دستگاه اسپاترینگ و تبخیر حرارتی مناسب برای گلاوباکس مدل DST2-TG، یک سیستم لایه‌نشانی در خلاء بالا با محفظه شیشه‌ای بزرگ، به روش‌های اسپاترینگ و تبخیر حرارتی با قابلیت تغییر نوع لایه‌نشانی (اسپاترینگ/تبخیر حرارتی) و لایه‌نشانی پوشش‌های چندلایه (بدون نیاز به باز کردن درب محفظه) و کنترل از راه دور از طریق Wi-Fi است. این دستگاه مجهز به پمپ توربومولکولار بوده و با دارا بودن منابع تغذیه DC، قادر به لایه‌نشانی گروه وسیعی از مواد شامل فلزات (اکسیدی و غیر اکسیدی) می‌باشد.
دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان تبخیر حرارتی مناسب برای گلاوباکس DST2-TG، در راستای تامین نیاز مشتریان برای قرار گرفتن دستگاه لایه‌نشانی در گلاوباکس طراحی شده است تا لایه‌نشانی لایه‌هایی با خلوص بالاتر و قابلیت کنترل بهتر شرایط خلاء در حین لایه‌نشانی و جابه‌جایی زیرلایه پیش و پس از لایه‌نشانی را در محیطی تمیز امکان‌پذیر سازد.
مدل DST2-TG مجهز به دو کاتد مگنترون آبگرد دو اینچی و یک جفت الکترود برای عبور جریان از بوته حاوی منبع تبخیر حرارتی است که در صورت درخواست کاربر، امکان تغییر تعداد کاتدها و الکترودها تا مجموعا سه کاتد اسپاترینگ/منبع تبخیر حرارتی وجود دارد.
دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان تبخیر حرارتی مناسب برای گلاوباکس DST2-TG، علاوه بر دارا بودن صفحه نمایش ۷ اینچی رنگی لمسی با نرم‌افزاری بسیار آسان برای انجام لایه‌نشانی خودکار و دستی، قابلیت اتصال بدون سیم (Wi-Fi) به رایانه شخصی را نیز داراست؛ بدین ترتیب سیستم لایه‌نشانی در داخل گلاوباکس به راحتی قابل کنترل است.
با استفاده از منبع تغذیه RF (در صورت درخواست کاربر)، لایه‌نشانی نیمه هادی‌ها وسرامیک‌ها امکان‌پذیر است. همچنین در این دستگاه با اتصال نخ کربنی در جایگاه بوته تبخیر حرارتی، قابلیت لایه‌نشانی حرارتی کربن نیز وجود دارد. به علاوه، امکان افزودن تمیز کننده پلاسمایی (Plasma Cleaner) نیز به این دستگاه وجود دارد.
با استفاده از دستگاه لایه نشانی مدل DST2-TG میتوان لایه‌ای نانومتری از مواد گوناگون از جمله طلا (Au)، آلیاژ پلاتین/پالادیوم (Pt/Pd)، نقره (Ag)، کروم (Cr)، تنگستن (W)، ایریدوم (Ir) و بسیاری از مواد دیگر ایجاد کرد. لایه نشانی در یک محیط خلاء بالا موجب می‌شود تا لایه نازک ایجاد شده دارای کیفیت بالایی بوده و برای نمونه هایی که نیاز به رزولوشن بالایی دارند، مناسب باشد. (در صورت تمایل به مطالعه درباره یکنواختی لایه نازک و لایه نازک مس در اسپاترینگ اینجا کلیک نمایید.)
به همین جهت، مدل DST2-TG مناسب برای آماده‌سازی نمونه‌ها به منظور مشاهده با میکروسکوپ الکترونی می‌باشد. از جمله کاربردهای این دستگاه میتوان به آماده‌سازی نمونه‌ها برای کاربردهای میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی (FE-SEM)، میکروسکوپ الکترونی عبوری (TEM) ، آنالیز نمونه‌ها با اشعه ایکس (EDS / WDS) و EBSD اشاره کرد.
در صورت درخواست مشتری امکان ارائه سیستم اسپاترکوتر DST2-TG با تجهیزات جانبی زیر وجود دارد:
- منبع تغذیه RF با مچینگ باکس خودکار که توان انعکاسی را در حین فرآیند اسپاترینگ به حداقل برساند (اسپاترینگ RF برای لایه‌نشانی اهداف نارسانا/نیم‌رسانا)
- تمیزکننده پلاسما برای از بین بردن مواد ارگانیک روی زیرلایه (تمیز کردن زیرلایه) پیش از لایه‌نشانی لایه نازک
مشخصات دستگاه اسپاترینگ و تبخیر حرارتی مناسب گلاوباکس
ویژگی‌های سخت‌افزاری
- اتصالات ISO KF40 مناسب برای اتصالات گلاوباکس برای منابع تغذیه (DC ،RF و جریان بالا)، شلنگ‌های پمپ خلاء، اتصالات سیستم خنک کننده و گاز آرگون/واکنش دهنده و اتصالات الکتریکی
- پمپ توربو مولکولار خلاء بالا با ظرفیت l/s 90 (آلمانی)
- پمپ پشتیبان روتاری دو مرحله‌ای
- محفظه بزرگ به قطر ۳۰۰ میلیمتر مناسب برای لایه‌نشانی نمونه‌های بزرگ
- فشارسنج فول رنج (آلمانی)
- کنترل نرخ لایه نشانی لحظه به لحظه با دقت یک نانومتر و رزولوشن ۱ آنگستروم با استفاده از دو ضخامت سنج کریستال کوارتز
- بالابرنده الکتریکی محفظه خلاء برای باز کردن/بستن محفظه بدون دخالت دست
- کنترل تزریق گاز به محفظه خلاء با MFC
- دو کاتد دو اینچی خنک شونده با آب
- قابلیت نصب هدف‌های اسپاترینگ بدون نیاز به نگهدارنده هدف
- رسانش حرارتی بالاتر بین هدف و کاتد با استفاده از صفحه پشت‌بند (Backing plate) هدف
- موتور انتخاب کاتد
- شاترهای الکترونیکی
- زمان نامحدود اسپاترینگ بدون شکستن خلاء
- نگهدارنده نمونه چرخان با قابلیت تنظیم ارتفاع و زاویه چرخش
- دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات
- بسته‌بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب‌دیدگی دستگاه در حین حمل
- قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
- قابلیت ذخیره برنامه‌های لایه‌نشانی تا ۸ برنامه
- انتخاب کاتد برای لایه‌نشانی پوشش‌های چندلایه
- انتخاب کاتد اتوماتیک
- باز و بست اتوماتیک شاترها
ویژگی‌های اتوماسیون
- صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
- نرم‌افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز‌رسانی از طریق شبکه
- لایه نشانی نیم/تمام اتوماتیک (انتخابی)
- کنترل فرآیند لایه‌نشانی از کامپیوتر از طریق اتصال Wi-Fi
- لایه‌نشانی قابل برنامه‌ریزی دستی یا خودکار بر اساس زمان یا ضخامت لایه مورد نظر
محفظه خلاء بالا
محفظه خلاء دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان تبخیر حرارتی مناسب برای گلاوباکس شامل یک مخزن استوانه‌ای از جنس پیرکس به قطرmm 300 و ارتفاع ۲۰۰-۲۵۰ mm همراه با اورینگ‌های ال شکل می‌باشد. به علاوه، دستگاه DST2-TG مجهز به پمپ توربومولکولار خلاء بالا L/s 90 می‌باشد که توسط یک پمپ روتاری دو مرحله ای m۳/h 4 پشتیبانی می‌شود و در نتیجه هیچگونه آلودگی ناشی از روغن (که از ویژگی‌های پمپ های دیفیوژنی است) وارد محفظه خلاء نمی‌شود و لایه‌نشانی در یک محیط بسیار تمیز انجام می‌گردد.
صفحه نمایش رنگی دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان تبخیر حرارتی مناسب برای گلاوباکس
دستگاه DST2-TG مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می‌باشد که تمام فرآیندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می‌شود. با توجه به کاربری ساده این نرم‌افزار، کاربر می‌تواند اطلاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرآیند لایه‌نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرآیند به صورت نمودار و یا داده مشاهده نماید.
به علاوه، اطلاعات ۳۰۰ لایه‌نشانی آخر در صفحه تاریخچه دستگاه ذخیره می‌شود. صفحه نمایش از طریق اتصال وای-فای، با کامپیوتر نیز قابل دسترسی است و کاربر می‌تواند از طریق این صفحه نمایش فرآیند لایه‌نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کند و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه‌نشانی به صورت خودکار متوقف می‌شود.
تجهیزات اضافه و لوازم جانبی DST2-TG
- سنسور کریستال کوارتز
- شیشه یدک محفظه خلاء
- لاستیک‌های آب‌بندی دور شیشه محفظه خلاء
- تارگت اسپاترینگ
- شاتر الکترونیکی
- نگهدارنده زیر لایه با قابلیت چرخش
- استفاده از فلومترهای دقیق برای کنترل دقیق فشار و خلاء
- کنترل فرآیند لایه نشانی بر اساس زمان یا ضخامت
- قابلیت انتقال داده‌ها از طریق اتصال USB و وای-فای به کامپیوتر
- قابلیت نگهداری نمونه‌ها در خلاء
- منبع تغذیه دی سی: ۰-۱۲۰۰ ولت، ۰-۵۰۰ میلی‌آمپر
- ابعاد: ۶۰۰*۶۰۰*۵۵۰ میلیمتر
- برق ورودی: ۲۲۰V, 50HZ- 16A
- وزن دستگاه ۱۲۰ کیلوگرم (محفظه دستگاه، رک منبع تغذیه و پمپ)
سایر مشخصات دستگاه DST2-TG
- ترکیب اسپاترکوتر و لایه‌نشانی تبخیر حرارتی برای نصب داخل گلاوباکس
- فشار نهایی کمتر از Torr ۶-۱۰ × ۸
- محفظه از جنس پیرکس با ارتفاع mm 250-200 و قطر خارجی mm 300 برای لایه‌نشانی بر روی زیرلایه‌های بزرگ
- دو کاتد مگنترون ۲ اینچی
- نصب سریع و آسان هدف بر روی کاتد بدون نیاز به نگهدارنده هدف
- تقویت رسانش حرارتی با استفاده از صفحه پشت-بند هدف
- کنترل اتوماتیک دمای کاتد برای افزایش عمر آهنرباها
