DST1-300، یک سیستم لایه نشانی تحت خلاء به روش اسپاترینگ (کند و پاش) با محفظه شیشه ای و پمپ توربومولکولار می باشد. این دستگاه مجهز به یک کاتد مگنترون بوده و با قابلیت نصب منابع تغذیه RF و DC، قادر به لایه نشانی گروه وسیعی از مواد شامل فلزات (اکسیدی و غیر اکسیدی)، نیمه هادی ها و سرامیک ها می باشد. مجهز به یک کاتد مگنترون آبگرد (۲،۳ یا ۴) اینچی و محفظه خلاء بزرگ بوده و مناسب برای لایه نشانی نمونه های بزرگ تا قطر ۱۵ سانتی متر  و یا چند نمونه کوچک به صورت همزمان می باشد.

زمان فرایند لایه نشانی در این دستگاه با توجه به آبگرد بودن کاتد، نامحدود بوده و امکان لایه نشانی لایه های ضخیم بر روی نمونه های بزرگ را فراهم می آورد. DST1-300، مجهز به یک منبع تغذیه DC با توان ۶۰۰ وات و یک منبع تغذیه RF با توان ۳۰۰ وات (در صورت درخواست) به همراه مچینگ باکس اتوماتیک بوده و مناسب برای کاربردهای لایه نازک، میکرو الکترونیک، نانو الکترونیک و میکروسکوپ الکترونی در مراکز تحقیقاتی و پژوهشی می باشد.

سایر مشخصات دستگاه

  • محفظه از جنس پیرکس با ارتفاع  mm 250 و قطر خارجی mm 300
  • دارای یک کاتد مگنترون آبگرد (۲،۳ یا ۴) اینچی
  • دو عدد MFC به منظور کنترل دقیق فشار داخل محفظه
  • منبع تغذیه DC  با توان ۶۰۰ وات
  • نگهدارانده زیر لایه با قابلیت چرخش
  • کنترل فرآیند لایه نشانی بر اساس زمان یا ضخامت
  • قابلیت نگهداری نمونه ها در خلاء
  • قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
  • شاتر الکترونیکی
  • برق ورودی: ۲۲۰V- 50HZ- 16A
  • وزن: ۵۰ کیلوگرم

مشخصات دستگاه

  • پمپ توربومولکولار خلاء بالا (آلمانی)
سرعت پمپاژ ۹۰ l/s ۳۵۰ l/s
 فشار نهایی ۲ x10 Torr ۵ x10 Torr
  • پمپ پشتیبان روتاری دو مرحله ای
  • فشارسنج فول رنج (آلمانی)
  • ضخامت سنج کریستالی کوارتز  شامل اسیلاتور و نگهدارنده کریستال با قابلیت اندازه گیری ضخامت در حین لایه نشانی
  • کنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر با استفاده از ضخامت سنج کریستالی
  • صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
  • نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه
  • قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
  • دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات
  • مجهز به شاتر الکترونیکی
  • یک سال گارانتی کامل
  • بسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حمل

تجهیزات اضافه و لوازم جانبی

  • ولتاژ بایاس زیرلایه
  • منبع تغذیه RF و مچینگ باکس
  • هیتر ۵۰۰ درجه ای زیرلایه
  • یک جفت الکترود جهت انجام تبخیر حرارتی
  • سنسورکریستال کوارتز
  • شیشه یدک محفظه خلاء به همراه لاستیک های آب بندی دور شیشه
  • تارگت های اسپاترینگ
touch DST1-L
monitor DST1-L

صفحه نمایش رنگی

دستگاه مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده این نرم افزار، کاربر می تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا می باشد. کاربر می تواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف می شود.

محفظه خلاء بالا

محفظه خلاء دستگاه شامل یک مخزن استوانه ای از جنس پیرکس به قطر mm300 و ارتفاع  mm 250 همراه با اورینگهای ال شکل می باشد. دستگاه مجهز به پمپ توربومولکولار خلاء بالا می باشد که توسط یک پمپ روتاری دو مرحله ای پشتیبانی می شود و در نتیجه هیچ گونه آلودگی ناشی از روغن (که از ویژگی های پمپ های دیفیوژنی است)  وارد محفظه خلاء نمی شود و لایه نشانی در یک محیط بسیار تمیز انجام می شود.

نمونه بسته بندی دستگاه

نمونه ویدئو کلیپ دستگاه ها

کاتالوگ DST1-L

محصولات مشابه

Product Details
product image
Rating
۵ based on ۱ votes
Brand Name
Nano-Strtuctured Coatings Co
Product Name
DST1-L