دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا – DST1-300، یک سیستم لایه نشانی تحت خلاء به روش اسپاترینگ (کند و پاش) با محفظه شیشه‌ای به قطر ۳۰۰ میلی‌متر و پمپ توربومولکولار است. این دستگاه مجهز به یک کاتد مگنترون بوده و با قابلیت نصب منابع تغذیه RF و DC، قادر به لایه نشانی گروه وسیعی از مواد شامل فلزات (اکسیدشونده و غیر اکسیدشونده)، نیمه هادی‌ها و سرامیک‌ها است. به علاوه، این دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا با محفظه خلاء بزرگ به همراه کاتد مگنترون آبگرد ۳،۲ یا ۴ اینچی انتخابی مناسب برای لایه نشانی نمونه های بزرگ تا قطر ۱۵ سانتی متر و یا لایه نشانی همزمان چند نمونه کوچک می‌باشد.
زمان فرایند لایه نشانی در دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا با توجه به آبگرد بودن کاتد، نامحدود است و امکان لایه نشانی لایه‌های ضخیم بر روی نمونه‌های بزرگ را فراهم می‌آورد. DST1-300، مجهز به یک منبع تغذیه DC با توان ۶۰۰ وات و (در صورت درخواست مشتری) یک منبع تغذیه RF با توان ۳۰۰ وات به همراه مچینگ باکس اتوماتیک است که برای ایجاد لایه‌های نازک فلزات اکسیدشوند و غیراکسیدشونده (مانند طلا (Au)، آلیاژ پلاتین/پالادیوم (Pt/Pd)، نقره (Ag)، کروم (Cr)، تنگستن (W)، ایریدوم (Ir) و غیره) ، اکسیدهای فلزی (مانند اکسید تیتانیوم، اکسید روی و …) و مواد دی‌الکتریک بر روی سطوح مختلف برای استفاده در کاربردهای مختلف مانند میکرو و نانو الکترونیک و آماده‌سازی نمونه‌ها برای تصویربرداری توسط میکروسکوپ الکترونی در مراکز تحقیقاتی و پژوهشی بسیار مناسب است.
لایه‌نشانی در یک محیط خلاء بالا موجب می‌شود تا لایه ایجاد شده دارای کیفیت بالا و دانه‌بندی ریز بوده و برای نمونه‌هایی که نیاز به تصویربرداری با رزولوشن بالا دارند، مناسب باشد. از جمله کاربردهای این دستگاه می‌توان به آماده‌سازی نمونه‌ها برای کاربردهای میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی (FE-SEM)، میکروسکوپ الکترونی عبوری (TEM) و آنالیزهای EDS/WDS و EBSD اشاره کرد.
اتوماسیون
- صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
- نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه
- قابلیت کنترل نرخ لایه‌نشانی برای دستیابی به ساختارهایی با دانه‌بندی کوچکتر
- قابلیت انجام فرآیند لایه‌نشانی به صورت نیمه-تمام اتوماتیک
- لایه‌نشانی تکرارپذیر و قابل برنامه‌ریزی در حالت اتوماتیک
- قابلیت ذخیره‌سازی تا ۱۰ برنامه لایه‌نشانی
- لایه‌نشانی دستی یا اتوماتیک بر اساس ضخامت یا زمان لایه‌نشانی
- قابلیت ذخیره داده‌ها و رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
مشخصات دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا
ویژگی‌های سخت افزاری
- پمپ توربومولکولار خلاء بالا (آلمانی)
- پمپ خلاء پشتیبان روتاری دو مرحله ای (با قابلیت انتخاب پمپ دیافراگمی)
- فشارسنج فول رنج (آلمانی)
- منبع تغذیه DC 600 واتی و (RF 300 واتی در صورت درخواست مشتری)
- کاتد مگنترون ۲، ۳ یا ۴ اینچی (بنا به درخواست مشتری)
- اتصالات نصب بوته تبخیر حرارتی فلزات (بنا به درخواست مشتری)
- کریستال کوارتز شامل اسیلاتور و نگهدارنده کریستال با قابلیت اندازه گیری ضخامت با دقت یک نانومتر و رزولوشن ۱ آنگستروم در حین لایه نشانی
- شیرهای تزریق گاز الکترونیک
- قابلیت چرخش و تنظیم ارتفاع و زاویه نمونه
- مجهز به شاتر الکترونیکی
- قابلیت تعویض آسان پایه‌های نمونه‌گیر
- یک سال گارانتی کامل
- منطبق بر استاندارد CE
محفظه خلاء بالا
محفظه خلاء دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا – DST1-300 شامل یک مخزن استوانه‌ای از جنس پیرکس به قطر mm300 و ارتفاع mm 200 همراه با اورینگ‌های ال شکل می‌باشد. دستگاه مجهز به پمپ توربومولکولار خلاء بالا است که توسط یک پمپ روتاری دو مرحله‌ای پشتیبانی می‌شود و در نتیجه هیچ گونه آلودگی ناشی از روغن (که از ویژگی‌های پمپ‌های دیفیوژنی است) وارد محفظه خلاء نمی‌شود و لایه نشانی در یک محیط بسیار تمیز انجام می‌شود.
صفحه نمایش رنگی
دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی است که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می‌شود. با توجه به رابط کاربری ساده سیستم، کاربر می‌تواند اطلاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید.
همچنین داده‌های مربوط به ۳۰۰ لایه‌نشانی آخر در صفحه تاریخچه (History) ذخیره می‌شود و امکان انتقال داده‌ها به کامپیوتر با استفاده از خروجی USB بر روی دستگاه وجود دارد. کاربر می تواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف می شود.
سیستم چرخاننده زیر لایه
دستگاه DST1-300، بنا بر درخواست کاربر، امکان تجهیز به نگهدارنده نمونه چرخشی تا حداکثر قطر ۱۵ سانتی‌متر را داراست. نگهدارنده‌های چرخشی استاندارد در قطرهای مختلف قابلیت چرخش و تنظیم زاویه و ارتفاع دارند. نگهدارنده نمونه می‌تواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارنده‌های نمونه در این دستگاه بسیار ساده بوده و کاربر به سادگی قادر به انجام آن است.
کاربردها
- ایجاد لایه‌های نازک از فلزات، نیمه‌هادی‌ها و مواد دی‌الکتریک
- لایه‌نشانی ساختارهای با دانه‌بندی ریز مناسب برای آماده‌سازی نمونه‌ها برای انجام مشخصه‌یابی SEM و FE-SEM
- ساخت ادوات نانو و میکروالکترونیک
- ساخت سلول‌های خورشیدی
- پوشش ادوات اپتیکی
- ساخت حسگرهای لایه نازک
- ساخت ادوات مغناطیسی لایه نازک
تجهیزات اضافه و لوازم جانبی
- ولتاژ بایاس زیرلایه
- منبع تغذیه RF و مچینگ باکس
- هیتر ۵۰۰ درجه ای زیرلایه
- یک جفت الکترود جهت انجام تبخیر حرارتی
- بوته و قایقک لایه‌نشانی تبخیر حرارتی
- سنسورکریستال کوارتز
- شیشه یدک محفظه خلاء به همراه لاستیک‌های آب‌بندی دور شیشه
- تارگت‌های اسپاترینگ
- تمیزکننده پلاسمایی (plasma cleaner)
- Glad sputtering
سایر مشخصات دستگاه
- خلاء بالا با استفاده از پمپ توربومولکولار
سرعت پمپ۹۰ l/s۳۵۰ l/sفشار نهایی۸×۱۰-۶۸×۱۰-۷ - مناسب برای لایه‌نشانی مواد اکسیدشونده و غیراکسیدشونده
- محفظه از جنس پیرکس با ارتفاع mm 200 و قطر خارجی mm 300
- کنترل اتوماتیک دمای کاتد برای افزایش طول عمر مگنتهای پشت کاتد
- کنترل دقیق نرخ لایه‌نشانی برای دستیابی به ساختار با دانه‌بندی ریز
- کنترل اتوماتیک توان لایه‌نشانی مستقل از فشار محفظه
- قابلیت ورود سریع داده‌ها از طریق صفحه لمسی رنگی
- قابلیت نگهداری نمونه‌ها در خلاء
- قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
- قابلیت انتقال داده‌ها به کامپیوتر از طریق خروجی USB
- برق ورودی و توان مصرفی: ۲۲۰V- 50HZ، ۲kW
- وزن: ۵۰ کیلوگرم
- بسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حمل
