میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FE-SEM)، نسخه پیشرفته میکروسکوپ الکترونی روبشی است که تصویربرداری با وضوح بیشتر میکرو-نانو ساختارها را امکانپذیر میکند.
میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM)
میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) یا Scanning Electron Microscope، از انواع میکروسکوپ الکترونی، روشی کارآمد و غیر مخرب برای تصویربرداری میکرو-نانو ساختارها است.
تاریخچه میکروسکوپ الکترونی و اولین مخترع آن
میکروسکوپهای الکترونی کاربردهای زیادی در توسعه علم در قرن گذشته داشتهاند. از این رو مطالعه تاریخچه میکروسکوپ الکترونی و سیر پیشرفت آن بسیار حائز اهمیت است.
میکروسکوپ الکترونی | میکروسکوپ الکترونی چگونه کار میکند؟
میکروسکوپ الکترونی ،میکروسکوپی است که ازپرتوی الکترونهای شتابدار به عنوان منبع تابش استفاده میکند.تصویربرداری بااین روش تصاویر با وضوح بالاتولید میکند.
اثر فشار محفظه بر اندازه دانهبندی لایه نازک در اسپاترینگ
به منظور کاهش ذرات هوا در محفظه لایهنشانی و تشکیل لایهای تمیز، لایههای نازک در یک محفظه خلاء با فشاری کمتر از فشار هوای اتمسفر تهیه میشوند.