به‌روزرسانی سیستم‌‌های خلاء بالای شرکت پوشش‌های نانوساختار

به‌روزرسانی سیستم‌‌های خلاء بالای شرکت پوشش‌های نانوساختار

تمام سیستم‌های پوشش‌دهی خلاء بالای شرکت پوشش‌های نانوساختار به منظور جلوگیری از برگشت روغن پمپ پشتیبان ارتقاء داده شده‌اند. بدین منظور، سیستم‌های خلاء بالای شرکت به شیر الکتریکی بین پمپ پشتیبان و پمپ توربومولکولار مجهز شده‌اند. این ویژگی به جلوگیری از برگشت روغن پمپ پشتیبان به پمپ توربو و محفظه خلاء، که می‌تواند مشکلات جدی برای هر سیستم پوشش‌دهی خلاء ایجاد کند، کمک می‌کند.

 پوشش‌دهنده‌های خلاء بالای شرکت پوشش‌های نانوساختار، شامل سیستم‌های لایه‌نشانی کندوپاشی مانند DST1 و DST3، لایه‌نشان‌های کربن مانند DCT و DCT-300 و تبخیرکننده‌های حرارتی مانند DTE و DTT، و همچنین پوشش‌دهنده‌های هیبریدی که بیش از یک روش پوشش‌دهی را امکان‌پذیر می‌کنند، مانند DCT-T-300، DSCT، DSCT-T،DST2-TG و DST3-T، به یک پمپ توربومولکولی مجهز شده‌اند تا به فشارهایی کمتر از ۸×۱۰^-۶ Torr یا ۱۰^-۴ Pa دست یابند. این سطح خلاء، محیطی تمیز برای تولید لایه‌های نازک خالص از فلزات، دی‌الکتریک‌ها یا مواد آلی برای کاربردهای مختلف، از جمله نانو/میکروالکترونیک، ساخت حسگر، باتری‌های لایه نازک، OLEDها و لایه‌های مغناطیسی فراهم می‌کند.