دستگاه اسپاترینگ، لایه نشان کربن و تبخیر حرارتی – DSCT-T، یک دستگاه با سه در قابل تعویض به منظور انجام فرایند اسپاترینگ، لایه نشانی کربن (تبخیر حرارتی کربن) و تبخیر حرارتی فلزات می‌باشد. این دستگاه مجهز به پمپ توربومولکولار است و قابلیت اسپاترینگ و تبخیر حرارتی طیف وسیعی از فلزات مانند طلا (Au)، آلیاژ پلاتین/پالادیوم (Pt/Pd)، نقره (Ag)، کروم (Cr)، تنگستن (W)، ایریدیم (Ir) و غیره را دارا می‌باشد. دستگاه اسپاترینگ، لایه نشان کربن و تبخیر حرارتی، مناسب برای آماده‌سازی نمونه‌های میکروسکوپ‌های الکترونی، تبخیر انواع فلزات و همچنین تمیز کردن پنجره عبور پرتو الکترونی (Aperture) در میکروسکوپ الکترونی می‌باشد.
لایه نشانی در یک محیط با خلاء بالا موجب می‌شود تا لایه ایجاد شده دارای کیفیت بالایی بوده و برای نمونه‌هایی که نیاز به تصویربرداری با رزولوشن بالا دارند، مناسب باشد. از جمله کاربردهای این دستگاه علاوه بر آماده‌سازی نمونه‌ها برای آنالیز میکروسکوپ الکترونی روبشی (FE-SEM)، میکروسکوپ الکترونی عبوری (TEM)، آنالیز با اشعه ایکس (EDS/WDS) و EBSD، میتوان به انواع کاربردهای لایه نازک در میکروالکترونیک و نانوالکترونیک اشاره کرد. دستگاه DSCT-T، مجهز به یک کاتد مگنترون دو اینچی، یک منبع تغذیه سوئیچینگ DC ولتاژ بالا و یک منبع تغذیه جریان بالا به منظور تبخیر حرارتی فلزات و کربن است.
مشخصات دستگاه DSCT-T
- کنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر با استفاده از ضخامت‌سنج کریستالی
- صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
- نرم‌افزاری با کاربری آسان و قابلیت به‌روز‌رسانی از طریق شبکه
- قابلیت رسم نمودار‌های فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
- دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات
- یک سال گارانتی کامل
- بسته‌بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب‌دیدگی دستگاه در حین حمل
- دارای گواهی بین المللی CE برای اجازه ورود به بازار اتحادیه اروپا
لایه نشانی کربن در دستگاه DSCT-T
دستگاه اسپاترینگ، لایه نشان کربن و تبخیر حرارتی تحت خلاء مجهز به یک منبع تغذیه جریان بالا می‌باشد که امکان لایه نشانی کربن را به حالت میله‌ای یا نخ کربن فراهم می‌کند. دستگاه DSCT-T نخ کربن را در دو مد پالسی و یا فلش تبخیر می‌کند. در لایه نشانی پالسی، فرایند لایه نشانی در خلال پالس‌های کوتاه صورت می‌پذیرد، کنترل فرایند لایه نشانی بهتر است و مقدار دور‌ریز‌های کربن نسبت به روش‌های متداول کمتر می‌باشد.
تبخیر حرارتی
دستگاه DSCT-T مجهز به یک در مخصوص تبخیر حرارتی (Thermal Evaporation Head) می‌باشد که امکان تبخیر فلزات با دمای تبخیر پایین و امکان تمیز کردن پنجره عبور پرتو الکترونی در میکروسکوپ الکترونی (Aperture Cleaning) را فراهم می‌کند. یک مبنع تبخیر حرارتی به صورت بوته یا بسکت با طول ۴ تا ۱۰ سانتیمتر می‌تواند به راحتی بر روی در تبخیر حرارتی نصب و استفاده شود. ارتفاع این منبع نسبت به در تبخیر حرارتی قابل تنظیم و تغییر می‌باشد. تبخیر حرارتی، کاربردهای فراوانی دارند که از جمله میتوان به ساخت لایه نازک فلزات در نانو و میکروالکترونیک، اپتیک، سلول‌های خورشیدی و سنسور‌های لایه نازک اشاره کرد.
سیستم چرخاننده زیرلایه
چرخش زیرلایه در هنگام لایه نشانی به منظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات دستگاه اسپاترینگ، لایه نشان کربن و تبخیر حرارتی می‌باشد. همچنین دستگاه قابلیت مجهز شدن به سیستم چرخاننده سیاره‌ای زیرلایه را نیز دارا می‌باشد. حرکت سیاره‌ای (در سه جهت x,y,z) موجب می‌شود تا درون حفره‌های نمونه‌های متخلخل نیز به خوبی پوشش داده شوند.
نگهدارنده نمونه می‌تواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارنده‌های نمونه در این دستگاه بسیار ساده است و کاربر به سادگی قادر به انجام آن می‌باشد.
تجهیزات اضافه و لوازم جانبی
- منبع تغذیه با جریان بالا
- در تبخیر حرارتی مناسب برای لایه نشانی کربن (میله کربنی یا نخ کربنی)
- در تبخیر حرارتی
- سنسورکریستال کوارتز
- چرخاننده نمونه سیاره‌ای
- شیشه یدک محفظه خلاء به همراه لاستیک‌های آب‌بندی دور شیشه
- نخ کربن یا میله کربن
- تارگت اسپاترینگ
- منابع تبخیر حرارتی (بوته، بسکت)
- دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات
- تنظیم فشار داخل محفظه توسط شیر الکترونیکی
- شاتر الکترونیکی
- GLAD Sputtering
- Plasma Cleaning
- برق ورودی: ۲۲۰V, 50HZ, 10A
- وزن دستگاه ۴۲ کیلوگرم
سایر مشخصات دستگاه DSCT-T
- فشار نهایی کمتر از ۵-۱۰ × ۵ تور
- قابلیت کنترل نرخ اسپاترینگ برای رسیدن به لایه بهتر
- محفظه خلاء از جنس استیل و پیرکس با ارتفاع mm 140 و قطر خارجی mm 170
- کنترل فرآیند لایه نشانی بر اساس زمان یا ضخامت
- قابلیت کنترل جریان اسپاترینگ مستقل از فشار
- قابلیت رسم نمودار‌های فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
