دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن – DSCR

دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن رومیزی – DSCR در ابـعاد کوچک و قیمتی بسیار مناسب قادر است به روش اسپاترینگ هدف‌هایی از جنس فلزات نجیب مانند طلا، پلاتین و پالادیوم را لایه‌نشانی نماید. همچنین با قابلیت تجهیز به سیستم لایه نشان کربن امکان لایه نشانی کربن (نخ و راد کربن) به روش تبخیر حرارتی نیز بر روی سطوح مختلف فراهم شده است.

این سیستم عمدتا به عنوان پوشش‌دهنده نمونه‌های میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) در آزمایشگاه‌های تحقیقاتی مورد استفاده قرار می‌گیرد. این دستگاه قابلیت ایجاد لایه نازک از فلزات نجیب یا کربن بر روی نمونه‌ها را به منظور آماده‌سازی آنها جهت مشاهده توسط میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی (FE-SEM)، میکروسکوپ الکترونی عبوری (TEM) و آنالیز نمونه‌ها با اشعه ایکس (EDX) دارا است.

دستگاه DSCR، یک لایه نشان مجهز به پمپ روتاری است که با درهای قابل تعویض اسپاترینگ فلزات نجیب یا تبخیر حرارتی کربن را امکان پذیر می‌نماید. لایه‌نشانی تمام-اتوماتیک اسپاترینگ و کربن امکان اجرای ساده، دقیق و تکرارپذیر فرآیند را فراهم می‌نماید. دستگاه DSCR با امکان تجهیز به کاتد آبگرد اسپاترینگ برای لایه‌نشانی‌های اسپاترینگ به مدت طولانی‌تر نیز مناسب است. حداکثر اندازه زیرلایه مورد استفاده در این مدل ۴ اینچ است.

اتوماسیون

صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
لایه‌نشانی فیبر کربنی به صورت دو مد پالسی یا فلش
لایه‌نشانی راد کربنی به صورت دو مد پالسی یا جریان افزایشی
قابلیت انجام فرآیند لایه‌نشانی اسپاترینگ و کربن به صورت نیمه-تمام اتوماتیک بر اساس ضخامت
لایه‌نشانی تکرارپذیر و قابل برنامه‌ریزی اسپاترینگ و کربن در حالت اتوماتیک
قابلیت ذخیره‌سازی تا ۱۰ برنامه لایه‌نشانی
نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه
قابلیت ذخیره و رسم نمودار داده‌ها در حین لایه‌نشانی
دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات لایه‌نشانی به رایانه

درخواست صدور پیش فاکتور

مشخصات دستگاه

ویژگی‌های سخت افزاری

پمپ پشتیبان دومرحله‌ای روتاری m^۳/h 6
منبع تغذیه DC سوییچینگ ۸۰ وات برای اسپاترینگ
منبع تغذیه DC پالسی ۰-۲۵A برای لایه‌نشانی فیبر کربنی
منبع تغذیه DC با جریان ۰-۱۰۰A برای لایه‌نشانی راد کربنی (انتخابی)
ضخامت‌سنج کریستال کوارتز با دقت ۱ نانومتر و رزولشن ۱ آنگستروم
شیر تخلیه الکترونیک
قابلیت چرخش و تنظیم ارتفاع و زاویه نمونه
نمونه‌گیر سیاره‌ای
شاتر الکترونیک
قابلیت تعویض آسان پایه‌های نمونه‌گیر
یک سال گارانتی کامل
دارای گواهی بین‌المللی CE

لایه نشانی کربن از میله کربنی (Carbon Rod)

دستگاه لایه نشان کربن خلاء بالا با امکان تجهیز به درب محفظه نگهدارنده میله کربنی قابلیت لایه‌نشانی کربن از میله کربنی را نیز دارا می‌باشد (در صورت درخواست مشتری). برای این منظور یک منبع تغذیه جریان بالا (۰-۱۰۰ آمپر) که در خارج از جعبه دستگاه قرار می‌گیرد جایگزین منبع تغذیه جریان بالای داخلی دستگاه (تعبیه شده به منظور لایه نشانی کربن از نخ کربنی) می‌شود.

لایه نشانی پالسی کربن

دستگاه لایه‌نشان کربن تحت خلاء، مجهز به یک منبع تغذیه جریان بالا است که امکان لایه‌نشانی کربن در دو مد پالسی و یا فلش را فراهم می کند. در لایه نشانی پالسی کربن که فرایند لایه نشانی در خلال پالس های کوتاه صورت می پذیرد، کنترل فرایند لایه نشانی بهتر بوده و مقدار دور ریزهای کربن نسبت به روش های متداول کمتر می‌باشد.

در لایه نشانی کربن – Carbon Fiber Evaporation Head

صفحه نمایش لمسی رنگی

دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می‌باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می‌شود. با توجه به رابط کاربری ساده سیستم، کاربر میتواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید.

همچنین داده‌های مربوط به ۳۰۰ لایه‌نشانی آخر در صفحه تاریخچه (History) ذخیره می‌شود و امکان انتقال داده‌ها به کامپیوتر با استفاده از خروجی USB بر روی دستگاه وجود دارد.

سیستم چرخاننده زیر لایه

چرخش زیرلایه در هنگام لایه نشانی به منظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات این سیستم لایه نشانی است. همچنین دستگاه قابلیت مجهز شدن به سیستم چرخاننده سیاره‌ای زیرلایه را نیز دارا می‌باشد. حرکت سیاره‌ای (در سه جهت x,y,z) موجب می‌شود تا درون حفره‌های نمونه‌های متخلخل نیز به خوبی پوشش داده شوند. نگهدارنده نمونه میتواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارنده‌های نمونه در این دستگاه بسیار ساده بوده و کاربر به سادگی قادر به انجام آن است.

سیستم چرخاننده سیاره‌ای نمونه

نگهدارنده نمونه جدید

نگهدارنده نمونه جدید چرخان به قطر ۱۰ سانتی‌متر به منظور افزایش سطح و تعداد پایه‌های SEM قابل لایه‌نشانی برای این دستگاه طراحی شده است. (در حدود ۵۰ پایه SEM به قطر یک میلیمتر به طور همزمان قابل لایه‌نشانی هستند).