یکی از مهمترین منابع ورود گاز به محفظه خلاء در سیستم‌های خلاء بالا، گاز‌هایی است که از سطوح اجسام موجود در محفظه خلاء دفع می‌شود که همان Outgassing نامیده می‌شود.
Outgassing چیست؟ | Outgassing در سیستم‌های خلاء
در سیستم‌های خلا بالا مهمترین منبع اختلال در خلاء محیط، گاز‌هایی است که از سطوح اجسام موجود در محفظه خلاء دفع می‌شود که به اصطلاح به آن Outgassing می‌گویند.
گرافیت پیرولیتیک
گرافیت پیرولیتیک ، گرافیتی چند کریستالی‌ست که با تجزیه حرارتی یک هیدرو‌کربن ساده مانند متان، از فاز بخار نشانده می‌شود. گرافیت ساختار لایه‌ای دارد.
سیستم های با خلاء بالا و فوق العاده بالا (Ultra-High Vacuum Systems)
سیستم‌های خلاء بالا و فوق‌العاده بالا محیطی تمیز برای انجام فرآیندهایی که نیازمند سطوح تمیز هستند، مانند لایه‌نشانی لایه‌های نازک و آنالیز سطحی فراهم می‌نماید.