دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن خلاء بالا

دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن خلاء بالا – DSCT، یک دستگاه لایه‌نشانی به روش اسپاترینگ و تبخیر حرارتی کربن در خلاء بالا با دو در قابل تعویض، مناسب برای آماده‌سازی نمونه‌ها به منظور مشاهده با میکروسکوپ‌های الکترونی است. دستگاه DSCT مجهز به پمپ توربومولکولار بوده و قابلیت اسپاترینگ رنج وسیعی از فلزات نجیب از جمله طلا (Au)، آلیاژ پلاتین/پالادیوم (Pt/Pd)، نقره (Ag)، فلزات اکسیدشونده مانند کروم (Cr)، تنگستن (W) و ایریدوم (Ir)، و لایه‌نشانی تبخیر حرارتی فیبر (نخ) یا راد کربنی را دارا است.

لایه نشانی در یک محیط خلاء بالا موجب می‌شود تا لایه نازک ایجاد شده دارای کیفیت بالایی بوده و برایپوشش‌دهی نمونه‌های نارسانا یا نیم‌رسانا که نیاز به رزولوشن بالایی دارند، مناسب باشد. از جمله کاربردهای این دستگاه میتوان به آماده‌سازی نمونه‌ها برای کاربردهای میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی (FE-SEM)، میکروسکوپ الکترونی عبوری (TEM)، آنالیز نمونه‌ها با اشعه ایکس (EDS/WDS) و EBSD اشاره کرد. دستگاه DSCT، مجهز به یک کاتد مگنترون دو اینچی، یک منبع تغذیه سوئیچینگ ۸۰ وات DC و یک منبع تغذیه جریان بالا به منظور لایه نشانی کربن است.به منظور تسهیل در فرآیند لایه‌نشانی اسپاترینگ فلزات اکسیدشونده، امکان ارائه دستگاه با منبع نغذیه توان بالاتر (۱۶۰ وات) موجود است.

دستگاه DSCT درصورت تجهیز به کاتد آبگرد به درخواست کاربر، امکان انجام لایه‌نشانی اسپاترینگ در مدت زمان طولانی‌تری را داراست. DSCT با قابلیت انجام تمام اتوماتیک فرآیندهای لایه‌نشانی اسپاترینگ و کربن، امکان انجام لایه‌نشانی دقیق، آسان و تکرارپذیر را در اختیار کاربر قرار می‌دهد. حداکثر اندازه نمونه در این مدل ۱۰ سانتی‌متر (۴ اینچ) است.

اتوماسیون

صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه
کنترل فرآیند لایه نشانی اسپاترینگ بر اساس زمان یا ضخامت
لایه‌نشانی فیبر کربنی به صورت دو مد پالسی یا فلش
لایه‌نشانی راد کربنی به صورت دو مد پالسی یا جریان افزایشی
قابلیت انجام فرآیند لایه‌نشانی اسپاترینگ و کربن به صورت نیمه-تمام اتوماتیک بر اساس ضخامت
لایه‌نشانی تکرارپذیر و قابل برنامه‌ریزی اسپاترینگ و کربن در حالت اتوماتیک
قابلیت ذخیره‌سازی تا ۱۰ برنامه لایه‌نشانی
قابلیت ذخیره و رسم نمودار داده‌ها در حین لایه‌نشانی
دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات

درخواست صدور پیش فاکتور

مشخصات دستگاه

ویژگی‌های سخت‌افزاری

پمپ توربو مولکولار خلاء بالا با ظرفیت ۹۰l/s (آلمانی)
پمپ پشتیبان روتاری دو مرحله‌ای (امکان استفاده از پمپ دیافراگمی)
فشارسنج فول رنج (آلمانی)
یک کاتد مگنترون ۲ اینچی
منبع تغذیه DC سوییچینگ ۸۰ وات برای اسپاترینگ
منبع تغذیه DC پالسی ۰-۲۵ A برای لایه‌نشانی فیبر کربنی
منبع تغذیه DC با جریان ۰-۱۰۰ A برای لایه‌نشانی راد کربنی (انتخابی)
ضخامت‌سنج کریستال کوارتز با دقت ۱ نانومتر و رزولشن ۱ آنگستروم
شیر تخلیه الکترونیک
نگهدارنده زیر لایه با قابلیت چرخش و تنظیم ارتفاع و زاویه نمونه
نمونه‌گیر سیاره‌ای
شاتر الکترونیک
قابلیت تعویض آسان پایه‌های نمونه‌گیر

تبخیر حرارتی کربن در DSCT

دستگاه لایه‌نشانی خلاء بالای DSCT امکان لایه‌نشانی فیبر و راد (انتخابی) کربنی به روش تبخیر حرارتی برای ایجاد لایه نازک کربنی را با تعویض درب محفظه داراست.

در لایه نشانی کربن – Carbon Fiber Evaporation Head

تبخیر حرارتی راد کربنی

دستگاه DSCT با قابلیت تجهیز به درب تبخیر حرارتی راد کربنی و منبع تغذیه ۱۰۰-۰ آمپری خارج از دستگاه، امکان لایه‌نشانی راد کربنی در دو مد پالسی و یا جریان افزایشی را در حالت اتوماتیک فراهم می‌کند.

لایه نشانی پالسی نخ کربنی

این دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن خلاء بالا مجهز به یک منبع تغذیه جریان بالا است که امکان لایه نشانی کربن در دو مد پالسی و یا فلش را فراهم می‌کند. در لایه نشانی پالسی نخ کربن با انجام لایه نشانی در خلال پالس‌های کوتاه، کنترل فرایند لایه نشانی بهتر بوده و مقدار دور‌ریزهای کربن نسبت به روش‌های متداول کمتر می‌باشد.

صفحه نمایش لمسی رنگی

دستگاه لایه‌نشانی DSCT، مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام‌رنگی می‌باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می‌شود. با توجه به رابط کاربری ساده سیستم، کاربر می‌تواند اطلاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه‌نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه‌نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین داده‌‌های مربوط به ۳۰۰ لایه‌نشانی آخر در صفحه تاریخچه (History) ذخیره می‌شود و امکان انتقال داده‌ها به کامپیوتر با استفاده از خروجی USB بر روی دستگاه وجود دارد.

سیستم چرخاننده زیر لایه

چرخش زیرلایه در هنگام لایه نشانی به منظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن خلاء بالا، می‌باشد. همچنین دستگاه DSCT، قابلیت مجهز شدن به سیستم چرخاننده سیاره‌ای زیرلایه را نیز دارا است. حرکت سیاره‌ای (در سه جهت x,y,z) موجب می‌شود تا درون حفره‌های نمونه‌های متخلخل نیز به خوبی پوشش داده شوند. نگهدارنده نمونه میتواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارنده‌های نمونه در این دستگاه بسیار ساده بوده و کاربر به سادگی قادر به انجام آن می‌باشد.

نگهدارنده نمونه جدید

نگهدارنده نمونه جدید چرخان به قطر ۱۰ سانتی‌متر به منظور افزایش سطح و تعداد پایه‌های SEM قابل لایه‌نشانی برای این دستگاه طراحی شده است. (در حدود ۵۰ پایه SEM به قطر یک میلیمتر به طور همزمان قابل لایه‌نشانی هستند).

کاربردها

لایه‌نشانی فلزات نجیب و کربن برای آماده‌سازی نمونه‌ها به منظور تصویربرداری توسط SEM، FE-SEM، EDX و TEM
ایجاد لایه‌های رسانا
GLAD Sputtering
آبدوست کردن توری‌های TEM با اعمال پلاسما (انتخابی)