به‌روزرسانی دستگاه‌های اسپاترینگ DST1 و DSR1

شرکت پوشش‌های نانوساختار، طراح و تولیدکننده سیستم‌های لایه‌نشانی در خلاء نوآورانه، اقدام به ‌به‌روزرسانی و افزایش قابلیت‌های کاربردی دستگاه‌های اسپاترینگ رومیزی DSR1 و DST1 به منظور آماده‌سازی نمونه برای تصویربرداری SEM/FESEM و کاربردهای فراتر نموده است. از این پس این دستگاه‌ها با امکان افزودن کاتد آبگرد ارائه می‌شوند.

دستگاه‌های لایه‌نشانی DSR1 (خلاء پایین) و DST1 (خلاء بالا) به عنوان SEM کوتر برای آماده‌سازی نمونه‌های SEM/FESEM برای تصویربرداری توسط میکروسکوپ‌های الکترونی، که لایه‌هایی با ضخامت در حد نانومتر لایه‌نشانی می‌شود، بسیار ایده‌آل هستند. اسپاترکوتر رومیزی DSR1 توسط یک پمپ خلاء روتاری خلاء می‌شود و برای لایه‌نشانی فلزات غیراکسیدشونده (مانند طلا، نقره، پلاتین و غیره) مناسب است، در حالی که مدل اسپاترکوتر رومیزی DST1 به یک پمپ توربو مجهز است و گزینه مناسبی برای لایه‌نشانی فلزات اکسیدشونده (مانند تنگستن و کروم) و غیراکسیدشونده است.

معمولا فرآیند لایه‌نشانی به منظور آماده‌سازی نمونه‌های SEM کوتاه مدت (کمتر از ۱۵ دقیقه) و ضخامت لایه بسیار کم است. برای انجام کارهای تحقیقاتی، در صورت نیاز به لایه‌نشانی لایه‌های ضخیم‌تر، بسته به نوع ماده هدف (بیشتر از ۱۵۰ نانومتر برای طلا، یا بیشتر از ۳۰ نانومتر برای کروم)، استفاده از کاتد آبگرد برای جلوگیری از داغ شدن کاتد در حین لایه‌نشانی‌های طولانی امری ضروری است.

با افزودن کاتد آبگرد به سیستم‌های لایه‌نشانی اسپاترینگ DSR1 و DST1، هم‌اکنون امکان لایه‌نشانی بدون محدودیت زمانی در این دستگاه‌ها برای کاربر فراهم شده است. پیشتر برای جلوگیری از داغ شدن کاتد و محفظه اسپاترینگ، این دستگاه‌ها تنها برای لایه‌نشانی‌های کوتاه مدت قابل استفاده بودند. حال در طراحی جدید، با ایجاد امکان گردش آب پشت کاتد و خنک‌سازی آن این محدودیت رفع شده است. مشتریان گرامی در هنگام سفارش در صورت تمایل می‌توانند مدل دارای کاتد آبگرد را انتخاب نمایند.

برخی از محصولات شرکت

اسپاترکوتر

NSC DST3 full face

کربن کوتر

NSC DCR full face

اسپاترکربن کوتر

تبخیر حرارتی

DTT full face

Leave a Comment