شرکت پوششهای نانوساختار به تازگی دستگاه جدید لایه‌نشانی تبخیر حرارتی خلاء بالا (DTE) خود را عرضه نموده است. این دستگاه به منظور برآورده نمودن نیاز بازار به دستگاه تبخیر حرارتی مقرون به صرفه و سبک، که بسیار سریع به خلاء بالا می‌رسد، برای آزمایش‌های تبخیر حرارتی، طراحی و تولید شده است.
دستگاه DTE برای دستیابی به خلاء بالا مجهز به یک پمپ توربومولکولار است، بنابراین لایه‌نشانی فلزات اکسیدشونده و غیراکسیدی توسط این دستگاه فراهم شده است. همچنین منبع تغذیه خارجی جریان بالا قابلیت تبخیر حرارتی طیف وسیعی از مواد برای لایه‌نشانی لایههای نازک جهت استفاده در کاربردهای مختلف، مانند نانو-میکروالکترونیک، سلول‌های خورشیدی، حسگرهای لایه نازک و آماده‌سازی نمونه‌های SEM و FE-SEM را داراست.
چینش‌های دستگاه DTE
در این دستگاه، لایه‌نشانی در دو چینش به سمت بالا و به سمت پایین با امکان جابه‌جایی بوته تبخیر حرارتی بر روی الکترودهای جریان‌بالای نصب شده بر روی درب محفظه امکان‌پذیر است. در لایه‌نشانی به سمت بالا نمونه‌ها بر روی نمونه‌گیر S-Clip بر روی درب محفظه قرار می‌گیرند و در لایه‌نشانی به سمت پایین، نمونه‌ها بر روی نگهدارنده نمونه چرخان نصب شده بر روی کف محفظه خلاء قرار داده می‌‌شوند.
ضخامت سنج کریستال کوارتز با دقت بالا و شاتر الکترونیک از دیگر امکانات دستگاه هستند که می‌توانند منجر به یک لایه‌نشانی کنترل شده بر روی زیرلایه‌ها شوند.
همچنین، دستگاه لایه‌نشانی DTE مجهز به صفحه لمسی برای کنترل فرآیند خلاء و رصد فرآیند لایه‌نشانی است.
برای کسب اطلاعات بیشتر در مورد دستگاه DTE به لینک زیر مراجعه فرمایید.
