DST2-TG: دستگاه اسپاترینگ و تبخیر حرارتی مناسب برای گلاوباکس

دستگاه اسپاترینگ و تبخیر حرارتی مناسب برای گلاوباکس مدل DST2-TG، یک سیستم لایه‌نشانی در خلاء بالا با محفظه شیشه‌ای بزرگ، به روش‌های اسپاترینگ و تبخیر حرارتی با قابلیت تغییر نوع لایه‌نشانی (اسپاترینگ/تبخیر حرارتی) و لایه‌نشانی پوشش‌های چندلایه (بدون نیاز به باز کردن درب محفظه و شکستن خلاء) است. این دستگاه مجهز به پمپ توربومولکولار بوده و با دارا بودن منابع تغذیه DC، قادر به لایه‌نشانی گروه وسیعی از مواد شامل فلزات (اکسیدی و غیر اکسیدی) می‌باشد.

دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان تبخیر حرارتی مناسب برای گلاوباکس DST2-TG، در راستای تامین نیاز مشتریان برای قرار گرفتن دستگاه لایه‌نشانی در گلاوباکس طراحی شده است تا لایه‌نشانی لایه‌هایی با خلوص بالاتر و قابلیت کنترل بهتر شرایط خلاء در حین لایه‌نشانی و جابه‌جایی زیرلایه پیش و پس از لایه‌نشانی را در محیطی تمیز امکان‌پذیر سازد.

مدل DST2-TG مجهز به دو کاتد مگنترون آبگرد دو اینچی و یک جفت الکترود برای عبور جریان از بوته حاوی منبع تبخیر حرارتی است که در صورت درخواست کاربر، امکان تغییر تعداد کاتدها و الکترودها تا مجموعا سه کاتد اسپاترینگ/منبع تبخیر حرارتی وجود دارد (در زمان ثبت سفارش).

NSC Product DST2-TG with Glove Box Three Shots

دستگاه لایه نشانی اسپاترینگ و تبخیر حرارتی مناسب برای گلاوباکس DST2-TG، علاوه بر دارا بودن صفحه نمایش ۷ اینچی رنگی لمسی با نرم‌افزاری بسیار آسان برای انجام لایه‌نشانی خودکار و دستی، قابلیت اتصال بدون سیم (Wi-Fi) به رایانه شخصی را نیز داراست (با توجه به مدل انتخابی)؛ بدین ترتیب سیستم لایه‌نشانی در داخل گلاوباکس نیز به راحتی قابل کنترل است.

با استفاده از منبع تغذیه RF (در صورت درخواست کاربر)، لایه‌نشانی نیمه هادی‌ها وسرامیک‌ها امکان‌پذیر است. همچنین در این دستگاه با اتصال نخ کربنی در جایگاه بوته تبخیر حرارتی، قابلیت لایه‌نشانی حرارتی کربن نیز وجود دارد. به علاوه، امکان افزودن تمیز کننده پلاسمایی (Plasma Cleaner) نیز به این دستگاه وجود دارد.

درخواست صدور پیش فاکتور

با استفاده از دستگاه لایه نشانی مدل DST2-TG میتوان لایه‌ای نانومتری از مواد گوناگون از جمله طلا (Au)، آلیاژ پلاتین/پالادیوم (Pt/Pd)، نقره (Ag)، کروم (Cr)، تنگستن (W)، ایریدوم (Ir) و بسیاری از مواد دیگر ایجاد کرد. لایه نشانی در یک محیط خلاء بالا موجب می‌شود تا لایه ایجاد شده دارای کیفیت بالایی بوده و برای نمونه هایی که نیاز به رزولوشن بالایی دارند، مناسب باشد. (در صورت تمایل به مطالعه درباره یکنواختی لایه نازک و لایه نازک مس در اسپاترینگ اینجا کلیک نمایید.)

به همین جهت، مدل DST2-TG مناسب برای آماده‌سازی نمونه‌ها به منظور مشاهده با میکروسکوپ الکترونی می‌باشد. از جمله کاربردهای این دستگاه میتوان به آماده‌سازی نمونه‌ها برای کاربردهای میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی (FE-SEM)، میکروسکوپ الکترونی عبوری (TEM) ، آنالیز نمونه‌ها با اشعه ایکس (EDS / WDS) و EBSD اشاره کرد.

میکروسکوپ گسیل میدانی

انواع میکروسکوپ الکترونی

در صورت درخواست مشتری امکان ارائه سیستم اسپاترکوتر DST2-TG با تجهیزات جانبی زیر وجود دارد:

منبع تغذیه RF با مچینگ باکس خودکار که توان انعکاسی را در حین فرآیند اسپاترینگ به حداقل برساند
تمیزکننده پلاسما برای از بین بردن مواد ارگانیک روی زیرلایه (تمیز کردن زیرلایه) پیش از لایه‌نشانی لایه نازک

ویژگی‌های اتوماسیون

صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
نرم‌افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز‌رسانی از طریق شبکه
لایه نشانی نیم/تمام اتوماتیک
لایه‌نشانی قابل برنامه‌ریزی دستی یا خودکار لایه‌نشانی اسپاترینگ بر اساس زمان یا ضخامت لایه
قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
انتخاب کاتد اتوماتیک برای لایه‌نشانی پوشش‌های چندلایه

امکانات انتخابی

اسپاترینگ RF برای لایه‌نشانی اهداف نارسانا/نیم‌رسانا
تمیزکننده پلاسما

مشخصات دستگاه اسپاترینگ و تبخیر حرارتی مناسب گلاوباکس

ویژگی‌های سخت‌افزاری

پمپ توربو مولکولار خلاء بالا با ظرفیت l/s 90 (آلمانی)
پمپ پشتیبان روتاری دو مرحله‌ای
محفظه بزرگ به قطر ۳۰۰ میلیمتر مناسب برای لایه‌نشانی نمونه‌های بزرگ
فشارسنج فول رنج (آلمانی)
کنترل نرخ لایه نشانی لحظه به لحظه با دقت یک نانومتر و رزولوشن ۱ آنگستروم با استفاده از دو ضخامت سنج کریستال کوارتز
بالابرنده الکتریکی محفظه خلاء برای باز کردن/بستن محفظه بدون دخالت دست
کنترل تزریق گاز به محفظه خلاء با دو فلومتر (MFC) دقیق
دو کاتد دو اینچی خنک شونده با آب
موتور انتخاب کاتد
شاترهای الکترونیکی
نگهدارنده نمونه چرخان با قابلیت تنظیم ارتفاع و زاویه چرخش

محفظه خلاء بالا

محفظه خلاء دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان تبخیر حرارتی مناسب برای گلاوباکس شامل یک مخزن استوانه‌ای از جنس پیرکس به قطر mm 300 و ارتفاع ۲۰۰-۲۵۰ mm همراه با اورینگ‌های ال شکل می‌باشد. به علاوه، دستگاه DST2-TG مجهز به پمپ توربومولکولار خلاء بالا L/s 90 می‌باشد که توسط یک پمپ روتاری دو مرحله ای m^۳/h 6 پشتیبانی می‌شود و در نتیجه هیچگونه آلودگی ناشی از روغن (که از ویژگی‌های پمپ های دیفیوژنی است) وارد محفظه خلاء نمی‌شود و لایه‌نشانی در یک محیط بسیار تمیز انجام می‌شود. با قرار گرفتن محفظه لایه‌نشانی دستگاه DST2-TG در گلاوباکس، محیط داخل محفظه به منظور لایه‌نشانی لایه‌هایی با خلوص بالا بسیار قابل کنترل است. همچنین، امکان جابجایی و نگهداری نمونه‌ها در محیطی تمیز و تحت گاز بی‌اثر در گلاوباکس پیش و پس از لایه‌نشانی فراهم شده است.

صفحه نمایش رنگی دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان تبخیر حرارتی مناسب برای گلاوباکس

دستگاه DST2-TG مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می‌باشد که تمام فرآیندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می‌شود. با توجه به کاربری ساده این نرم‌افزار، کاربر می‌تواند اطلاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرآیند لایه‌نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرآیند به صورت نمودار و یا داده مشاهده نماید.

به علاوه، اطلاعات ۳۰۰ لایه‌نشانی آخر در صفحه تاریخچه دستگاه ذخیره می‌شود. بنا بر مدل انتخابی، صفحه نمایش می‌تواند از بیرون گلاوباکس و یا از طریق اتصال وای-فای، از کامپیوتر نیز قابل دسترسی باشد و دستگاه کنترل شود. کاربر می‌تواند فرآیند لایه‌نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کند و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه‌نشانی به صورت خودکار متوقف می‌شود.

تجهیزات اضافه و لوازم جانبی DST2-TG

سنسور کریستال کوارتز
شیشه یدک محفظه خلاء
لاستیک‌های آب‌بندی دور شیشه محفظه خلاء
تارگت اسپاترینگ
نگهدارنده منبع لایه‌نشانی تبخیر حرارتی
میله تمیزکننده پلاسما

کاربردها

لایه‌نشانی فلزات، نیمه‌هادی‌ها و مواد دی‌الکتریک
ادوات نانو و میکروالکترونیک
سلول‌های خورشیدی
باتری‌های لایه نازک
فرآیندهای اسپاترینگ هم‌زمان
اسپاترینگ GLAD
لایه‌های اپتیکی
حسگرهای بر پایه لایه‌های نازک
لایه‌های نازک مغناطیسی
آماده‌سازی نمونه‌های میکروسکوپ الکترونی با ایجاد لایه نازک رسانا با دانه‌بندی ریز