دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن – DSCR-300، با محفظه‌ای به قطر ۳۰۰ میلیمتر، یک سیستم لایه نشانی مجهز به کاتدهای آبگرد ۳ یا ۴ اینچی برای اسپاترینگ فلزات نجیب (غیراکسیدشونده) و تبخیر حرارتی کربن است. زمان فرایند لایه نشانی در این دستگاه با توجه به آبگرد بودن کاتد و بزرگ بودن قطر محفظه، نامحدود بوده و امکان لایه نشانی لایه‌های ضخیم بر روی نمونه‌های بزرگ را فراهم می‌کند.
دستگاه DSCR-300 برای لایه‌نشانی لایه‌های نازک در ساخت ادوات میکرو-نانو الکترونیک و آماده‌سازی نمونه‌های میکروسکوپ الکترونی بسیار پرکاربرد است. این دستگاه قابلیت ایجاد لایه نازک از فلزات نجیب و غیراکسیدشونده مانند طلا (Au)، پالادیوم (Pd)، پلاتین (Pt) و طلا/پالادیوم (Au/Pd) بر روی نمونه‌های نارسانا یا نیم‌رسانا استفاده می‌شود. همچنین این دستگاه با قابلیت ایجاد لایه نازک کربن بر روی نمونه‌ها، امکان آماده‌سازی آنها جهت مشاهده توسط میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی (FE-SEM)، میکروسکوپ الکترونی عبوری (TEM) و آنالیز نمونه‌ها با اشعه ایکس (EDX) را فراهم می‌آورد.
دستگاه DSCR-300 با کاتد ۳ اینچی برای لایه‌نشانی نمونه‌های بزرگ تا ۱۲ سانتی‌متر مناسب است، و برای نمونه‌های بزرگ‌تر تا ۱۵ سانتی‌متر از کاتد ۴ اینچی باید استفاده شود. بیش از ۵۰ نمونه مناسب پایه ۱ سانتیمتری SEM بر روی نمونه‌گیر ۱۵ سانتیمتری قابل لایه‌نشانی همزمان هستند.
این دستگاه اسپاترینگ، یک لایه نشان مجهز به پمپ روتاری است که با دو درِ قابل تعویض اسپاترینگ فلزات نجیب یا تبخیر حرارتی کربن را امکان‌پذیر می‌نماید. درب مخصوص تبخیر کربن در این دستگاه، امکان لایه‌نشانی کربن با استفاده از نخ کربنی یا راد کربنی (انتخابی) به روش تبخیر حرارتی را نیز فراهم می‌کند.
اتوماسیون
- صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
- نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه
- کنترل دقیق نرخ لایه‌نشانی برای دستیابی به لایه نازک با کییفیت بهتر
- لایه‌نشانی فیبر کربنی به صورت دو مد پالسی یا فلش
- لایه‌نشانی راد کربنی به صورت دو مد پالسی یا جریان افزایشی
- قابلیت انجام فرآیند لایه‌نشانی اسپاترینگ و کربن به صورت نیمه-تمام اتوماتیک بر اساس ضخامت
- لایه‌نشانی تکرارپذیر و قابل برنامه‌ریزی اسپاترینگ و کربن در حالت اتوماتیک
- قابلیت ذخیره‌سازی تا ۱۰ برنامه لایه‌نشانی
- قابلیت ذخیره و رسم نمودار داده‌ها در حین لایه‌نشانی
- دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات لایه‌نشانی به رایانه
مشخصات دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن
ویژگی‌های سخت‌افزاری
- پمپ پشتیبان دومرحله‌ای روتاری m۳/h 6
- منبع تغذیه DC سوییچینگ ۸۰ وات برای اسپاترینگ
- منبع تغذیه DC پالسی A 0-25 برای لایه‌نشانی فیبر کربنی
- منبع تغذیه DC با جریان ۰-۱۰۰ A برای لایه‌نشانی راد کربنی (انتخابی)
- ضخامت‌سنج کریستال کوارتز با دقت ۱ نانومتر و رزولشن ۱ آنگستروم
- یک کاتد مگنترون ۲، ۳ یا ۴ اینچی (انتخابی)
- شیر تخلیه الکترونیک
- قابلیت چرخش و تنظیم ارتفاع و زاویه نمونه
- نمونه‌گیر سیاره‌ای
- شاتر الکترونیک
- قابلیت تعویض آسان پایه‌های نمونه‌گیر
- دارای گواهی بین‌المللی CE
در لایه نشان کربن
دستگاه DSCR-300 دارای درب لایه‌نشان کربن شامل نگهدارنده منبع کربن (نخ کربنی یا راد) به منظور انجام لایه‌نشانی تبخیر حرارتی کربن است که در ادامه معرفی می‌شوند:
لایه‌نشانی کربن از میله کربنی (Carbon Rod)(انتخابی)
دستگاه لایه‌نشان کربن خلاء بالا با امکان تجهیز به درب محفظه نگهدارنده میله کربنی (در صورت درخواست مشتری) قابلیت لایه‌نشانی کربن از میله کربنی را در فرآیندی کنترل‌پذیر و طولانی‌تر دارا است. بدین منظور یک منبع تغذیه جریان بالا (۰-۱۰۰ آمپر) که در خارج از جعبه دستگاه قرار می‌گیرد جایگزین منبع تغذیه جریان بالای داخلی دستگاه (تعبیه شده به منظور لایه‌نشانی کربن از نخ کربنی) می‌شود.
لایه‌نشانی پالسی نخ کربنی (Carbon Fiber)
دستگاه لایه‌نشان کربن تحت خلاء، مجهز به یک منبع تغذیه جریان بالا است که امکان لایه‌نشانی کربن در دو مد پالسی و یا فلش را فراهم می کند. در لایه نشانی پالسی کربن که فرایند لایه‌نشانی در خلال پالس‌های کوتاه صورت می‌پذیرد، کنترل فرایند لایه‌نشانی بهتر بوده و مقدار دور‌ریزهای کربن نسبت به روش‌های متداول کمتر است. سه نخ کربنی به ضخامت حداکثر ۰.۸ میلیمتر بر روی نگهدارنده قابل نصب هستند.
صفحه نمایش لمسی رنگی DSCR-300
دستگاه لایه نشانی تحت خلاء بالای کربن، مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام‌رنگی می‌باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می‌شود. با توجه به رابط کاربری ساده سیستم، کاربر می‌تواند اطلاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه‌نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه‌نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا داده مشاهده نماید. همچنین دادههای مربوط به ۳۰۰ لایه‌نشانی آخر در صفحه تاریخچه (History) ذخیره می‌شود و امکان انتقال داده‌ها به کامپیوتر با استفاده از خروجی USB بر روی دستگاه وجود دارد.
سیستم چرخاننده زیر‌لایه
دستگاه DSCR-300، بنا بر درخواست کاربر، امکان تجهیز به نگهدارنده نمونه چرخشی تا حداکثر قطر ۱۵ سانتی‌متر را داراست. نگهدارنده‌های چرخشی استاندارد در قطرهای مختلف قابلیت چرخش و تنظیم زاویه و ارتفاع دارند. نگهدارنده نمونه می‌تواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارنده‌های نمونه در این دستگاه بسیار ساده بوده و کاربر به سادگی قادر به انجام آن است.
تجهیزات اضافه و لوازم جانبی DSCR-300
- درب و منبع تغذیه مناسب برای لایه‌نشانی میله کربنی (Carbon Rod)
- سنسورکریستال کوارتز
- تارگت های اسپاترینگ
- چرخاننده نمونه سیاره‌ای
- شیشه یدک محفظه خلاء به همراه لاستیک های آب بندی دور شیشه
- نخ کربنی
- تمیزکننده پلاسمایی (plasma cleaner)
کاربردهای DSCR-300
- لایه‌نشانی فلزات نجیب و کربن برای آماده‌سازی نمونه‌ها به منظور تصویربرداری توسط SEM، FE-SEM، EDX و TEM
- ایجاد لایه‌های رسانا
- GLAD Sputtering
- آبدوست کردن توری‌های TEM با اعمال پلاسما (انتخابی)
توجه
به منظور لایه‌نشانی اسپاترینگ فلزات اکسیدشونده، لطفا به محصول DSCT (دستگاه اسپاترینگ و لایه‌نشان کربن مجهز به پمپ توربومولکولار) مراجعه فرمایید.
سایر مشخصات دستگاه DSCR-300
- مناسب برای لایه‌نشانی فلزات نجیب، فیبر کربنی و راد کربنی (انتخابی)
- فشار نهایی کمتر از ۵۰ میلی‌تور
- محفظه از جنس پیرکس با ارتفاع mm 210 و قطر خارجی mm 300
- امکان رسم نمودار دادههای لایه‌نشانی در لحظه انجام فرآیند
- قابلیت نگهداری نمونه‌ها در خلأ
- توان مصرفی: ۱.۷ کیلووات
- ابعاد: ۵۸۰*۵۰۰*۶۳۰ میلیمتر (ارتفاع*عرض*عمق)
- وزن دستگاه بدون پمپ خلاء: ۴۲ کیلوگرم
- یک سال گارانتی کامل
- بسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حمل
