لایه نشانی مواد کالکوژنید - لایه نازک مواد کالکوژنید
لایه نشانی مواد کالکوژنید - لایه نازک مواد کالکوژنید

لایه نشانی مواد کالکوژنید(Chalcogenide)

کالکوژنیدها موادی هستند که حداقل شامل یکی از مواد کالکوژن یعنی مواد گروه ۱۶ جدول تناوبی(سولفور، سلنیوم، تلوریوم و … ) می باشند. شیشه های کالکوژنید به علت ویژگی های اپتیکی خاصی که دارند مثل ضریب شکست بالا، عبوردهی اشعه مادون قرمز(IR)، دارا بودن ویژگی های اپتیک غیر خطی و ویژگی برگشت پذیر تغییر فاز از آمورف به کریستال، بسیار مورد توجه قرار گرفته اند. از کاربردهای این مواد می توان به سلول های فوتوولتاییک اشاره کرد. خصوصیات نوری و سایر ویژگی های لایه های نازک(حرارتی، مکانیکی، مقاومت، شیمیایی و … ) بسیار وابسته به روش استفاده شده برای لایه نشانی آنها است. بسته به اینکه از چه روشی برای لایه نشانی لایه نازک ها استفاده می شود، می توان استوکیومتری، ساختار، جایگاه نقص ها و بسیاری از ویژگی های دیگر را کنترل کرد.

تبخیر حرارتی

روش تبخیر حرارتی برای لایه نشانی مواد کالکوژنید باینری مثل (As-S(Se و (Ge-S(Se مورد استفاده قرار می گیرد. همچنین این روش برای لایه نشانی سلنیوم آمورف به منظور کاربرد در پنل های حساس به اشعه X نیز مورد استفاده قرار می گیرد. لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی به علت ساده و ارزان بودن، تکرار پذیری، قابلیت لایه نشانی زیرلایه هایی با مساحت زیاد، از محبوبیت بالایی بین روش های لایه نشانی برخوردار است.

اسپاترینگ

روش لایه نشانی اسپاترینگ از روش هایی است که برای لایه نشانی طیف وسیعی از مواد کالکوژنید مناسب است. کنترل یکنواختی ضخامت در تمام مساحت زیرلایه با استفاده از روش اسپاترینگ بهتر حاصل می شود اما نرخ لایه نشانی این مواد با این روش پایین است و کمتر از ۱ نانومتر در ثانیه می باشد. از آنجا که بیشتر مواد کالکوژنید از نظر الکتریکی رسانایی کمی دارند، استفاده از اسپاترینگ RF برای این مواد بیشتر توصیه می شود.

لیزر پالسی

روش لایه نشانی با استفاده از لیزر پالسی(PLD) نیز به منظور ایجاد لایه نازک های کالکوژنیدی به کار رفته است. از مزایای استفاده از این روش میتوان به ایجاد لایه نازک هایی با استوکیومتری کاملا یکسان با ماده هدف اشاره کرد. محصولات شرکت پوشش های نانو ساختار در مدل های مختلف توانایی لایه نشانی با هر سه روش اسپاترینگ، تبخیر حرارتی و لیزر پالسی را دارا می باشند. برای کسب اطلاعات بیشتر به محصولات شرکت پوشش های نانو ساختار مراجعه نمایید.

منابع