دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن خلاء بالا

دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن خلاء بالا – DSCT با دو در قابل تعویض به منظور انجام فرایند اسپاترینگ و تبخیر حرارتی کربن می‌باشد. دستگاه DSCT مجهز به پمپ توربومولکولار بوده و قابلیت اسپاترینگ رنج وسیعی از فلزات را دارا است. این مدل مناسب برای آماده‌سازی نمونه‌ها به منظور مشاهده با میکروسکوپ‌های الکترونی می‌باشد. با استفاده از دستگاه لایه نشانی مدل DSCT میتوان لایه‌ای نانومتری از مواد گوناگون از جمله طلا (Au)، آلیاژ پلاتین/پالادیوم (Pt/Pd)، نقره (Ag)، کروم (Cr)، تنگستن (W)، ایریدوم (Ir) و بسیاری از مواد دیگر ایجاد کرد.

لایه نشانی در یک محیط خلاء بالا موجب می‌شود تا لایه نازک ایجاد شده دارای کیفیت بالایی بوده و برای نمونه‌هایی که نیاز به رزولوشن بالایی دارند، مناسب باشد. از جمله کاربردهای این دستگاه میتوان به آماده‌سازی نمونه‌ها برای کاربردهای میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی (FE-SEM)، میکروسکوپ الکترونی عبوری (TEM)، آنالیز نمونه‌ها با اشعه ایکس (EDS/WDS) و EBSD اشاره کرد. دستگاه DSCT، مجهز به یک کاتد مگنترون دو اینچی، یک منبع تغذیه سوئیچینگ ۸۰ وات DC و یک منبع تغذیه جریان بالا به منظور لایه نشانی کربن است.

درخواست صدور پیش فاکتور

مشخصات دستگاه

پمپ توربو مولکولار خلاء بالا با ظرفیت ۹۰l/s (آلمانی)
پمپ پشتیبان روتاری دو مرحله‌ای
فشارسنج فول رنج (آلمانی)
فشار نهایی کمتر از ^۷-۱۰ × ۷ Torr
صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
لایه نشانی دقیق با قابلیت تکرار‌پذیری
کنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر و رزولوشن ۱ آنگستروم با استفاده از ضخامت‌سنج کریستالی
لایه نشانی کربن به صورت دو مد پالسی یا فلش
درِ (Head) کربن دو نخه برای لایه نشانی لایه‌هایی با ضخامت زیاد
نرم‌افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه
قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات
یک سال گارانتی کامل
بسته‌بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب‌دیدگی دستگاه در حین حمل

دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن خلاء بالا - DSCT

لایه نشانی پالسی کربن

این دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن خلاء بالا مجهز به یک منبع تغذیه جریان بالا می‌باشد که امکان لایه نشانی کربن در دو مد پالسی و یا فلش را فراهم می‌کند. در لایه نشانی پالسی کربن که فرایند لایه نشانی در خلال پالس‌های کوتاه صورت می‌پذیرد، کنترل فرایند لایه نشانی بهتر بوده و مقدار دور‌ریزهای کربن نسبت به روش‌های متداول کمتر می‌باشد.

سیستم چرخاننده زیر لایه

چرخش زیرلایه در هنگام لایه نشانی به منظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن خلاء بالا، می‌باشد. همچنین دستگاه DSCT، قابلیت مجهز شدن به سیستم چرخاننده سیاره‌ای زیرلایه را نیز دارا می‌باشد. حرکت سیاره‌ای (در سه جهت x,y,z) موجب می‌شود تا درون حفره‌های نمونه‌های متخلخل نیز به خوبی پوشش داده شوند.

نگهدارنده نمونه میتواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارنده‌های نمونه در این دستگاه بسیار ساده بوده و کاربر به سادگی قادر به انجام آن می‌باشد.