سیستم اسپاترینگ DST2-TG اخیرا برای انجام اسپاترینگ همزمان (Co-Sputtering) با دقت بالاتر، بهروزرسانی شده است. در نسخه جدید سیستم پوششدهی DST2-TG، قابلیت نوسان نگهدارنده نمونه بین دو کاتد مگنترون اضافه شده است که با تعیین زاویه و دوره نوسان در صفحه قطعات موتوردار کنترل میشود (شکل ۱). از طریق این ویژگی، دستگاه DST2-TG قادر است پوششهای یکنواختتر چندلایهای را بر روی زیرلایه ایجاد نماید.
مطالعه لایههای CrN (به عنوان یک نیترید فلز واسطه) مقاوم در برابر سایش بالا نشان داد که اگر زیرلایه در حین تولید ساختار چندلایهای به میزان ۵ درجه با دوره ۱۲۰ ثانیه نوسان داشته باشد (شکل ۲)، سختی پوشش حاصل افزایش مییابد.
برای اطلاعات بیشتر لینک زیر را دنبال کنید:
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0257897218301439
شرکت پوششهای نانوساختار طراح و سازنده دستگاههای لایهنشانی در خلاء، مانند لایهنشانی اسپاترینگ، لایهنشانی کربن و تبخیرکنندههای حرارتی است که با توجه به نیاز مشتری قابلیت سفارشیسازی دارند. سیستم لایهنشانی DST2-TG با اتصالات ویژه نصب گلاوباکس ارائه میشود که میتواند برای لایهنشانی لایههای نازک حساس مورد استفاده قرار گیرد.