DCT-T-300 | دستگاه لایه نشان کربن خلاء بالا با تبخیر حرارتی

دستگاه لایه نشان کربن خلاء بالا با محفظه بزرگ DCT-T-300 برای ایجاد لایه نازک کربن یا تبخیر حرارتی فلزات بسیار پرکاربرد است و به عنوان پوشش‌دهنده و آماده‌سازی نمونه‌ها برای تصویربرداری توسط میکروسکوپ الکترونی و کاربردهای لایه‌نشانی لایه نازک در آزمایشگاه‌های تحقیقاتی مورد استفاده قرار می‌گیرد. مدل DCT-T-300 مجهز به پمپ توربومولکولار بوده و مناسب برای ایجاد لایه نازک فلزی یا کربنی مورد استفاده در کاربردهای تحقیقاتی، تصویربرداری و مشخصه‌یابی نمونه‌های مختلف با استفاده از تکنیک‌های FE-SEM، TEM، EDS/WDS و EBSD می‌باشد. لایه نشانی در یک محیط خلاء بالا موجب می شود تا لایه ایجاد شده دارای کیفیت بالایی بوده و برای نمونه‌هایی که نیاز به تصویربرداری با رزولوشن بالا دارند، مناسب باشد.

دستگاه DCT-T-300 با یک محفظه لایه‌نشانی به قطر ۳۰۰ میلیمتر و نگهدارنده نمونه ۶ اینچی (انتخابی) قابلیت لایه‌نشانی بر روی زیرلایه‌های بزرگ تا قطر ۱۵۰ میلیمتر و یا چندین زیرلایه کوچکتر را ایجاد کرده است.

فرآیند لایه‌نشانی اتوماتیک و قابل برنامه‌ریزی امکان انجام لایه‌نشانی ساده، دقیق و تکرارپذیر را فراهم ساخته است.

تبخیر حرارتی مواد با نقطه ذوب پایین و لایه‌نشانی در دو جهت بالا یا پایین با امکان تغییر فاصله بوته حرارتی تا نمونه، از دیگر امکانات این دستگاه است.

درخواست صدور پیش فاکتور

اتوماسیون در DCT-T-300

صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
نرم‌افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه
قابلیت انجام فرآیند لایه‌نشانی به صورت نیمه-تمام اتوماتیک
لایه‌نشانی تکرارپذیر و قابل برنامه‌ریزی بر اساس ضخامت مورد نظر در حالت اتوماتیک
لایه نشانی نخ کربن به صورت دو مد پالسی یا فلش
لایه نشانی میله کربن به صورت دو مد پالسی یا جریان افزایشی
لایه‌نشانی نیمه-اتوماتیک بر اساس ضخامت تعیین شده برای لایه‌نشانی کربن یا تبخیر حرارتی
قابلیت ذخیره‌سازی تا ۱۰ برنامه لایه‌نشانی
قابلیت ذخیره و رسم نمودار داده‌ها
دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات

مشخصات دستگاه DCT-T-300

ویژگی‌های سخت‌افزاری

خلاء بالا با استفاده از پمپ خلاء توربو مولکولار (آلمانی)
پمپ پشتیبان دومرحله‌ای روتاری (با قابلیت انتخاب پمپ دیافراگمی یا اسکرول)
منبع تغذیه DC سوییچینگ ۵۰۰ وات برای لایه‌نشانی نخ کربنی
منبع تغذیه جریان بالای ۱.۲ کیلوواتی برای لایه‌نشانی تبخیر حرارتی یا تبخیر میله کربنی (انتخابی)
ضخامت‌سنج کریستال کوارتز با دقت ۱ نانومتر و رزولشن ۱ آنگستروم
شیر تخلیه اتوماتیک
قابلیت چرخش و تنظیم ارتفاع و زاویه نمونه
نمونه‌گیر سیاره‌ای (انتخابی)
شاتر الکترونیک
دو فیدتروی جریان بالا برای اتصال منبع حرارتی
نگهدارنده بوته حرارتی متحرک با امکان لایه‌نشانی از بالا به پایین یا پایین به بالا
نگهدارنده‌های نمونه S-Clip برای لایه‌نشانی تبخیر حرارتی پایین به بالا
قابلیت تعویض آسان پایه‌های نمونه‌گیر

لایه نشانی کربن از میله کربنی (Carbon Rod)

دستگاه لایه نشان کربن خلاء بالا DCT-T-300، با امکان تجهیز به درب محفظه نگهدارنده میله کربنی قابلیت لایه نشانی کربن از میله کربنی را نیز دارا است (در صورت درخواست مشتری). برای این منظور یک منبع تغذیه جریان بالا (۰-۱۰۰ آمپر) که در خارج از جعبه دستگاه قرار می‌گیرد جایگزین منبع تغذیه جریان بالای داخلی دستگاه (تعبیه شده به منظور لایه نشانی کربن از نخ کربنی) می‌شود.

لایه نشانی نخ کربن پالسی در دستگاه DCT-T-300

دستگاه لایه نشان کربن تحت خلاء، مجهز به یک منبع تغذیه جریان بالا می‌باشد که امکان لایه نشانی کربن در دو مد پالسی و یا فلش را فراهم می‌کند. در لایه نشانی پالسی کربن که فرایند لایه نشانی در خلال پالس‌های کوتاه صورت می‌پذیرد، کنترل فرایند لایه نشانی بهتر بوده و مقدار دور‌ریز‌های کربن نسبت به روش‌های متداول کمتر می‌باشد.

در لایه نشانی کربن – Carbon Fiber Evaporation Head

محفظه خلاء بالا

محفظه خلاء دستگاه DCT-T-300 شامل یک مخزن استوانه‌ای از جنس پیرکس به قطر ۳۰۰mm و ارتفاع ۲۰۰mm همراه با اورینگ‌های ال شکل است. این دستگاه کربن‌کوتر مجهز به پمپ توربومولکولار خلاء بالا می‌باشد که توسط یک پمپ روتاری دو مرحله‌ای ۶ m^۳/h پشتیبانی می‌شود (انتخابی). در نتیجه هیچ‌گونه آلودگی ناشی از روغن (که از ویژگی‌های پمپ‌های دیفیوژنی است) وارد محفظه خلاء نمی‌شود و لایه‌نشانی در یک محیط بسیار تمیز انجام می‌شود.

صفحه نمایش لمسی رنگی DCT-T-300

دستگاه لایه نشانی تحت خلاء بالای کربن، DCT-T-300، مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می‌باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می‌شود. با توجه به رابط کاربری ساده سیستم، کاربر می‌تواند اطلاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین داده‌های مربوط به ۳۰۰ لایه‌نشانی آخر در صفحه تاریخچه (History) ذخیره می‌شود و امکان انتقال داده‌ها به کامپیوتر با استفاده از خروجی USB بر روی دستگاه وجود دارد.

نگهدارنده‌های نمونه

بنا به درخواست کاربر، دستگاه DCT-T-300 قابلیت مجهز شدن به انواع مختلفی از نگهدارنده‌های زیرلایه را داراست. نگهدارنده‌های زیرلایه چرخان در ابعاد مختلف با قابلیت تنظیم ارتفاع، زاویه و چرخش زیرلایه در هنگام لایه‌نشانی به منظور یکنواختی لایه از جمله امکانات این سیستم لایه‌نشانی است. همچنین دستگاه امکان مجهز شدن به سیستم چرخاننده سیاره‌ای زیرلایه را نیز دارا است. حرکت سیاره‌ای (در سه جهت x, y, z) موجب می‌شود تا درون حفره‌های نمونه‌های متخلخل نیز به خوبی پوشش داده شوند.

همچنین نگهدارنده چرخان نمونه بزرگ ۶ اینچی (بدون قابلیت تغییر زاویه) نیز برای لایه‌نشانی نمونه‌های بزرگ توسط این دستگاه طراحی شده است. نگهدارنده نمونه می‌تواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارنده‌های نمونه در این دستگاه بسیار ساده بوده و کاربر به سادگی قادر به انجام آن است.

کاربردها

لایه‌نشانی لایه‌های فلزی و کربن برای آماده‌سازی نمونه‌ها به منظور تصویربرداری و مشخصه‌یابی توسط SEM، FE-SEM، TEM و EDX
ایجاد لایه‌های رسانا
قابلیت آبدوست‌سازی توری‌های TEM با اعمال پلاسما (انتخابی)