کنترل دقیق ضخامت در سیستم های لایه نشان کربن
کنترل ضخامت لایه نازک کربن روی نمونه هایی که قرار است با میکروسکوپ الکترونی (SEM ,TEM ,FE-SEM, …) یا با طیف نگاری اشعه ایکس(EDX) مورد آنالیز و بررسی قرار گیرند، کار بسیار مهم و دشواری است. با توجه به اینکه ضخامت لایه نشانده شده از نخ کربن یا میله کربنی به دلیل تغییر مقاومت آنها در دمای بالا، به سختی کنترل می شود، معمولا ضخامت این لایه بیشتر یا کمتر از مقدار مورد نظر است. همچنین برای تصویر برداری نمونه ها با TEM نیاز است تا شبکه های مورد استفاده در این فرایند با لایه ای نازک از کربن پوشش دهی شوند که در این مورد تکرارپذیری ضخامت لایه نازک کربن و همچنین کیفیت لایه ایجاد شده نقش مهمی درکیفیت تصاویر به دست آمده، ایفا می کنند.
سیستم لایه نشان کربن تحت خلاء DCR و DCT
پس نیاز است تا از سیستمی برای لایه نشانی کربن استفاده شود که در آن ضخامت و کیفیت لایه نازک های ایجاد شده قابلیت تکرار داشته باشند و در زمان های مختلف تحت شرایط یکسان بتوان لایه نازک های یکسانی را لایه نشانی کرد. دستگاه‌های لایه نشان کربن تحت خلاء مدل های DCR و DCT، ساخت شرکت پوشش های نانو ساختار با استفاده از منابع تغذیه پالسی قابلیت کنترل ضخامت لایه نازک کربن ایجاد شده، را فراهم می آورند. همچنین این دستگاه مجهز به دو نخ کربنی است و قابلیت تشخیص سوختن و سوییچ کردن بر روی دیگری را دارا می باشد. این دستگاه قابلیت تنظیم تعداد پالس و جریان هر پالس را به کاربر می دهد.
همچنین این دستگاه ها مجهز به ضخامت سنج دقیق و کارآمد هستند که با دقت ۱ نانومتر ضخامت لایه نشانده شده را در حین فرایند لایه نشانی نمایش می دهند. در این سیستم ها ضخامت لایه کربن ایجاد شده، هم به صورت نمودار و هم به صورت دیجیتال، قابل مشاهده است. شکل زیر، تصویری از یک نمونه لایه نشانی کربن از نخ کربنی است که توسط دستگاه لایه نشان کربن مدل DCR ساخت شرکت پوشش های نانو ساختار انجام شده است. برای کسب اطلاعات بیشتر به محصولات این شرکت، مراجعه نمایید.
صفحه اصلی دستگاه لایه نشان کربن مدل DCR، منحنی سبز رنگ فشار و منحنی بنفش رنگ ضخامت لایه کربن را در طی ۵ پالس نمایش می دهد.
