سه تغییر دستگاه اسپاترینگ سه کاتده DST3
۱- لایه‌نشانی در حالت اتوماتیک
تمامی دستگاه‌های این مدل، شامل DST3-TA و DST3-TS، هم‌اکنون قابلیت برنامه‌ریزی برای انجام فرآیند اسپاترینگ در حالت اتوماتیک را دارا هستند (شکل ۱).
۲- کنترل منبع تغذیه از طریق نرم افزار
با ایجاد قابلیت کنترل و تنظیمات منابع تغذیه سیستم (DC، RF و جریان بالا) از طریق نرم‌افزار، پنل‌های مربوطه از محفظه منابع تغذیه دستگاه اسپاترینگ سه کاتده حذف شده‌اند.
۳- هیتر جدید
به علاوه، گرم‌کننده زیرلایه دستگاه DST3 توسط نسخه‌ای جدیدتر جایگزین شده است. در این نسخه، امکان کنترل تنظیمات هیتر و اعمال نرخ گرم شدن و سرد شدن از طریق نرم‌افزار دستگاه برای کاربر فراهم شده است.
شرکت پوشش‌های نانوساختار به عنوان یک شرکت پیشرو در حوزه ساخت دستگاه‌های لایه‌نشانی، به طور پیوسته محصولات خود را با استفاده از جدیدترین فناوری‌ها اصلاح و بهبود می‌بخشد تا پاسخگوی نیازهای کاربران خود باشد. دستگاه لایه‌نشانی اسپاترینگ سه کاتده (DST3) با تبخیر حرارتی (DST3-T) با کاتدهای مستقیم یا زاویه‌دار (DST3-TS یا DST3-TA) قابلیت لایه‌نشانی اسپاترینگ DC و RF در خلاء بالا را داراست (برای مطالعه بیشتر درباره اسپاترینگ RF اینجا را بخوانید).
به علاوه، بسیاری از دیگر امکانات انتخابی، مانند پلاسما کلینر، گرم‌کننده زیرلایه، تجهیزات لایه‌نشان کربن و غیره در صورت نیاز کاربر بر روی دستگاه ارائه می‌شوند. برای اطلاعات بیشتر به سایت شرکت مراجعه فرمایید.
