دستگاه لایه نشان کربن رومیزی – DCR در ابـعاد کوچک و قیمتی بسیار مناسب قادر است به روش تبخیر حرارتی اقدام به لایه نشانی کربن (نخ و راد کربن) روی سطوح مختلف نموده و عمدتا به عنوان پوشش‌دهنده نمونه‌های میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) در آزمایشگاه‌های تحقیقاتی مورد استفاده قرار می‌گیرد. این دستگاه قابلیت ایجاد لایه نازک کربنی بر روی نمونه‌ها به منظور آماده‌سازی آنها جهت مشاهده توسط میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی (FE-SEM)، میکروسکوپ الکترونی عبوری (TEM) و آنالیز نمونه‌ها با اشعه ایکس (EDX) را دارا می‌باشد.
اتوماسیون
- صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
- لایه نشانی فیبر کربنی به صورت دو مد پالسی یا فلش
- لایه‌نشانی راد کربنی به صورت دو مد پالسی یا جریان افزایشی
- قابلیت انجام فرآیند لایه‌نشانی به صورت نیمه-تمام اتوماتیک براساس ضخامت موردنظر
- لایه‌نشانی تکرارپذیر و قابل برنامه‌ریزی در حالت اتوماتیک
- قابلیت ذخیره‌سازی تا ۱۰ برنامه لایه‌نشانی
- نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه
- قابلیت ذخیره و رسم نمودار داده‌ها در حین لایه نشانی
- دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات لایه‌نشانی به رایانه
مشخصات دستگاه لایه نشان کربن رومیزی – DCR
ویژگی‌های سخت‌افزاری
- پمپ پشتیبان دومرحله‌ای روتاری
- منبع تغذیه DC سوییچینگ ۵۰۰ وات
- منبع تغذیه جریان بالای DC با توان ۱.۲ کیلووات برای تبخیر میله کربنی (انتخابی)
- ضخامت‌سنج کریستال کوارتز با دقت ۱ نانومتر و رزولشن ۱ آنگستروم
- شیر تخلیه اتوماتیک
- قابلیت چرخش و تنظیم ارتفاع و زاویه نمونه
- نمونه‌گیر سیاره‌ای
- شاتر الکترونیک
- قابلیت تعویض آسان پایه‌های نمونه‌گیر
- یک سال گارانتی کامل
- دارای گواهی بین المللی CE
- بسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حمل
لایه نشانی پالسی کربن
دستگاه لایه نشان کربن رومیزی – DCR، مجهز به یک منبع تغذیه جریان بالا است که امکان لایه نشانی کربن در دو مد پالسی و یا فلش را فراهم می‌کند. در لایه نشانی پالسی کربن که فرایند لایه نشانی در خلال پالس‌های کوتاه صورت می‌پذیرد، کنترل فرایند لایه نشانی بهتر بوده و مقدار دور ریزهای کربن نسبت به روش‌های متداول کمتر می‌باشد.
لایه نشانی کربن از میله کربنی (Carbon Rod)
دستگاه لایه نشان کربن خلاء بالا با امکان تجهیز به درب محفظه نگهدارنده میله کربنی قابلیت لایه‌نشانی کربن از میله کربنی را نیز دارا می‌باشد (در صورت درخواست مشتری). برای این منظور یک منبع تغذیه جریان بالا (۰-۱۰۰ آمپر) که در خارج از جعبه دستگاه قرار می گیرد جایگزین منبع تغذیه جریان بالای داخلی دستگاه (تعبیه شده به منظور لایه نشانی کربن از نخ کربنی) می‌شود.
صفحه نمایش لمسی رنگی
دستگاه لایه نشانی تحت خلاء بالای کربن، مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می‌باشد که تمام فرایند‌های کنترل دستگاه از طریق آن انجام می‌شود. با توجه به رابط کاربری ساده سیستم، کاربر میتواند اطلاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید.
سیستم چرخاننده زیر لایه
چرخش زیرلایه در هنگام لایه نشانی به منظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات این سیستم لایه‌نشانی است. همچنین دستگاه قابلیت مجهز شدن به سیستم چرخاننده سیاره‌ای زیرلایه را نیز دارا است. حرکت سیاره‌ای (در سه جهت x,y,z) موجب می‌شود تا درون حفره‌های نمونه‌های متخلخل نیز به خوبی پوشش داده شوند. نگهدارنده نمونه میتواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارنده‌های نمونه در این دستگاه بسیار ساده بوده و کاربر به سادگی قادر به انجام آن است.
نگهدارنده نمونه جدید
نگهدارنده نمونه جدید چرخان به قطر ۱۰ سانتی‌متر به همراه جعبه دنده به منظور افزایش سطح و تعداد پایه‌های SEM قابل لایه‌نشانی برای این دستگاه طراحی شده است.
مشخصات دقیق دستگاه DCR
* نیازمند ورودی جریان متناوب تک‌فاز با اتصال زمین مناسب است.
کاربردها
- لایه‌نشانی کربن برای آماده‌سازی نمونه‌ها به منظور تصویربرداری و مشخصه‌یابی توسط SEM، FE-SEM، TEM و EDX
- ایجاد لایه‌های رسانا
- قابلیت آبدوست‌سازی توری‌های TEM با اعمال پلاسما (انتخابی)
تجهیزات اضافه و لوازم جانبی
- درب و منبع تغذیه مناسب برای لایه‌نشانی میله کربنی (Carbon Rod)
- میله اعمال پلاسما به همراه منبع تغذیه ولتاژ بالا
- سنسورکریستال کوارتز
- چرخاننده نمونه سیاره‌ای
- شیشه یدک محفظه خلاء همراه لاستیک‌های آب‌بندی دور شیشه
- نخ کربنی
سایر مشخصات دستگاه DCR
- قابلیت کنترل تمام اتوماتیک فرآیند لایه نشانی بر اساس ضخامت
- امکان رسم نمودار داده‌های لایه‌نشانی در لحظه انجام فرآیند
- قابلیت نگهداری نمونه‌ها در خلاء
- توان مصرفی: حداکثر ۲ کیلووات
