دستگاه تبخیر حرارتی مدل DTT، یک سیستم لایه‌نشانی در خلاء بالا به روش تبخیر حرارتی به منظور لایه‌نشانی لایه‌های نازک از مواد مختلف بر روی زیرلایه است. با تبخیر مواد قرار گرفته در نگهدارنده‌های سه‌گانه (قایقک، سبد) نصب شده در کف محفظه خلاء، سیستم تبخیر حرارتی DTT برای تبخیر مواد مختلف در خلاء بالا برای تحقیقات مرتبط با لایه‌نشانی مواد مناسب است. قابلیت لایه‌نشانی از سه منبع تبخیر به صورت همزمان و تغییر مکان نگهدارنده نمونه از طریق صفحه نمایش لمسی در حین لایه‌نشانی، امکان ایجاد لایه‌های چندگانه و آلیاژی را فراهم آورده است. این دستگاه در ابعاد مناسب و با تجهیز به پمپ توربومولکولار قابلیت رسیدن به خلاء مناسب و شروع فرآیند لایه‌نشانی را در زمانی کوتاه داراست.
این دستگاه در ابعاد مناسب و با تجهیز به پمپ توربومولکولار قابلیت رسیدن به خلاء مناسب و شروع فرآیند لایه‌نشانی را در زمانی کوتاه داراست. دستگاه لایه‌نشانی DTT برای کاربردهای تحقیقاتی و آزمایشگاهی بسیار مناسب است. همچنین این دستگاه را می‌توان به منظور لایه‌نشانی مواد اکسیدشونده و حساس به هوا، داخل گلاوباکس قرار داد.
ویژگی‌های اتوماسیون
- صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند خلاء و عملکرد دستگاه
- نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه
- لایه‌نشانی دستی یا اتوماتیک بر اساس تنظیم زمان لایه‌نشانی یا ضخامت لایه مورد نظر
- انتخاب منبع لایه‌نشانی از طریق نرم‌افزار به منظور لایه‌نشانی لایه‌های نازک چندگانه
- قابلیت رسم نمودار داده‌ها در حین لایه نشانی
مشخصات سیستم تبخیر حرارتی مدل DTT
ویژگی‌های سخت‌افزاری
- منبع تغذیه DC جریان بالا(حداکثر ۱۰۰A, 12V)
- پمپ توربومولکولار خلاء بالا
- پمپ پشتیبان روتاری دو مرحله‌ای (قابلیت استفاده از پمپ دیافراگمی یا اسکرول را نیز به عنوان پمپ پشتیبان دارد)
- فشارسنج فول رنج (آلمانی)
- کنترل نرخ لایه‌نشانی لحظه به لحظه با دقت یک نانومتر و رزولوشن ۱ آنگستروم با استفاده از ضخامت‌سنج کریستال کوارتز
- شاتر الکترونیک
- شیر هواگیری الکترونیک
- نگهدارنده نمونه چرخان با قابلیت تنظیم ارتفاع و زاویه چرخش بر روی کف محفظه خلاء
- گرم کننده زیرلایه به قطر دو اینچ (۵۰۰ ± ۱ °C) (انتخابی)
- سیستم خنک‌کننده زیرلایه (انتخابی)
- اتصالات نصب گلاوباکس (انتخابی)
- حسگرهای دما و جریان آب
محفظه خلاء بالا
محفظه خلاء دستگاه شامل یک محفظه استوانه‌ای از جنس پیرکس به قطرmm 300 و ارتفاع mm 250 همراه با اورینگ‌های ال‌شکل است. امکان افزایش ارتفاع دستگاه با استفاده از یک محفظه استوانه‌ای مجزا در ابعاد مشابه وجود دارد. دستگاه مجهز به پمپ توربومولکولار خلاء بالا L/s 90 است که توسط یک پمپ روتاری دو مرحله ای m۳/h 6 پشتیبانی می‌شود (انتخابی). و در نتیجه هیچ گونه آلودگی ناشی از روغن (که از ویژگی‌های پمپ‌های دیفیوژنی است) وارد محفظه خلاء نمی‌شود و لایه‌نشانی در یک محیط بسیار تمیز انجام می‌شود.
صفحه نمایش رنگی
دستگاه مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می باشد که رصد داده‌های فرایند لایه‌نشانی و وضعیت دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده این نرم افزار، کاربر می تواند فرآیند خلاءسازی و یا اطلاعات مربوط به فرآیند لایه‌نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا داده مشاهده نماید. اطلاعات ۳۰۰ لایه نشانی آخر در صفحه تاریخچه دستگاه ذخیره می‌شود.
تجهیزات اضافه و لوازم جانبی
- منبع تغذیه جریان بالا به منظور لایه‌نشانی همزمان
- سنسورضخامت کریستال کوارتز
- شیشه یدک محفظه خلاء
- لاستیک‌های آب‌بندی دور شیشه محفظه خلاء
- بوته‌های تبخیر مواد
- گرم‌کننده زیرلایه به قطر دو اینچ (۵۰۰ ± ۱ °C)
- سیستم خنک‌کننده زیرلایه
کاربردها
- لایه‌نشانی لایه‌های نازک فلزی
- نانو و میکروالکترونیک
- ساخت باتری‌های لیتیومی
- ساخت ادوات اپتیکی
- ساخت سلول‌های خورشیدی
- ساخت حسگرهای لایه نازک
سایر مشخصات دستگاه
- لایه‌نشانی لایه‌های چندگانه
- لایه‌نشانی همزمان به منظور ساخت لایه‌های آلیاژی با استفاده از منابع تغذیه اضافی (انتخابی)
- پمپ توربو مولکولار در سرعت‌های مختلف (انتخابی)
سرعت پمپ ۹۰ l/s ۲۵۰ l/s ۳۵۰ l/s فشار نهایی ۸ x10-۶ Torr ۳ x10-۶ Torr ۸ x10-۷ Torr - قابلیت نصب بوته‌های حرارتی مختلف
- قابلیت انتقال داده‌ها از طریق اتصال USB به کامپیوتر
- رسم نمودارهای متغیرهای لایه‌نشانی در لحظه انجام فرآیند
- قابلیت نگهداری نمونه ها در خلاء
- ابعاد: ۶۰۰× ۵۰۰ ×۶۵۰ (ارتفاع×عمق×عرض) میلیمتر (بدون رک منبع تغذیه)
- برق ورودی: ۲۲۰V, 50HZ
- توان مصرفی: ۱.۲ kW
- وزن دستگاه ۳۰ کیلوگرم (بدون پمپ پشتی)
- بسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حمل
منابع تبخیر (سبد، قایقک، سیم پیچ)
دستگاه لایه نشانی در خلاء به روش تبخیر حرارتی مدل DTT دارای قابلیت نصب سه منبع تبخیر حرارتی مقاومتی مستقل با بازه طولی ۵ تا ۹ سانتی متر می باشد. این منابع به صورتی طراحی شده اند که یکدیگر را آلوده نمی کنند.
