قابلیت جدید دستگاه DST2-TG در انجام اسپاترینگ همزمان یا Co-Sputtering

سیستم اسپاترینگ DST2-TG اخیرا برای انجام اسپاترینگ همزمان (Co-Sputtering) با دقت بالاتر، به‌روز‌رسانی شده است. در نسخه جدید سیستم پوشش‌دهی DST2-TG، قابلیت نوسان نگهدارنده نمونه بین دو کاتد مگنترون اضافه شده است که با تعیین زاویه و دوره نوسان در صفحه قطعات موتوردار کنترل می‌شود (شکل ۱). از طریق این ویژگی، دستگاه DST2-TG قادر است پوشش‌های یکنواخت‌تر چندلایه‌ای را بر روی زیرلایه ایجاد نماید.

NSC DST2-TG full face second products page
صفحه تنظیمات قطعات موتوری دستگاه DST2-TG
شکل ۱. صفحه تنظیمات قطعات موتوری دستگاه DST2-TG.

مطالعه لایه‌های CrN (به عنوان یک نیترید فلز واسطه) مقاوم در برابر سایش بالا نشان داد که اگر زیرلایه در حین تولید ساختار چندلایه‌ای به میزان ۵ درجه با دوره ۱۲۰ ثانیه نوسان داشته باشد (شکل ۲)، سختی پوشش حاصل افزایش می‌یابد.

برای اطلاعات بیشتر لینک زیر را دنبال کنید:

https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0257897218301439

پارامترهای لایه‌نشانی نوسانی در پوشش‌دهی لایه نازک CrN
شکل ۲. پارامترهای لایه‌نشانی نوسانی در پوشش‌دهی لایه نازک CrN.

شرکت پوشش‌های نانوساختار طراح و سازنده دستگاه‌های لایه‌نشانی در خلاء، مانند لایه‌نشانی اسپاترینگ، لایه‌نشانی کربن و تبخیرکننده‌های حرارتی است که با توجه به نیاز مشتری قابلیت سفارشی‌سازی دارند. سیستم لایه‌نشانی DST2-TG با اتصالات ویژه نصب گلاوباکس ارائه می‌شود که می‌تواند برای لایه‌نشانی لایه‌های نازک حساس مورد استفاده قرار گیرد.

برخی از محصولات شرکت

اسپاترکوتر

NSC DST1-170 Full Face Second Products Page

کربن کوتر

NSC DCT-T-300

SEM کوتر

NSC DSCR Full Face Products Page

تبخیر حرارتی

NSC DTE Full Face Products Page

Leave a Comment