لایه نشانی به روش کندوپاش چیست؟

روشی است که در آن بوسیله کند و پاش ماده از هدف (target) لایه نازکی به ضخامت 1 تا چند صد نانومتر را لایه نشانی می کنند. درحقیقت اصطلاح کند و پاش برای توضیح مکانیزمی که در آن اتمها به سمت سطح پرتاب میشوند، بکار برده میشود. لایه نشانی کند و پاش در دمای بسیار پایین تری نسبت به لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی انجام می شود. عمل لایه نشانی با تشکیل یون های با انرژی گازی بی اثر (معمولا آرگون) و در فشار کم انجام می پذیرد.

جزئیات مقاله
لایه نشانی به روش کندوپاش چیست؟
نام مقاله
لایه نشانی به روش کندوپاش چیست؟
توضیحات
روشی است که در آن بوسیله کند و پاش ماده از هدف (target) لایه نازکی به ضخامت 1 تا چند صد نانومتر را لایه نشانی می کنند. درحقیقت اصطلاح کند و پاش برای توضیح مکانیزمی که در آن اتمها به سمت سطح پرتاب میشوند، بکار برده میشود.
نویسنده