه هایی که نیاز به رزولوشن بالایی دارند، مناسب باشد. از جمله کاربردهای دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا، می توان به آماده سازی نمونه ها برای کاربردهای میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی(FE-SEM) و میکروسکوپ الکترونی عبوری(TEM) اشاره کرد.

محفظه خلاء بالا

محفظه خلاء دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا، شامل یک مخزن استوانه ای از جنس پیرکس به قطر ۱۷۰mm و ارتفاع ۱۴۰mm همراه با اورینگ های ال شکل می باشد. دستگاه مجهز به پمپ توربومولکولار خلاء بالا می باشد که توسط یک پمپ روتاری دو مرحله ای پشتیبانی می شود و در نتیجه هیچ گونه آلودگی ناشی از روغن(که از ویژگی های پمپ های دیفیوژنی است) وارد محفظه خلاء نمی شود و لایه نشانی در یک محیط بسیار تمیز انجام می شود.

صفحه نمایش رنگی دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا

دستگاه لایه نشانی به روش کند و پاش(اسپاترینگ) مدل DST1-170 مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده نرم افزار سیستم، کاربر می تواند اطلاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی(فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا می باشد.

کاربر می تواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف می شود.

سایر مشخصات دستگاه

  • فشار نهایی کمتر از ۷-۱۰ × ۷ Torr 
  • محفظه از جنس پیرکس با ارتفاع ۱۴۰mm و قطر خارجی ۱۷۰mm
  • دارای یک کاتد مگنترون دو اینچی
  • منبع تغذیه DC با توان ۸۰ وات
  • نگهدارانده زیر لایه با قابلیت چرخش
  • کنترل فرآیند لایه نشانی بر اساس زمان یا ضخامت
  • قابلیت نگهداری نمونه ها در خلاء
  • قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
  • شاتر الکترونیکی
  • برق ورودی: ۲۲۰V – ۵۰HZ – ۱۶A
  • وزن: ۳۶ کیلوگرم

مشخصات دستگاه

  • پمپ توربومولکولار خلاء بالا (آلمانی) با ظرفیت ۹۰l/s
  • پمپ پشتیبان روتاری دو مرحله ای
  • فشارسنج فول رنج (آلمانی)
  • کنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر و رزولوشن ۱ آنگستروم  با استفاده از ضخامت سنج کریستالی کوارتز  شامل اسیلاتور و نگهدارنده کریستال با قابلیت اندازه گیری ضخامت در حین لایه نشانی
  • صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
  • نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه
  • قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
  • دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات
  • یک سال گارانتی کامل
  • بسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حمل

سیستم  چرخاننده زیر لایه

چرخش زیرلایه در هنگام لایه نشانی به منظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا مدل DST1-170، می باشد. همچنین دستگاه قابلیت مجهز شدن به سیستم چرخاننده سیاره ای زیرلایه را نیز دارا می باشد. حرکت سیاره ای(در سه جهت x,y,z) موجب می شود تا درون حفره های نمونه های متخلخل نیز به خوبی پوشش داده شوند.

نگهدارنده نمونه می تواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارنده های نمونه در این دستگاه بسیار ساده بوده و کاربر به سادگی قادر به انجام آن می باشد.

تجهیزات اضافه و لوازم جانبی دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا

  • سنسورکریستال کوارتز
  • چرخاننده نمونه سیاره ای
  • شیشه یدک محفظه خلاء به همراه لاستیک های آب بندی دور شیشه
  • تارگت های اسپاترینگ

نمونه بسته بندی دستگاه

کاتالوگ DST1-170