دستگاه لایه نشان کربن خلاء بالا – DCT، در ابـعاد کوچک و قیمتی بسیار مناسب قادر است به روش تبخیر حرارتی اقدام به لایه نشانی کربن روی سطوح مختلف نموده و عمدتا به عنوان پوشش دهنده نمونه‌های میکروسکوپ الکترونی روبشی(SEM) در آزمایشگاه‌های تحقیقاتی مورد استفاده قرار می‌گیرد. مدل DCT مجهز به پمپ توربومولکولار بوده و مناسب برای ایجاد لایه نازک کربنی مورد استفاده در کاربردهای تحقیقاتی و تصویربرداری FE-SEM، TEM، EDS/WDS، EBSD می‌باشد. لایه نشانی کربن در یک محیط خلاء بالا موجب می‌شود تا لایه ایجاد شده دارای کیفیت بالایی بوده و برای نمونه‌هایی که نیاز به تصویربرداری با رزولوشن بالا دارند، مناسب باشد.
اتوماسیون
- صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
- لایه نشانی فیبر کربن به صورت دو مد پالسی یا فلش
- لایه نشانی راد کربن به صورت دو مد پالسی یا جریان افزایشی
- قابلیت انجام فرآیند لایه‌نشانی به صورت نیمه-تمام اتوماتیک
- لایه‌نشانی تکرارپذیر و قابل برنامه‌ریزی بر اساس ضخامت مورد نظر در حالت اتوماتیک
- قابلیت ذخیره‌سازی تا ۱۰ برنامه لایه‌نشانی
- نرم‌افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه
- قابلیت ذخیره و رسم نمودار داده‌ها
- دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات
مشخصات دستگاه
ویژگی‌های سخت‌افزاری
- خلاء بالا با استفاده از پمپ خلاء توربو مولکولار ۹۰ لیتر بر ثانیه (آلمانی)
- پمپ پشتیبان دومرحله‌ای روتاری (با قابلیت انتخاب پمپ دیافراگمی)
- منبع تغذیه DC سوییچینگ ۵۰۰ وات برای تبخیر نخ کربنی
- منبع تغذیه جریان بالای ۱.۲ کیلووات برای تبخیر میله کربنی (انتخابی)
- ضخامت‌سنج کریستال کوارتز با دقت ۱ نانومتر و رزولشن ۱ آنگستروم
- شیر تخلیه اتوماتیک
- قابلیت چرخش و تنظیم ارتفاع و زاویه نمونه
- نمونه‌گیر سیاره‌ای
- شاتر الکترونیک
- قابلیت تعویض آسان پایه‌های نمونه‌گیر
- یک سال گارانتی کامل
- منطبق بر استاندارد CE
- بسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حمل
لایه نشانی کربن از میله کربنی (Carbon Rod)
دستگاه لایه نشان کربن خلاء بالا با امکان تجهیز به درب محفظه نگهدارنده میله کربنی قابلیت لایه نشانی کربن از میله کربنی را نیز دارا می‌باشد (در صورت درخواست مشتری). برای این منظور یک منبع تغذیه جریان بالا (۰-۱۰۰ آمپر) که در خارج از جعبه دستگاه قرار می‌گیرد جایگزین منبع تغذیه جریان بالای داخلی دستگاه (تعبیه شده به منظور لایه نشانی کربن از نخ کربنی) می‌شود.
لایه نشانی پالسی کربن در دستگاه لایه نشان کربن خلاء بالا
دستگاه لایه نشان کربن خلاء بالا، مجهز به یک منبع تغذیه جریان بالا می‌باشد که امکان لایه نشانی کربن در دو مد پالسی و یا فلش را فراهم می‌کند. در لایه نشانی پالسی کربن که فرایند لایه نشانی در خلال پالس‌های کوتاه صورت می‌پذیرد، کنترل فرایند لایه نشانی بهتر بوده و مقدار دور‌ریز‌های کربن نسبت به روش‌های متداول کمتر می‌باشد.
محفظه خلاء بالا
محفظه خلاء از جنس بوروسیلیکات و استیل ضد زنگ است. دستگاه DCT به یک پمپ خلاء توربومولکولار L/s 90 مجهز است که می‌تواند با یک پمپ روتاری دو مرحله‌ای m۳/h 6 (قابل ارائه توسط شرکت)، و یا پمپ اسکرول یا دیافراگمی (بنا بر انتخاب مشتری) پشتیبانی شود. بنابراین این دستگاه دارای محفظه خلاء بسیار تمیز بدون آلودگی روغن ناشی از استفاده از پمپ‌های دیفیوژنی معمولی است.
صفحه نمایش لمسی رنگی دستگاه لایه نشان کربن خلاء بالا
دستگاه لایه نشانی تحت خلاء بالای کربن، مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می‌باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می‌شود. با توجه به رابط کاربری ساده سیستم، کاربر می‌تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید.
همچنین داده‌های مربوط به ۳۰۰ لایه‌نشانی آخر در صفحه تاریخچه (History) ذخیره می‌شود و امکان انتقال داده‌ها به کامپیوتر با استفاده از خروجی USB بر روی دستگاه وجود دارد.
سیستم چرخاننده زیر لایه
چرخش زیرلایه در هنگام لایه نشانی به منظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات لایه نشان DCT می‌باشد. همچنین دستگاه قابلیت مجهز شدن به سیستم چرخاننده سیاره‌ای زیرلایه را نیز دارا است. حرکت سیاره‌ای (در سه جهت x,y,z) موجب می‌شود تا درون حفره‌های نمونه‌های متخلخل نیز به خوبی پوشش داده شوند.
نگهدارنده نمونه می‌تواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارنده‌های نمونه در این دستگاه بسیار ساده بوده و کاربر به سادگی قادر به انجام آن می‌باشد.
نگهدارنده نمونه جدید
نگهدارنده نمونه جدید چرخان به قطر ۱۰ سانتی‌متر به منظور افزایش سطح و تعداد پایه‌های SEM قابل لایه‌نشانی برای این دستگاه طراحی شده است. (در حدود ۵۰ پایه SEM به قطر یک میلیمتر به طور همزمان قابل لایه‌نشانی هستند).
مشخصات دقیق
* Single-phase AC power with appropriate earth connection is required.
سایر مشخصات دستگاه
- توان مصرفی: حداکثر ۲ کیلووات
- رسم نمودار داده‌های لایه‌نشانی در لحظه انجام فرآیند
- قابلیت نگهداری نمونه‌ها در خلاء
- کنترل دقیق فشار خلاء با شیر اتوماتیک
- Plasma Cleaning
کاربردها
- لایه‌نشانی کربن برای آماده‌سازی نمونه‌ها به منظور تصویربرداری و مشخصه‌یابی توسط SEM، FE-SEM، TEM و EDX
- ایجاد لایه‌های رسانا
- قابلیت آبدوست‌سازی توری‌های TEM با اعمال پلاسما (انتخابی)
تجهیزات اضافه و لوازم جانبی DCT
- درب و منبع تغذیه مناسب برای لایه نشانی از میله‌های کربنی (Carbon Rod)
- سنسورکریستال کوارتز
- چرخاننده نمونه سیاره‌ای
- شیشه یدک محفظه خلاء به همراه لاستیک‌های آب‌بندی دور شیشه
- نخ کربنی
