شرکت پوششهای نانوساختار موفق به طراحی و ساخت محصول جدید خود، دستگاه لایه‌نشانی اسپاترینگ و تبخیر حرارتی مناسب برای گلاوباکس (DST2-TG) شده است. این دستگاه که مجهز به پمپ خلاء توربومولکولار است، قادر به انجام لایه‌نشانی در خلاء بالا به روشهای اسپاترینگ و تبخیر حرارتی با قابلیت تغییر نوع لایه‌نشانی (اسپاترینگ/تبخیر حرارتی) و لایه‌نشانی پوششهای چندلایه (بدون نیاز به باز کردن درب محفظه) است.
امکان لایه‌نشانی لایه به لایه به دو روش اسپاترینگ و تبخیر حرارتی
دستگاه DST2-TG با دارا بودن دو کاتد اسپاترینگ و یک جفت الکترود برای عبور جریان از بوته حاوی منبع تبخیر حرارتی، بنا به درخواست کاربر، امکان تغییر تعداد کاتدها و الکترودها تا مجموعا سه کاتد اسپاترینگ/منبع تبخیر حرارتی را داراست. همچنین در این دستگاه با اتصال نخ کربنی در جایگاه بوته تبخیر حرارتی، قابلیت لایه‌نشانی حرارتی کربن نیز وجود دارد.
لایه‌نشانی در شرایط خلاء کنترل پذیرتر
شرکت پوششهای نانوساختار در راستای تامین نیاز مشتریان برای لایه‌نشانی لایه‌هایی با خلوص بالاتر و قابلیت کنترل بهتر شرایط خلاء در حین لایه‌نشانی، که در لایه‌نشانی لایههای اکسیدشونده بسیار حائز اهمیت است، دستگاه لایه‌نشانی اسپاترینگ و تبخیر حرارتی مناسب برای گلاوباکس DST2-TG را ارائه کرده است. این دستگاه با قابلیت لایه‌نشانی اهداف اکسیدشونده و غیراکسیدشونده و فلزات نجیب، در صورت درخواست کاربر برای لایه‌نشانی مواد نیم‌رسانا یا نارسانا به همراه منبع تغذیه فرکانس رادیویی (RF) برای اسپاترینگ فرکانس رادیویی نیز ارائه میشود. همچنین بنا به درخواست مشتری امکان افزودن تمیز کننده پلاسمایی (plasma cleaner) نیز به این دستگاه وجود دارد.
خلاصه‌ای از امکانات و قابلیت‌های DST2-TG
دستگاه لایه‌نشانی اسپاترینگ و تبخیر حرارتی مناسب برای گلاوباکس DST2-TG، علاوه بر دارا بودن صفحه نمایش ۷ اینچی رنگی لمسی با نرم‌افزاری بسیار آسان برای انجام لایه‌نشانی خودکار و دستی، قابلیت اتصال بدون سیم (Wi-Fi) به رایانه شخصی را نیز داراست؛ بدین ترتیب سیستم لایه‌نشانی در داخل گلاوباکس به راحتی قابل کنترل است.
- دو کاتد دو اینچی خنک‌شونده با آب
- قابلیت نصب هدف‌های اسپاترینگ بدون نیاز به نگهدارنده هدف
- رسانش حرارتی بالاتر بین هدف و کاتد با استفاده از صفحه پشت‌بند (Backing Plate) هدف
- موتور انتخاب کاتد
- شاترهای الکترونیکی
- نگهدارنده نمونه چرخان با قابلیت تنظیم ارتفاع و زاویه چرخش
- لایه‌نشانی قابل برنامه‌ریزی بر اساس زمان یا ضخامت لایه مورد نظر
- قابلیت ذخیره برنامه‌های لایه‌نشانی تا ۸ برنامه
اشاره نمود.
ویژگی‌های مهم DST2-TG
از دیگر ویژگی‌های مهم دستگاه لایه نشانی DST2-TG میتوان به:
- اتصالات ISO KF40 مناسب برای اتصالات گلاوباکس
- فشارسنج آلمانی
- پمپ خلاء روتاری دو مرحله‌ای
- دو ضخامت‌سنج با دقت یک نانومتر برای مشاهده ضخامت لایه در حین لایه‌نشانی
- محفظه بزرگ به قطر ۳۰۰ میلیمتر مناسب برای لایه‌نشانی نمونه‌های بزرگ
- بالابرنده الکتریکی محفظه خلاء برای باز کردن/بستن محفظه بدون دخالت دست
- تزریق گاز به محفظه خلاء با MFC
کاربردهای DST2-TG
این دستگاه برای ساخت لایه نازک برای مدارهای نانو و میکروالکترونیک، حسگرها، سلول‌های خورشیدی و باتری‌های لیتیوم-یونی و شماری از دیگر قابلیت‌های روزافزون لایههای نازک بسیار پرکاربرد است. همچنین میتوان برای آماده‌سازی نمونه‌های میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) و میکروسکوپ الکترونی روبشی اثر میدانی (FESEM) نیز از این دستگاه بهره برد.
