دستگاه پوشش‌دهنده کربن خلاء بالا با محفظه بزرگ DCT-300، قادر است به روش تبخیر حرارتی اقدام به لایه‌نشانی کربن روی سطوح مختلف نماید و عمدتا به عنوان پوشش‌دهنده در آماده‌سازی نمونه‌ها برای تصویربرداری میکروسکوپ الکترونی و کاربردهای لایه‌نشانی لایه نازک در آزمایشگاه‌های تحقیقاتی مورد استفاده قرار می‌گیرد. مدل DCT-300 مجهز به پمپ توربومولکولار بوده و مناسب برای ایجاد لایه نازک کربنی مورد استفاده در کاربردهای تحقیقاتی، تصویربرداری و مشخصه‌یابی نمونه‌های مختلف با استفاده از تکنیک‌های FE-SEM، TEM، EDS/WDS و EBSD می‌باشد. لایه نشانی کربن در یک محیط خلاء بالا موجب می‌شود تا لایه ایجاد شده دارای کیفیت بالایی بوده و برای نمونه‌هایی که نیاز به تصویربرداری با رزولوشن بالا دارند، مناسب باشد.
دستگاه DCT-300 با یک محفظه لایه‌نشانی به قطر ۳۰۰ میلیمتر و نگهدارنده نمونه ۶ اینچی (انتخابی) قابلیت لایه‌نشانی بر روی زیرلایه‌های بزرگ تا قطر ۱۵۰ میلیمتر و یا چندین زیرلایه کوچکتر را ایجاد کرده است.
فرآیند لایه‌نشانی اتوماتیک و قابل برنامه‌ریزی امکان انجام لایه‌نشانی ساده، دقیق و تکرارپذیر را فراهم ساخته است.
با نصب نخ (فیبر) یا میله (راد) کربنی بر روی درب‌های طراحی شده جداگانه، مطابق سفارش مشتری، لایه‌نشانی نمونه‌ها در حالات لایه‌نشانی فلش، پالسی یا جریان افزایشی (حالت آخر در لایه‌نشانی اتوماتیک میله کربنی قابل استفاده است) در فرآیند لایه‌نشانی دستی یا اتوماتیک امکان‌پذیر است.
اتوماسیون
- صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
- نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه
- قابلیت انجام فرآیند لایه‌نشانی به صورت نیمه-تمام اتوماتیک
- لایه‌نشانی تکرارپذیر و قابل برنامه‌ریزی بر اساس ضخامت مورد نظر در حالت اتوماتیک
- لایه نشانی نخ کربن به صورت دو مد پالسی یا فلش
- لایه نشانی میله کربن به صورت دو مد پالسی یا جریان افزایشی
- قابلیت ذخیره‌سازی تا ۱۰ برنامه لایه‌نشانی
- قابلیت ذخیره و رسم نمودار داده‌ها
- دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات
مشخصات دستگاه DCT-300
ویژگی‌های سخت‌افزاری
- خلاء بالا با استفاده از پمپ خلاء توربو مولکولار (آلمانی)
- پمپ پشتیبان دومرحله‌ای روتاری (با قابلیت انتخاب پمپ دیافراگمی یا اسکرول)
- منبع تغذیه DC سوییچینگ ۵۰۰ وات برای لایه‌نشانی نخ کربنی
-
منبع تغذیه جریان بالای ۱.۲ کیلوواتی برای لایه‌نشانی میله کربنی (انتخابی)
- ضخامت‌سنج کریستال کوارتز با دقت ۱ نانومتر و رزولشن ۱ آنگستروم
- شیر تخلیه اتوماتیک
- قابلیت چرخش و تنظیم ارتفاع و زاویه نمونه
- نمونه‌گیر سیاره‌ای (انتخابی)
- شاتر الکترونیک
- قابلیت تعویض آسان پایه‌های نمونه‌گیر
- یک سال گارانتی کامل
- منطبق بر استاندارد CE
- بسته‌بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حمل
لایه نشانی کربن از میله کربنی (Carbon Rod)
دستگاه لایه نشان DCT-300 با امکان تجهیز به درب محفظه نگهدارنده میله کربنی قابلیت لایه نشانی کربن از میله کربنی را نیز دارا است (در صورت درخواست مشتری). برای این منظور یک منبع تغذیه جریان بالا (۰-۱۰۰ آمپر) که در خارج از جعبه دستگاه قرار می‌گیرد جایگزین منبع تغذیه جریان بالای داخلی دستگاه (تعبیه شده به منظور لایه نشانی کربن از نخ کربنی) می‌شود.
لایه نشانی نخ کربن پالسی
دستگاه لایه نشان کربن DCT-300، مجهز به یک منبع تغذیه جریان بالا می‌باشد که امکان لایه نشانی کربن در دو مد پالسی و یا فلش را فراهم می‌کند. در لایه نشانی پالسی کربن که فرایند لایه نشانی در خلال پالس‌های کوتاه صورت می‌پذیرد، کنترل فرایند لایه نشانی بهتر بوده و مقدار دور‌ریز‌های کربن نسبت به روش‌های متداول کمتر می‌باشد.
محفظه خلاء بالا
محفظه خلاء دستگاه DCT-300 شامل یک مخزن استوانه‌ای از جنس پیرکس به قطر ۳۰۰mm و ارتفاع ۲۰۰mm همراه با اورینگ‌های ال شکل است. این دستگاه کربن‌کوتر مجهز به پمپ توربومولکولار خلاء بالا می‌باشد که توسط یک پمپ روتاری دو مرحله‌ای ۶ m۳/h پشتیبانی می‌شود (انتخابی). در نتیجه هیچ‌گونه آلودگی ناشی از روغن (که از ویژگی‌های پمپ‌های دیفیوژنی است) وارد محفظه خلاء نمی‌شود و لایه‌نشانی در یک محیط بسیار تمیز انجام می‌شود.
صفحه نمایش لمسی رنگی DCT-300
دستگاه لایه نشانی تحت خلاء بالای کربن، مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می‌باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می‌شود. با توجه به رابط کاربری ساده سیستم، کاربر می‌تواند اطلاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین داده‌های مربوط به ۳۰۰ لایه‌نشانی آخر در صفحه تاریخچه (History) ذخیره می‌شود و امکان انتقال داده‌ها به کامپیوتر با استفاده از خروجی USB بر روی دستگاه DCT-300 وجود دارد.
نگهدارنده‌های نمونه
سیستم چرخاننده زیر لایه
نگهدارنده نمونه چرخان نگهدارنده نمونه با چرخش سیاره‌ای همچنین نگهدارنده چرخان نمونه بزرگ ۶ اینچی (بدون قابلیت تغییر زاویه) نیز برای لایه‌نشانی نمونه‌های بزرگ توسط این دستگاه طراحی شده است. نگهدارنده نمونه می‌تواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارنده‌های نمونه در این دستگاه بسیار ساده بوده و کاربر به سادگی قادر به انجام آن است.
کاربردها
- لایه‌نشانی کربن برای آماده‌سازی نمونه‌ها به منظور تصویربرداری و مشخصه‌یابی توسط SEM ،FE-SEM ،TEM و EDX
- ایجاد لایه‌های رسانا
- قابلیت آبدوست‌سازی توری‌های TEM با اعمال پلاسما (انتخابی)
تجهیزات اضافه و لوازم جانبی DCT-300
- درب و منبع تغذیه مناسب برای تبخیر میله کربنی (Carbon Rod)
- میله اعمال پلاسما به همراه منبع تغذیه ولتاژ بالا
- سنسورکریستال کوارتز
- چرخاننده نمونه سیاره‌ای
- شیشه یدک محفظه خلاء به همراه لاستیک‌های آب‌بندی دور شیشه
- نخ کربنی
سایر مشخصات دستگاه DCT-300
- امکان انتخاب پمپ‌های توربو با سرعت‌های متفاوت
| سرعت پمپ کردن |
۹۰ l/s |
۲۵۰ l/s |
۳۵۰ l/s |
| فشار نهایی |
۸×۱۰-۶ |
۳×۱۰-۶ |
۸×۱۰-۷ |
- فشار نهایی کمتر از ۶-۱۰ ×۵ Torr
- حداکثر توان مصرفی: ۲ کیلووات
- رسم نمودار داده‌های لایه‌نشانی در لحظه انجام فرآیند
- قابلیت نگهداری نمونه‌ها در خلاء
