DSCT-300: دستگاه دوگانه اسپاترینگ و لایه نشان کربن خلاء بالا

دستگاه DSCT-300، یک لایه‌نشان اسپاترینگ و تبخیر حرارتی کربن در خلاء بالا با محفظه بزرگ و قابلیت انجام لایه‌نشانی‌ پی‌درپی اسپاترینگ و کربن بدون نیاز به شکستن خلاء است که برای انجام پروژه‌های تحقیقاتی و آماده‌سازی نمونه‌ها به منظور مشاهده با میکروسکوپ‌های الکترونی، مناسب است.

DSCT-300 | Dual Desk Sputter and Carbon Coater with Large Chamber | Nano-Structures Coatings Co

این دستگاه قابلیت اسپاترینگ طیف وسیعی از فلزات (نجیب و اکسیدشونده) از جمله طلا (Au)، آلیاژ پلاتین/پالادیوم (Pt/Pd)، نقره (Ag)، کروم (Cr)، تنگستن (W) و ایریدوم (Ir) و لایه‌نشانی تبخیر حرارتی فیبر (نخ) یا راد کربنی بر روی سطوح مختلف، برای کاربردهای متنوعی مانند میکرو و نانوالکترونیک، ایجاد لایه‌های رسانا و تصویربرداری میکروسکوپ الکترونی را دارد.

دستگاه دوگانه اسپاتر و کربن کوتر DSCT-300 مجهز به پمپ توربومولکولار بوده و با قابلیت لایه‌نشانی در یک محیط خلاء بالا امکان ایجاد لایه‌های نازک با دانه‌بندی ریز و با کیفیت بالا را فراهم می‌نماید و برای پوشش‌دهی نمونه‌های نارسانا یا نیم‌رسانا که نیاز به تصویربرداری با رزولوشن بالایی دارند، مناسب باشد. از جمله کاربردهای این دستگاه می‌توان به آماده‌سازی نمونه‌ها برای کاربردهای میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی (FE-SEM)، میکروسکوپ الکترونی عبوری (TEM)، آنالیز نمونه‌ها با اشعه ایکس (EDS/WDS) و EBSD اشاره کرد.

دستگاه اسپاترینگ | انواع اسپاتر کوتر و 3 مشخصه اصلی آن‌ها

دستگاه DSCT-300 مجهز به یک کاتد مگنترون دو اینچی، یک منبع تغذیه سوئیچینگ ۱۶۰ وات DC و یک منبع تغذیه جریان بالا (24V) به منظور لایه نشانی کربن است. به منظور تسهیل در فرآیند لایه‌نشانی اسپاترینگ فلزات اکسیدشونده، امکان ارائه دستگاه با منبع تغذیه توان بالاتر (تا ۶۰۰ وات) وجود دارد. همچنین، قابلیت انتخابی منبع تغذیه RF، امکان لایه‌نشانی مواد نارسانا را فراهم آورده است.

این دستگاه DSCT-300 مجهز به کاتد آبگرد است، در نتیجه امکان انجام لایه‌نشانی اسپاترینگ در مدت زمان طولانی‌تری را داراست. DSCT-300 با قابلیت انجام تمام اتوماتیک فرآیندهای لایه‌نشانی اسپاترینگ و کربن، امکان انجام لایه‌نشانی دقیق، آسان و تکرارپذیر را در اختیار کاربر قرار می‌دهد. به علاوه، حداکثر اندازه نمونه در این مدل ۲۰ سانتی‌متر (۸ اینچ) است.

مشخصات دستگاه DSCT-300

ویژگی‌های سخت‌افزاری DSCT-300

پمپ توربو مولکولار خلاء بالا با ظرفیت l/s 90 (آلمانی)
پمپ پشتیبان روتاری دو مرحله‌ای (امکان استفاده از پمپ دیافراگمی)
یک کاتد مگنترون ۲ اینچی
منبع تغذیه DC سوییچینگ ۱۶۰ وات برای اسپاترینگ
منبع تغذیه DC پالسی ۵۰۰ وات برای لایه‌نشانی فیبر کربنی
منبع تغذیه دی سی ۱.۲ کیلووات برای لایه‌نشانی راد کربنی (انتخابی)
ضخامت‌سنج کریستال کوارتز با دقت ۱ نانومتر و رزولشن ۱ آنگستروم
شیر تخلیه الکترونیک
نگهدارنده زیر لایه با قابلیت چرخش و تنظیم ارتفاع و زاویه نمونه
نمونه‌گیر سیاره‌ای
شاتر الکترونیک
قابلیت تعویض آسان پایه‌های نمونه‌گیر
یک سال گارانتی کامل
منطبق بر استاندارد CE
بسته‌بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب‌دیدگی دستگاه در حین حمل

اتوماسیون

صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
نرم‌افزاری با کاربری آسان و قابلیت به‌روز‌رسانی از طریق شبکه
کنترل فرآیند لایه نشانی اسپاترینگ بر اساس زمان یا ضخامت
لایه‌نشانی فیبر کربنی به صورت دو مد پالسی یا فلش
لایه‌نشانی راد کربنی به صورت دو مد پالسی یا جریان افزایشی
قابلیت انجام فرآیند لایه‌نشانی اسپاترینگ و کربن به صورت نیمه-تمام اتوماتیک بر اساس ضخامت
لایه‌نشانی تکرارپذیر و قابل برنامه‌ریزی اسپاترینگ و کربن در حالت اتوماتیک
قابلیت ذخیره‌سازی تا ۱۰ برنامه لایه‌نشانی
قابلیت ذخیره و رسم نمودار داده‌ها در حین لایه نشانی
دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات

درخواست صدور پیش فاکتور

لایه‌نشانی کندوپاشی (اسپاترینگ)

دستگاه لایه‌نشانی DSCT-300 با قابلیت لایه‌نشانی مگنترون اسپاترینگ جریان مستقیم، امکان لایه‌نشانی فلزات و با قابلیت انجام لایه‌نشانی اسپاترینگ RF، امکان لا‌یه‌نشانی اهداف نارسانا و نیم‌رسانا را فراهم می‌آورد. تجهیزات ویژه مدل DSCT-300،‌ همچون کاتد آبگرد و یا قابلیت انتخابی نصب کاتد با قطر بیشتر (تا ۴ اینچ)، امکان لایه‌نشانی اسپاترینگ پایدار و پیوسته بر روی زیرلایه‌های بزرگ را ایجاد می‌نماید.

تبخیر حرارتی کربن در DSCT-300

دستگاه دوگانه اسپاترینگ و لایه نشان کربن خلاء بالای DSCT-300 امکان لایه‌نشانی فیبر و راد (انتخابی) کربنی به روش تبخیر حرارتی برای ایجاد لایه نازک کربنی را، با تعویض درب محفظه داراست.

لایه نشانی پالسی نخ کربنی

دستگاه لایه‌نشان تحت خلاء، مجهز به یک منبع تغذیه جریان بالا است که امکان لایه‌نشانی نخ کربن در دو مد پالسی و یا فلش را فراهم می‌کند. در لایه‌نشانی پالسی نخ کربن، با انجام لایه‌نشانی در خلال پالس‌های کوتاه، کنترل فرایند لایه‌نشانی بهتر خواهد بود و مقدار دور‌ریزهای کربن، نسبت به روش‌های متداول کمتر است.

تبخیر حرارتی راد کربنی

دستگاه DSCT-300 با قابلیت تجهیز به در (Head) تبخیر حرارتی راد کربنی و منبع تغذیه ۱۰۰-۰ آمپری خارج از دستگاه، امکان لایه‌نشانی راد کربنی در دو مد پالسی و یا جریان افزایشی را در حالت اتوماتیک فراهم می‌کند.

در (Head) دومنظوره لایه‌نشانی اسپاترینگ و کربن (انتخابی)

دستگاه DSCT-300، در صورت انتخاب مشتری، قابلیت تجهیز به یک در (Head)، حاوی یک مگنترون کاتد دو اینچی و هد نگهدارنده منبع تبخیر (نخ یا راد) کربنی، را دارد. این طراحی نوآورانه امکان لایه‌نشانی پی‌در‌پی اسپاترینگ و کربن با دانه‌بندی ریز، بدون شکستن خلاء، را فراهم می‌آورد.

Artifical Diamonds. Abrasive — الماس مصنوعی ساینده

در لایه نشانی کربن – Carbon Fiber Evaporation Head

محفظه خلاء بالا

محفظه خلاء یک استوانه به قطر ۳۰۰ میلیمتر از جنس بوروسیلیکات است. دستگاه DSCT-300 به یک پمپ خلاء توربومولکولار L/s 90 مجهز است که می‌تواند با یک پمپ روتاری دو مرحله‌ای m^۳/h 6 (قابل ارائه توسط شرکت)، و یا پمپ‌ اسکرول یا دیافراگمی (بنا بر انتخاب مشتری) پشتیبانی شود. بنابراین این دستگاه دارای محفظه خلاء بسیار تمیز بدون آلودگی روغن ناشی از استفاده از پمپ‌های دیفیوژنی معمولی است.

صفحه نمایش رنگی DSCT-300

دستگاه لایه‌نشانی DSCT-300، مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام‌رنگی می‌باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می‌شود. با توجه به رابط کاربری ساده سیستم، کاربر می‌تواند اطلاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه‌نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه‌نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین داده‌های مربوط به ۳۰۰ لایه‌نشانی آخر در صفحه تاریخچه (History) ذخیره می‌شود و امکان انتقال داده‌ها به کامپیوتر با استفاده از خروجی USB بر روی دستگاه وجود دارد.

سیستم چرخاننده زیر‌لایه

چرخش زیرلایه در هنگام لایه‌نشانی به منظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات این سیستم لایه‌نشانی است. همچنین دستگاه قابلیت مجهز شدن به سیستم چرخاننده سیاره‌ای زیرلایه را نیز دارا است. حرکت سیاره‌ای (در سه جهت x,y,z ) موجب می‌شود تا درون حفره‌های نمونه‌های متخلخل نیز به خوبی پوشش داده شوند. نگهدارنده نمونه می‌تواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارنده‌های نمونه در این دستگاه بسیار ساده بوده و کاربر به سادگی قادر به انجام آن است.

نگهدارنده نمونه چرخشی 10 سانتیمتری — نگهدارنده نمونه چرخشی ۱۰ سانتیمتری

انواع کربن کوتر رومیزی | 6 نوع دستگاه لایه نشان کربن

سایر مشخصات دستگاه اسپاترینگ رومیزی

قابلیت نصب پمپ توربو با سرعت‌های مختلف:

۳۵۰	۲۵۰	۹۰	Pumping Speed (Ls^-۱)
۸×۱۰^-۷	۳×۱۰^-۶	۸×۱۰^-۶	Ultimate Pressure (Torr)

قابلیت نگهداری نمونه‌ها در خلاء
کنترل اتوماتیک دمای کاتد برای افزایش طول عمر آهنرباها
توان مصرفی: حداکثر ۲ کیلووات
رسم نمودار داده‌های لایه‌نشانی در لحظه انجام فرآیند
کنترل دقیق فشار خلاء با شیر اتوماتیک برای دستیابی به ساختارهای با دانه‌بندی ریزتر

کاربردهای DSCT-300

لایه‌نشانی فلزات نجیب، اکسیدشونده و کربن برای آماده‌سازی نمونه‌ها به منظور تصویربرداری توسط SEM، FE-SEM، EDX و TEM
نانو و میکروالکترونیک
ایجاد لایه‌های رسانا
تولید حسگرهای لایه نازک
GLAD Sputtering
قابلیت آبدوست‌سازی توری‌های TEM با اعمال پلاسما (انتخابی)