دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن – DSCR-300

دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن – DSCR-300، با محفظه‌ای به قطر ۳۰۰ میلیمتر، یک سیستم لایه نشانی متشکل از دو در جداگانه مخصوص لایه نشانی اسپاترینگ و کربن است. این دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن، به کاتدهای آبگرد ۳ یا ۴ اینچی متناسب با خواست مشتری تجهیز می‌شود. DSCR-300 برای لایه نشانی نمونه‌های بزرگ تا ۱۲ سانتی‌متر با کاتد ۳ اینچی و تا ۱۵ سانتی‌متر با کاتد ۴ اینچی، متناسب است. زمان فرایند لایه نشانی در این دستگاه با توجه به آبگرد بودن کاتد، نامحدود بوده و امکان لایه نشانی لایه‌های ضخیم بر روی نمونه‌های بزرگ را فراهم می‌کند.

علاوه‌بر‌این، درِ مخصوص تبخیر کربن در این دستگاه، امکان لایه نشانی کربن با استفاده از نخ کربنی به روش تبخیر حرارتی را نیز فراهم می‌کند (DSCR-300 تنها قابلیت تبخیر حرارتی کربن را دارا می‌باشد و در صورت نیاز به تبخیر حرارتی سایر مواد به دستگاه تبخیر حرارتی DTT یا اسپاترینگ و لایه نشان کربن خلاء بالا DSCT نیاز است). DSCR-300، عمدتا به عنوان پوشش‌دهنده نمونه‌های میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) و برای لایه نشانی فلزات غیر اکسیدی مانند طلا (Au)، پالادیوم (Pd)، پلاتین (Pt) و طلا/پالادیوم (Au/Pd) بر روی نمونه‌های نارسانا یا نیم‌رسانا استفاده می‌شود.

این دستگاه اسپاترینگ، یک لایه نشان مجهز به پمپ روتاری است که با دو درِ قابل تعویض امکان اسپاترینگ فلزات نجیب یا تبخیر حرارتی کربن را ایجاد می‌کند. انجام لایه نشانی در فرایندی تمام اتوماتیک این امکان را فراهم می آورد که حتی کاربران کم تجربه نیز به راحتی بتوانند با این سیستم به لایه نشانی بپردازند.

درخواست صدور پیش فاکتور

مشخصات دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن

دارای عملکرد راحت و بدون پیچیدگی
صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
سهولت در قرار دادن و برداشتن نمونه‌ها از داخل دستگاه
لایه نشانی دقیق با قابلیت تکرار‌پذیری
بدون نیاز به خنک‌سازی محفظه خلاء
انجام اسپاترینگ در ولتاژ پایین
کنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر با استفاده از ضخامت‌سنج کریستالی
لایه نشانی کربن به صورت دو مد پالسی یا فلش
نخ کربن دو رشته‌ای برای لایه نشانی ضخیم‌تر در زمان کوتاه‌تر
نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی
قابلیت رسم نمودار‌های فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات
دو سال گارانتی کامل
بسته‌بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب‌دیدگی دستگاه در حین حمل
دارای گواهی بین‌المللی CE برای اجازه ورود به بازار اتحادیه اروپا

کاربردهای DSCR-300

سیستم لایه نشانی در خلاء مدل DSCR-300 با محفظه بزرگ‌تر، برای ایجاد لایه‌های نانومتری، ایجاد اتصالات الکتریکی بسیار ظریف در حوزه نانو‌تکنولوژی و میکرو‌الکترونیک بسیار مناسب می‌باشد. اصلی‌ترین کاربرد این دستگاه به عنوان پوشش‌دهنده نمونه‌های عایق به منظور مشاهده آنها با میکروسکوپ الکترونی (SEM) می‌باشد. همچنین امکان لایه نشانی کربن موجب‌شده تا بتوان از این دستگاه برای آماده‌سازی نمونه‌ها به منظور آنالیز با اشعه ایکس (EDXA) نیز استفاده کرد. برای ساخت لایه‌های نازک فلزات اکسیدی و غیر اکسیدی و همچنین لایه نشانی کربن در فشار کمتر، مدل DSCT که مجهز به پمپ توربو‌مولکولار است، توصیه می‌گردد.

لایه نشانی کربن

دستگاه DSCR-300، به گونه‌ای طراحی شده است که قابلیت جایگذاری درِ مجهز به لایه نشان کربن (Carbon Head) را دارا می‌باشد. برای این منظور فقط کافیست کاربر درِ اسپاترینگ (Sputtering Head) را از روی محفظه شیشه‌ای به حالت باز بگذارد و درِ لایه نشان کربن (Carbon Head) را روی محفظه قرار دهد. الکترودها به گونه‌ای در نظر گرفته شده‌اند که کاربر به راحتی می‌تواند نخ کربن را در مکان مناسب جای دهد.

صفحه نمایش رنگی DSCR-300

این دستگاه لایه نشانی مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می‌باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می‌شود. با توجه به کاربری ساده نرم‌افزار سیستم، کاربر می‌تواند اطلاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید.

همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا می‌باشد. کاربر می‌تواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف می‌شود.

سیستم چرخاننده زیر‌لایه

چرخش زیر‌لایه در هنگام لایه نشانی به‌منظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات این سیستم لایه نشانی می‌باشد. سایز نگهدارنده نمونه چرخان در این دستگاه در دو قطر ۲ و ۴ اینچی طراحی شده است که متناسب با نیاز مشتری ارائه می‌شود.