دستگاه اسپاترینگ رومیزی – DSR1

دستگاه اسپاترینگ رومیزی – DSR1 با ابـعاد کوچک و قیمتی بسیار مناسب، امکان لایه‌نشانی هدف‌هایی از جنس فلزات نجیب مانند طلا، پلاتین و پالادیوم (فلزات غیراکسیدشونده) به روش اسپاترینگ بر روی زیرلایه را فراهم می‌کند (جدول لایه نشانی مواد) و به عنوان پوشش‌دهنده نمونه‌های میکروسکوپ الکترونی در آزمایشگاه های تحقیقاتی مورد استفاده قرار می‌گیرد.

دستگاه مگنترون اسپاترینگ رومیزی تک کاتد (Sputter Coater) DSR1 قابلیت ایجاد پوشش یکنواخت با دانه‌بندی ریز (لایه نازک) در مدت زمان کوتاه را داراست و در نتیجه یک سیستم لایه‌نشانی ایده‌آل برای آماده‌سازی و پوشش‌دهی نمونه‌های نارسانا/نیم‌رسانای میکروسکوپ الکترونی به شمار می‌رود. دستگاه اسپاترینگ رومیزی DSR1 با طراحی ارگونومیک و قابلیت برنامه‌ریزی و انجام لایه‌نشانی تمام-اتوماتیک امکان تولید لایه‌های یکنواخت و تکرارپذیر را فراهم می‌کند. با کنترل اتوماتیـک یا دستی فرایند خـلاء‌سازی و لایه نشانی، می‌توان لایه‌هایـی با دقت ضخـامت ۱ نانومــتر تولید کرد.

دستگاه DSR1 درصورت انتخاب کاربر با کاتد آبگرد نیز ارائه می‌شود تا لایه‌نشانی‌ در مدت زمان بیشتر نیز با این دستگاه امکان‌پذیر شود. همچنین، نگهدارنده نمونه ۱۰ سانتیمتری نیز به صورت انتخابی برای این مدل ارائه می‌شود.

درخواست صدور پیش فاکتور

مشخصات دستگاه اسپاترینگ رومیزی

ویژگی‌های سخت‌افزاری

پمپ خلاء روتاری دو مرحله‌ای m3/s 6
منبع تغذیه دی سی ۸۰ واتی
کاتد مگنترون ۲ اینچی
کریستال کوارتز شامل اسیلاتور و نگهدارنده کریستال با قابلیت اندازه گیری ضخامت با دقت یک نانومتر و رزولوشن ۱ آنگستروم در حین لایه نشانی
شیرهای گاز الکترونیک
قابلیت چرخش و تنظیم ارتفاع و زاویه نمونه
نمونه‌گیر سیاره‌ای (انتخابی)
شاتر الکترونیک
قابلیت تعویض آسان پایه‌های نمونه‌گیر
یک سال گارانتی کامل
منطبق بر استاندارد CE
بسته‌بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب‌دیدگی دستگاه در حین حمل

اتوماسیون

صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه
قابلیت کنترل نرخ لایه‌نشانی برای دستیابی به ساختارهایی با دانه‌بندی کوچکتر
قابلیت انجام فرآیند لایه‌نشانی به صورت نیمه-تمام اتوماتیک
لایه‌نشانی تکرارپذیر و قابل برنامه‌ریزی در حالت اتوماتیک
قابلیت ذخیره‌سازی تا ۱۰ برنامه لایه‌نشانی
لایه‌نشانی دستی یا اتوماتیک بر اساس ضخامت یا زمان لایه‌نشانی
قابلیت ذخیره داده‌ها و رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات

محفظه خلاء

محفظه خلاء دستگاه شامل یک مخزن استوانه ای از جنس پیرکس به قطر mm170 و ارتفاع mm 140 همراه با اورینگهای ال شکل است که توسط یک پمپ روتاری دو مرحله‌ای خلاء می‌شود.

صفحه نمایش رنگی DSR1

دستگاه لایه نشانی به روش کند و پاش (اسپاترینگ) مدل DSR1 مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی است که تمام فرایند‌های کنترل دستگاه از طریق آن انجام می‌شود. با توجه به رابط کاربری ساده سیستم، کاربر می‌تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین داده‌‌های مربوط به ۳۰۰ لایه‌نشانی آخر در صفحه تاریخچه (History) ذخیره می‌شود و امکان انتقال داده‌ها به کامپیوتر با استفاده از خروجی USB بر روی دستگاه وجود دارد.

کاربر می‌تواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف می‌شود.

سیستم چرخاننده زیر‌لایه

چرخش زیر‌لایه در هنگام لایه نشانی به منظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات این دستگاه اسپاترینگ رومیزی یا Sputter Coater است. همچنین دستگاه قابلیت مجهز شدن به سیستم چرخاننده سیاره‌ای زیر‌لایه را نیز دارا است. حرکت سیاره‌ای (در سه جهت x,y,z) موجب می‌شود تا درون حفره‌های نمونه‌های متخلخل نیز به خوبی پوشش داده شوند. نگهدارنده نمونه، می‌تواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارنده‌های نمونه در دستگاه DSR1 بسیار ساده بوده و کاربر به سادگی قادر به انجام آن است.

نگهدارنده نمونه جدید

نگهدارنده نمونه جدید چرخان به قطر ۱۰ سانتی‌متر به منظور افزایش سطح و تعداد پایه‌های SEM قابل لایه‌نشانی برای این دستگاه طراحی شده است. (در حدود ۵۰ پایه SEM به قطر یک میلیمتر به طور همزمان قابل لایه‌نشانی هستند).

کاربردهای DSR1

سیستم لایه نشانی در خلاء مدل DSR1 یک لایه‌نشان میکروسکوپ الکترونی برای آماده‌سازی نمونه‌های SEM و TEM است که مجهز به یک پمپ خلاء روتاری است و به راحتی به خلاء ۵۰ میلی‌تور می‌رسد. این دستگاه برای لایه‌نشانی اسپاترینگ فلزات نجیب و غیراکسیدشونده بسیار مناسب است.

لازم به ذکر است برای لایه نشانی فلزات اکسیدشونده مانند تنکگستن، ایندیوم، آلومینیوم و … لطفا به مشخصات دستگاه DST1 که مجهز به پمپ توربو‌مولکولار می‌باشد، مراجعه فرمایید.