دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا – DST1-170

این مدل انتخابی مناسب برای آماده‌سازی نمونه‌ها به منظور مشاهده با میکروسکوپ الکترونی است. با استفاده از این دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا میتوان لایه‌ای نانومتری از مواد گوناگون اکسیدشونده و غیراکسیدشونده از جمله طلا (Au)، آلیاژ پلاتین/پالادیوم (Pt/Pd)، نقره (Ag)، کروم (Cr)، تنگستن (W)، ایریدوم (Ir) و بسیاری از مواد دیگر را ایجاد کرد. لایه نشانی در یک محیط خلاء بالا موجب می‌شود تا لایه ایجاد شده دارای کیفیت بالا و دانه‌بندی ریز بوده و برای نمونه‌هایی که نیاز به رزولوشن بالایی دارند، مناسب باشد. از جمله کاربرد‌های دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا، میتوان به آماده سازی نمونه‌ها برای کاربردهای میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی (FE-SEM)، میکروسکوپ الکترونی عبوری (TEM) و آنالیزهای EDS/WDS و EBSD اشاره کرد.

دستگاه DST1-170 درصورت انتخاب کاربر با کاتد آبگرد نیز ارائه می‌شود تا لایه‌نشانی‌ در مدت زمان بیشتر نیز با این دستگاه امکان‌پذیر شود.

نگهدارنده نمونه ۱۰ سانتیمتری نیز به صورت انتخابی برای این مدل ارائه می‌شود.

محفظه خلاء بالا

محفظه خلاء دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا، شامل یک مخزن استوانه‌ای از جنس پیرکس به قطر ۱۷۰mm و ارتفاع ۱۴۰mm همراه با اورینگ‌های ال شکل می‌باشد. دستگاه مجهز به پمپ توربومولکولار خلاء بالا است که توسط یک پمپ روتاری دو مرحله‌ای پشتیبانی می‌شود و در نتیجه هیچ گونه آلودگی ناشی از روغن (که از ویژگی‌های پمپ‌های دیفیوژنی است) وارد محفظه خلاء نمی‌شود و لایه نشانی در یک محیط بسیار تمیز انجام می‌شود.

سیستم چرخاننده زیر لایه

چرخش زیرلایه در هنگام لایه نشانی به منظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا – DST1-170، است. همچنین دستگاه قابلیت مجهز شدن به سیستم چرخاننده سیاره‌ای زیرلایه را نیز دارا است. حرکت سیاره‌ای (در سه جهت x,y,z) موجب می‌شود تا درون حفره‌های نمونه‌های متخلخل نیز به خوبی پوشش داده شوند.

نگهدارنده نمونه میتواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارنده‌های نمونه در این دستگاه بسیار ساده بوده و کاربر به سادگی قادر به انجام آن است.

تجهیزات اضافه و لوازم جانبی

• سنسورکریستال کوارتز

• چرخاننده نمونه سیاره ای

• شیشه یدک محفظه خلاء به همراه لاستیک های آب بندی دور شیشه

• تارگت های اسپاترینگ

• تمیزکننده پلاسمایی (plasma cleaner)

سایر مشخصات دستگاه

• فشار نهایی کمتر از ^۶-۱۰ × ۸ Torr 
• مناسب برای لایه‌نشانی مواد اکسیدشونده و غیراکسیدشونده
• محفظه از جنس پیرکس با ارتفاع ۱۴۰mm و قطر خارجی ۱۷۰mm
• کنترل اتوماتیک دمای کاتد برای افزایش طول عمر مگنتهای پشت کاتد
• قابلیت ورود سریع داده‌ها از طریق صفحه لمسی رنگی
• قابلیت نگهداری نمونه‌ها در خلاء
• لایه‌نشانی اتوماتیک
• کنترل دقیق فشار خلاء
• قابلیت رسم نمودارهای فشار، جریان و ضخامت در حین لایه نشانی
• دارای پورت USB برای انتقال داده‌های لایه نشانی 
• برق ورودی و توان مصرفی: ۲۲۰V – ۵۰HZ – 1.5kW
• وزن: ۳۶ کیلوگرم