دستگاه اسپاترینگ سه کاتده مجهز به پمپ توربومولکولار - DST3

DST3، یک سیستم لایه نشانی در خلاء به روشاسپاترینگ(کند و پاش) با محفظه شیشه‌ای و پمپ توربومولکولار می‌باشد. این Triple Target Sputter Coater ، مجهز به سه کاتد مگنترون آبگرد دو اینچی بوده و با دارا بودن منابع تغذیه RF و DC، قادر به لایه نشانی گروه وسیعی از مواد شامل فلزات اکسیدی و غیر‌اکسیدی (جدول لایه نشانی مواد)، نیمه هادی‌ها و سرامیک‌ها می‌باشد. دستگاه اسپاترینگ سه کاتده دارای محفظه خلاء بزرگی است که این سیستم را برای لایه نشانی طولانی مدت مناسب می‌سازد.

به منظور افزایش چسبندگی لایه نازک لایه نشانی شده به زیرلایه، امکان اعمال ۳۰۰ ولت ولتاژ بایاس به زیرلایه نیز وجود دارد (در صورت در خواست). DST3، مجهز به یک منبع تغذیه RF به همراه مچینگ باکس اتوماتیک است که امکان لایه نشانی دی‌الکتریک‌ها را نیز فراهم می‌آورد.

درخواست صدور پیش فاکتور

دستگاه اسپاترینگ سه کاتده DST3 با توجه به حالت قرار گرفتن کاتد‌های آن دارای دو مدل می‌باشد:

DST3-A – کاتدهای با زاویه

مدل DST3-A با به‌کارگیری سه کاتد زاویه‌دار با نقطه کانونی مشترک، قادر به انجام لایه نشانی مستقل یا متمرکز و همزمان دو یا سه کاتد است و علاوه بر ساخت چند لایه‌ای‌ها، امکان آلیاژ‌سازی را نیز فراهم می‌کند. قابلیت چرخش زیر‌لایه این سیستم باعث یکنواختی بسیار خوب لایه رشد داده شده می‌شود. همچنین به‌دلیل امکان زاویه دادن به زیر‌لایه نسبت به کاتدها می‌توان انواع لایه‌ها را به صورت ستونی رشد داد(Glad Sputtering). حداکثر قطر زیرلایه در این مدل دستگاه اسپاترینگ سه کاتده، ۳ اینچ است.

DST3-S – کاتدهای خطی(مستقیم)

مدل DST3-S با دارا بودن سه کاتد با قطر دو اینچ که بدون زاویه کنار یکدیگر قرار گرفته‌اند، برای لایه نشانی بر روی تک نمونه‌های بزرگ با قطری حدود ۲۰ سانتی متر و یا چندین قطعه با ابعاد کوچکتر در این محدوده مناسب می‌باشد. دستگاه اسپاترینگ سه کاتده DST3-S، برای اطمینان از یکنواختی لایه در تمام سطح نمونه‌های بزرگ، مجهز به سه کاتد مگنترون گردیده است.

کنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر با استفاده از ضخامت‌سنج کریستالی
نگهدارنده زیرلایه با قابلیت چرخش و امکان تنظیم ارتفاع و زاویه
صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
نرم‌افزاری با کاربری آسان و قابلیت به‌روز‌رسانی از طریق شبکه
قابلیت رسم نمودار‌های فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات
مجهز به شاتر الکترونیکی
هیتر زیرلایه ۵۰۰ درجه (در صورت درخواست)
۳۰۰ ولت، ولتاژ بایاس زیرلایه‌ (در صورت درخواست)
یک سال گارانتی کامل
بسته‌بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حمل
GLAD Sputtering
Plasma Cleaning

مشخصات دستگاه DST3

پمپ توربومولکولار خلاء بالا (آلمانی)

سرعت پمپاژ	۹۰ l/s	۳۵۰ l/s
فشار نهایی	۷ x10^-۶ Torr	۷ x10^-۷ Torr

پمپ پشتیبان روتاری دو مرحله ای
فشار‌سنج فول رنج (آلمانی)
سه کاتد آبگرد ۲ اینچی
محفظه خلاء بزرگ (قطر ۳۰۰ میلیمتر) مناسب برای لایه نشانی نمونه‌های بزرگ
مجهز به سیستم انتخاب تارگت (برای قرار گرفتن زیرلایه مقابل تارگت مورد نظر)
امکان لایه نشانی همزمان از دو یا سه کاتد برای ایجاد آلیاژها‌ (Co-Sputtering)
دو ضخامت‌سنج کریستالی کوارتز شامل اسیلاتور و نگهدارنده کریستال با قابلیت اندازه‌گیری ضخامت در حین لایه نشانی
کنترل فرآیند لایه نشانی بر اساس زمان یا ضخامت

محفظه خلاء بالا

محفظه خلاء دستگاه DST3 شامل یک مخزن استوانه‌ای از جنس پیرکس به قطر mm 300 و ارتفاع mm 250 همراه با اورینگ‌های ال شکل می‌باشد. این دستگاه Triple Target Sputter Coater مجهز به پمپ توربومولکولار خلاء بالا می‌باشد که توسط یک پمپ روتاری دو مرحله‌ای پشتیبانی می‌شود و در نتیجه هیچ گونه آلودگی ناشی از روغن(که از ویژگی‌های پمپ‌های دیفیوژنی است) وارد محفظه خلاء نمی‌شود و لایه نشانی در یک محیط بسیار تمیز انجام می‌شود.

صفحه نمایش رنگی

دستگاه اسپاترینگ سه کاتده مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می‌باشد که تمام فرایند‌های کنترل دستگاه از طریق آن انجام می‌شود. با توجه به کاربری ساده این نرم‌افزار، کاربر می‌تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی(فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید.

همچنین دستگاه Triple Target Sputter Coater مدل DST3، توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا می‌باشد. کاربر می‌تواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف می‌شود.