مواد فرومغناطیس را چگونه sputter کنیم؟

در لایه نشانی مواد فرومغناطیس مانند آهن، نیکل و یا کبالت، با ضخامت معمولی، به دلیل نفوذپذیری مغناطیسی بالایی که دارد، شار را در ست مگنت های معمولی منبع گیر می اندازد. یکی از راه حل های رفع این مشکل کاهش ضخامت target می باشد. کاهش ضخامت target می تواند باعث اشباع شده و در نتیجه  اجازه نفوذ میدان مغناطیسی را دهد. نفوذپذیری target ماده نیکل به صورتی است که target ای با ضخامت ۰.۱۰۰ (یا کمتر) می تواند اشباع شود. در مورد آهن، به دلیل اینکه نفوذپذیری مغناطیسی بالاتری دارد، ضخامت باید حدودا ۰.۰۰۲ باشد تا با قرار گرفتن در ست عادی مگنت ها به اشباع رود و فرآیند لایه نشانی صورت پذیرد. با این وجود، کندوپاش target های بسیار نازک مشکلات خود را دارد، اول اینکه، توان باید خیلی پایین باشد تا از ذوب شدن و یا سوختن target جلوگیری شود. دوم اینکه target های نازک تمایل دارند تا نسبت قسمتی از target که به خوبی خنک شده است خم شوند که احتمال ذوب شدن و یا سوختن را تشدید می کند و سوم اینکه ممکن است هیچ نشانه واضحی مبنی بر سوختن وجود نداشته باشد و قسمت هایی از target که خوب خنک شده اند کندوپاش را شروع کنند. به همین دلایل، برای کندوپاش مواد فرومغناطیس، استفاده از یک دست مگنت بسیار قوی در کاتد دستگاه، قویاً یشنهاد می شود.

جزئیات مقاله
مواد فرومغناطیس را چگونه sputter کنیم؟
نام مقاله
مواد فرومغناطیس را چگونه sputter کنیم؟
توضیحات
در لایه نشانی مواد فرومغناطیس مانند آهن، نیکل و یا کبالت، با ضخامت معمولی، به دلیل نفوذپذیری مغناطیسی بالایی که دارد، شار را در ست مگنت های معمولی منبع گیر می اندازد. یکی از راه حل های رفع این مشکل کاهش ضخامت target می باشد. کاهش ضخامت target می تواند باعث اشباع شده و در نتیجه اجازه نفوذ میدان مغناطیسی را دهد.
نویسنده