لایه نشان های میکروسکوپ الکترونی

لایه نشان‌ SEM و کوترهای میکروسکوپ الکترونی پوشش‌های نانو‌ساختار

تصویربرداری از نمونه با استفاده از میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) معمولا نیاز به پوشش سطح نمونه با لایه‌ای نازک از ماده‌ای رسانا در مرحله آماده‌سازی نمونه دارد. شرکت پوشش‌های نانوساختار طراح و تولیدکننده سیستم‌های لایه‌نشانی مناسب برای آماده‌‌سازی نمونه SEM است. کوترهای میکروسکوپ الکترونی این شرکت بر اساس لایه‌نشانی بخار فیزیکی (PVD) در خلاء پایین و بالا کار می‌کنند.

روش‌های لایه‌نشانی برای آماده‌سازی نمونه‌های میکروسکوپ الکترونی

• اسپاترینگ

لایه‌نشانی اسپاترینگ یکی از روش‌های لایه‌نشانی بخار فیزیکی است که در آن ذرات پرانرژی پلاسما، مانند یون‌ها و الکترون‌ها، مولکول‌ها و اتم‌های سطح ماده هدف را کندوپاش می‌کنند. سپس این ذرات بر روی سطح زیرلایه جمع شده و لایه‌ای نازک از اتم‌های هدف تشکیل می‌دهند.

اسپاترکوترهای یونی شرکت پوشش‌های نانوساختار برای آماده‌سازی نمونه‌های میکروسکوپ الکترونی تحت خلاء (پایین و بالا)، به ترتیب برای لایه‌نشانی مواد غیراکسیدشونده و اکسیدشونده مناسب هستند. مگنترون اسپاترکوترهای خلاء پایین DSR1 شرکت پوشش‌های نانوساختار برای لایه‌نشانی‌های متداول طلا و دیگر فلزات غیراکسیدشونده مانند پلاتین که در تصویربرداری میکروسکوپ الکترونی کاربرد دارند، مناسب می‌باشند.

لایه‌نشان‌های میکروسکوپ الکترونی خلاء بالا با پمپ توربو شرایط لایه‌نشانی مناسب برای فلزات اکسیدشونده مانند تنگستن، ایریدیوم و کروم را فراهم می‌آورند. لایه‌نشانی در خلاء بالا و استفاده از هدف‌های فلزی ذکر شده موجب تشکیل لایه‌هایی با دانه‌بندی کوچکتر می‌شود که در تصویربرداری میکروسکوپ الکترونی روبشی تابش میدانی (FESEM) بسیار حائز اهمیت است(مطالعه بیشتر). اسپاترکوتر خلاء بالای DST1-170 و DST1-300 با محفظه‌های کوچک و بزرگ، قابلیت لایه‌نشانی اسپاترینگ در خلاء بالا و ایجاد پوشش‌های نازک با دانه‌بندی ریز مناسب برای تصویربرداری FESEM توسط شرکت پوشش‌های نانوساختار ارائه می‌شوند.

• ‌لایه‌نشانی کربن برای تصویربرداری میکروسکوپ الکترونی

لایه‌نشانی کربن یکی دیگر از گزینه‌های موجود برای ایجاد لایه‌ای رسانا بر روی سطوح نارسانای نمونه‌های SEM است. همچنین لایه‌نشانی کربن آمورف (بدون ساختار) بر روی نمونه برای مشخصه‌یابی نمونه توسط آزمون EDX بسیار مطلوب است. از سوی دیگر، توری‌های میکروسکوپ الکترونی عبوری (TEM) نیازمند پوشش‌دهی توسط لایه‌ای رسانا با تداخل قابل چشم پوشی در تصویربرداری دارند، بدین ترتیب لایه نازک کربنی در تصویربرداری TEM نیز بسیار کارآمد است. البته باید در نظر داشت که فشار نهایی محفظه بر ساختار لایه کربنی تاثیر بسزایی دارد، به همین دلیل شرکت پوشش‌های نانوساختار کربن کوترهای خود را در دو مدل خلاء پایین، DCR، و خلاء بالا، DCT، عرضه می‌کند.

• لایه‌نشان‌های ترکیبی میکروسکوپ الکترونی

لایه‌نشان‌های میکروسکوپ الکترونی شرکت پوشش‌های نانوساختار با قابلیت لایه‌نشانی اسپاترینگ و لایه‌نشانی کربن در یک دستگاه لایه‌نشان رومیزی نیز ارائه می‌شوند. دستگاه‌های لایه‌نشانی ترکیبی خلاء پایین و بالای DSCR و DSCT با ترکیب دستگاه اسپاتر کوتر و کربن کوتر در یک دستگاه، قابلیت استفاده از مزایای هر دو نوع لایه‌نشانی را برای آماده‌سازی نمونه SEM فراهم آورده است.

همچنین مدل‌های DSCR-300 و DSCT-300 ارائه شده با محفظه‌های بزرگتر، قابلیت انجام لایه‌نشانی‌های طولانی مدت را داراست.