دستگاه لایه نشان کربن رومیزی – DCR با ابـعاد کوچک و قیمتی بسیار مناسب قادر است به روش تبخیر حرارتی اقدام به لایه نشانی کربن (نخ کربن) روی سطوح مختلف نموده و عمدتا به عنوان پوششدهنده نمونههای میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) در آزمایشگاههای تحقیقاتی مورد استفاده قرار میگیرد. این دستگاه قابلیت استفاده جهت آمادهسازی نمونهها به منظور مشاهده آنها با میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی (FE-SEM)، میکروسکوپ الکترونی عبوری (TEM) و آنالیز نمونهها با اشعه ایکس (EDX) را دارا میباشد.
مشخصات دستگاه لایه نشان کربن رومیزی – DCR
- مشاهده نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر با استفاده از ضخامتسنج کریستالی
- لایه نشانی کربن به صورت دو مد پالسی یا فلش
- صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
- نرمافزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه
- قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
- دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات
- یک سال گارانتی کامل
- بسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حمل
- دارای گواهی بین المللی CE برای اجازه ورود به بازار اتحادیه اروپا
تجهیزات اضافه و لوازم جانبی
- سنسورکریستال کوارتز
- چرخاننده نمونه سیارهای
- شیشه یدک محفظه خلاء همراه لاستیکهای آببندی دور شیشه
- نخ کربن
سایر مشخصات دستگاه DCR
- پمپ روتاری دو مرحلهای m۳/h 4
- فشار نهایی کمتر از ۵۰ میلی تور
- محفظه از جنس پیرکس با ارتفاع mm 140 و قطر خارجی mm 170
- ضخامتسنج با دقت اندازهگیری یک نانو متر
- منبع تغذیه جریان بالا
- نگهدارنده زیر لایه با قابلیت چرخش
- دارای دو مد کنترل اتوماتیک و دستی
- کنترل فرآیند لایه نشانی بر اساس زمان یا ضخامت
- قابلیت نگهداری نمونهها در خلاء
- تنظیم فشار داخل محفظه توسط شیر الکتریکی
- شاتر الکترونیکی
- Plasma Cleaning
- ابعاد: ۴۵۰*۵۰۰*۳۷۰ میلیمتر
- وزن دستگاه همراه با پمپ ۴۶ کیلوگرم
لایه نشانی پالسی کربن
دستگاه لایه نشان کربن رومیزی – DCR، مجهز به یک منبع تغذیه جریان بالا میباشد که امکان لایه نشانی کربن در دو مد پالسی و یا فلش را فراهم میکند. در لایه نشانی پالسی کربن که فرایند لایه نشانی در خلال پالسهای کوتاه صورت میپذیرد، کنترل فرایند لایه نشانی بهتر یوده و تعداد ذرات کربنی (در ابعاد میلیمتر) که ناخواسته روی نمونه مینشینند نسبت به روشهای متداول کمتر میباشد.
صفحه نمایش رنگی
دستگاه لایه نشان کربن رومیزی مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی میباشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام میشود. با توجه به کاربری ساده نرمافزار دستگاه DCT، کاربر میتواند اطلاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید.
همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا میباشد. کاربر میتواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف میشود.
سیستم چرخاننده زیر لایه
چرخش زیرلایه در هنگام لایه نشانی به منظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات این دستگاه لایه نشان کربن میباشد. همچنین دستگاه قابلیت مجهز شدن به سیستم چرخاننده سیارهای زیرلایه را نیز دارا میباشد. حرکت سیارهای (در سه جهت x,y,z) موجب میشود تا درون حفرههای نمونههای متخلخل نیز به خوبی پوشش داده شوند. نگهدارنده نمونه میتواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارندههای نمونه در این دستگاه بسیار ساده بوده و کاربر به سادگی قادر به انجام آن میباشد.