دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن خلاء بالا مدل DSCT

DSCT، یک دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن خلاء بالا، با دو در قابل تعویض به منظور انجام فرایند اسپاترینگ و تبخیر حرارتی کربن می باشد. این دستگاه مجهز به پمپ توربومولکولار بوده و قابلیت اسپاترینگ رنج وسیعی از فلزات را دارا است. این مدل مناسب برای آماده سازی نمونه ها به منظور مشاهده با میکروسکوپ های الکترونی می باشد. با استفاده از دستگاه لایه نشانی مدل DSCT می توان لایه ای نانومتری از مواد گوناگون از جمله طلا (Au)، آلیاژ پلاتین/پالادیوم(Pt/Pd)، نقره(Ag)، کروم(Cr)، تنگستن(W)، ایریدوم(Ir) و بسیاری از مواد دیگر ایجاد کرد. لایه نشانی در یک محیط خلاء بالا موجب می شود تا لایه ایجاد شده دارای کیفیت بالایی بوده و برای نمونه هایی که نیاز به رزولوشن بالایی دارند، مناسب باشد. از جمله کاربردهای این دستگاه می توان به آماده سازی نمونه ها برای کاربردهای میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی (FE-SEM)، میکروسکوپ الکترونی عبوری(TEM)، آنالیز نمونه ها با اشعه ایکس(EDS/WDS) و EBSD اشاره کرد. DSCT، مجهز به یک کاتد مگنترون دو اینچی، یک منبع تغذیه سوئیچینگ ۸۰ وات DC و یک منبع تغذیه جریان بالا به منظور لایه نشانی کربن است.

مشخصات دستگاه

  • پمپ توربو مولکولار خلاء بالا با ظرفیت ۹۰l/s (آلمانی)
  • پمپ پشتیبان روتاری دو مرحله ای
  • فشارسنج فول رنج (آلمانی)
  • فشار نهایی کمتر از ۷-۱۰ × ۷ Torr
  • صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
  • لایه نشانی دقیق با قابلیت تکرار پذیری
  • کنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر و رزولوشن ۱ آنگستروم  با استفاده از ضخامت سنج کریستالی
  • لایه نشانی کربن به صورت دو مد پالسی یا فلش
  • درِ کربن دو نخه برای لایه نشانی لایه هایی با ضخامت زیاد
  • نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه
  • قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
  • دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات
  • یک سال گارانتی کامل
  • بسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حمل

لایه نشانی پالسی کربن در دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن خلاء بالا

دستگاه لایه نشان تحت خلاء، مجهز به یک منبع تغذیه جریان بالا می باشد که امکان لایه نشانی کربن در دو مد پالسی و یا فلش را فراهم می کند. در لایه نشانی پالسی کربن که فرایند لایه نشانی در خلال پالس های کوتاه صورت می پذیرد، کنترل فرایند لایه نشانی بهتر یوده و مقدار دور ریزهای کربن نسبت به روش های متداول کمتر می باشد.

سیستم  چرخاننده زیر لایه

چرخش زیرلایه در هنگام لایه نشانی به منظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن خلاء بالا، می باشد. همچنین دستگاه قابلیت مجهز شدن به سیستم چرخاننده سیاره ای زیرلایه را نیز دارا می باشد. حرکت سیاره ای(در سه جهت x,y,z) موجب می شود تا درون حفره های نمونه های متخلخل نیز به خوبی پوشش داده شوند.

نگهدارنده نمونه می تواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارنده های نمونه در این دستگاه بسیار ساده بوده و کاربر به سادگی قادر به انجام آن می باشد.

تجهیزات اضافه و لوازم جانبی دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن خلاء بالا

  • منبع تغذیه و درِ تبخیر حرارتی مناسب برای لایه نشانی از میله کربنی(Carbon Rod)
  • سنسورکریستال کوارتز
  • چرخاننده نمونه سیاره ای
  • شیشه یدک محفظه خلاء به همراه لاستیک های آب بندی دور شیشه
  • نخ کربن
  • تارگت اسپاترینگ

سایر مشخصات دستگاه

  • محفظه از جنس پیرکس با ارتفاع ۱۴۰mm و قطر خارجی ۱۷۰mm
  • یک کاتد مگنترون ۲ اینچی
  • الکترونیک شاتر
  • منبع تغذیه پالسی ۰ تا ۲۵ آمپر
  • منبع تغذیه سوئیچینگ با توان ۸۰ وات
  • نگهدارانده زیر لایه با قابلیت چرخش
  • کنترل فرآیند لایه نشانی بر اساس زمان یا ضخامت
  • قابلیت نگهداری نمونه ها در خلاء
  • تنظیم فشار داخل محفظه توسط شیر الکترونیکی
  • شاتر الکترونیکی
  • ابعاد: ۴۵۰*۵۰۰*۳۷۰ میلیمتر
  • برق ورودی: ۲۲۰V – ۵۰HZ – ۱۰A
  • وزن دستگاه همراه با پمپ ۴۲ کیلوگرم

نمونه بسته بندی دستگاه

کاتالوگ DSCT