مواد فرومغناطیس را چگونه sputter کنیم؟

در لايه نشاني مواد فرومغناطيس مانند آهن، نيکل و يا کبالت، با ضخامت معمولي، به دليل نفوذپذيري مغناطيسي بالايي که دارد، شار را در ست مگنت هاي معمولي منبع گير مي اندازد. يکي از راه حل هاي رفع اين مشکل کاهش ضخامت target مي باشد. کاهش ضخامت target مي تواند باعث اشباع شده و در نتيجه  اجازه نفوذ ميدان مغناطيسي را دهد. نفوذپذيري target ماده نيکل به صورتي است که target اي با ضخامت 0.100 (يا کمتر) مي تواند اشباع شود. در مورد آهن، به دليل اينکه نفوذپذيري مغناطيسي بالاتري دارد، ضخامت بايد حدودا 0.002 باشد تا با قرار گرفتن در ست عادي مگنت ها به اشباع رود و فرآيند لايه نشاني صورت پذيرد. با اين وجود، کندوپاش target هاي بسيار نازک مشکلات خود را دارد، اول اينکه، توان بايد خيلي پايين باشد تا از ذوب شدن و يا سوختن target جلوگيري شود. دوم اينکه target هاي نازک تمايل دارند تا نسبت قسمتي از target که به خوبي خنک شده است خم شوند که احتمال ذوب شدن و يا سوختن را تشديد مي کند و سوم اينکه ممکن است هيچ نشانه واضحي مبني بر سوختن وجود نداشته باشد و قسمت هايي از target که خوب خنک شده اند کندوپاش را شروع کنند. به همين دلايل، براي کندوپاش مواد فرومغناطيس، استفاده از يک دست مگنت بسيار قوي در کاتد دستگاه، قوياً يشنهاد مي شود.

Article Details
مواد فرومغناطیس را چگونه sputter کنیم؟
Article Name
مواد فرومغناطیس را چگونه sputter کنیم؟
Description
در لايه نشاني مواد فرومغناطيس مانند آهن، نيکل و يا کبالت، با ضخامت معمولي، به دليل نفوذپذيري مغناطيسي بالايي که دارد، شار را در ست مگنت هاي معمولي منبع گير مي اندازد. يکي از راه حل هاي رفع اين مشکل کاهش ضخامت target مي باشد. کاهش ضخامت target مي تواند باعث اشباع شده و در نتيجه اجازه نفوذ ميدان مغناطيسي را دهد.
Author