دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا – DST1-300، یک سیستم لایه نشانی تحت خلاء به روش اسپاترینگ (کند و پاش) با محفظه شیشه‌ای و پمپ توربومولکولار می‌باشد. این دستگاه مجهز به یک کاتد مگنترون بوده و با قابلیت نصب منابع تغذیه RF و DC، قادر به لایه نشانی گروه وسیعی از مواد شامل فلزات (اکسیدی و غیر اکسیدی)، نیمه هادی‌ها و سرامیک‌ها می اشد. به علاوه، این دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا، مجهز به یک کاتد مگنترون آبگرد (۲،۳ یا ۴) اینچی و محفظه خلاء بزرگ است و مناسب برای لایه نشانی نمونه های بزرگ تا قطر ۱۵ سانتی متر و یا لایه نشانی همزمان چند نمونه کوچک می‌باشد.
زمان فرایند لایه نشانی در دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا با توجه به آبگرد بودن کاتد، نامحدود بوده و امکان لایه نشانی لایه‌های ضخیم بر روی نمونه‌های بزرگ را فراهم می‌آورد. DST1-300، مجهز به یک منبع تغذیه DC با توان ۶۰۰ وات و یک منبع تغذیه RF با توان ۳۰۰ وات (در صورت درخواست) به همراه مچینگ باکس اتوماتیک بوده و مناسب برای کاربردهای لایه نازک، میکرو الکترونیک، نانو الکترونیک و میکروسکوپ الکترونی در مراکز تحقیقاتی و پژوهشی می‌باشد.
سایر مشخصات دستگاه
- محفظه از جنس پیرکس با ارتفاع mm 250 و قطر خارجی mm 300
- دارای یک کاتد مگنترون آبگرد (۲،۳ یا ۴) اینچی
- دو عدد MFC به منظور کنترل دقیق فشار داخل محفظه
- منبع تغذیه DC با توان ۶۰۰ وات
- نگهدارانده زیر لایه با قابلیت چرخش
- GLAD Sputtering
- Plasma Cleaning
- کنترل فرآیند لایه نشانی بر اساس زمان یا ضخامت
- قابلیت نگهداری نمونه‌ها در خلاء
- قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
- شاتر الکترونیکی
- برق ورودی: ۲۲۰V- 50HZ- 16A
- وزن: ۵۰ کیلوگرم
مشخصات دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا
- پمپ توربومولکولار خلاء بالا (آلمانی)
| سرعت پمپاژ | ۹۰ l/s | ۳۵۰ l/s |
| فشار نهایی | ۷ x10-۶ Torr | ۷ x10-۷ Torr |
- پمپ پشتیبان روتاری دو مرحله ای
- فشارسنج فول رنج (آلمانی)
- ضخامت‌سنج کریستالی کوارتز شامل اسیلاتور و نگهدارنده کریستال با قابلیت اندازه‌گیری ضخامت در حین لایه نشانی
- کنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر با استفاده از ضخامت‌سنج کریستالی
- صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
- نرم‌افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه
- قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
- دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات
- مجهز به شاتر الکترونیکی
- یک سال گارانتی کامل
- بسته‌بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب‌دیدگی دستگاه در حین حمل
تجهیزات اضافه و لوازم جانبی
- ولتاژ بایاس زیرلایه
- منبع تغذیه RF و مچینگ باکس
- هیتر ۵۰۰ درجه ای زیرلایه
- یک جفت الکترود جهت انجام تبخیر حرارتی
- سنسورکریستال کوارتز
- شیشه یدک محفظه خلاء به همراه لاستیک‌های آب‌بندی دور شیشه
- تارگت‌های اسپاترینگ
صفحه نمایش رنگی
دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می‌باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می‌شود. با توجه به کاربری ساده این نرم‌افزار، کاربر می‌تواند اطلاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید.
همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا می‌باشد. کاربر می‌تواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف می‌شود.
محفظه خلاء بالا
محفظه خلاء دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا – DST1-300 شامل یک مخزن استوانه‌ای از جنس پیرکس به قطر mm300 و ارتفاع mm 250 همراه با اورینگ‌های ال شکل می‌باشد. دستگاه مجهز به پمپ توربومولکولار خلاء بالا می‌باشد که توسط یک پمپ روتاری دو مرحله‌ای پشتیبانی می‌شود و در نتیجه هیچ گونه آلودگی ناشی از روغن (که از ویژگی‌های پمپ‌های دیفیوژنی است) وارد محفظه خلاء نمی‌شود و لایه نشانی در یک محیط بسیار تمیز انجام می‌شود.
