جدول بازده اسپاترینگ
جدول بازده اسپاترینگ حاوی اطلاعاتی راجع به بازده اسپاترینگ (میزان اتم های کنده شده از تارگت به ازای برخورد یک یون آرگون) در ولتاژ مشخص بر حسب الکترون ولت می باشد. همچنین در این جدول نرخ اسپاترینگ ماده مورد نظر بر حسب آنگسترون بر ثانیه آورده شده است. مثلا در جدول زیر از تارگت نقره (Ag) با چگالی ۱۰.۵ گرم بر سی سی به ازای برخورد هر یون آرگون در پلاسمای ایجاد شده با اختلاف پتانسیل ۶۰۰ الکترون ولت، ۳.۴ اتم کنده می شود و در هر ثانیه ۳۸۰ آنگسترون بر روی زیرلایه، لایه نشانی صورت می گیرد.
| Target Material | Density (g/cc) | Yield @ 600 ev | Rate* (Å/sec) |
|---|---|---|---|
| Ag | ۱۰.۵ | ۳.۴ | ۳۸۰ |
| Al | ۲.۷ | ۱.۲ | ۱۷۰ |
| Al98Cu2 | ۲.۸۲ | ۱۷۰ | |
| Al2O3 | ۳.۹۶ | ۴۰ | |
| Al99Si1 | ۲.۶۶ | ۱۶۰ | |
| Au | ۱۹.۳۱ | ۲.۸ | ۳۲۰ |
| Be | ۱.۸۵ | ۰.۸ | ۱۰۰ |
| B4C | ۲.۵۲ | ۲۰ | |
| BN | ۲.۲۵ | ۲۰ | |
| C | ۲.۲۵ | ۰.۲ | ۲۰ |
| Co | ۸.۹ | ۱.۴ | ۱۹۰ |
| Cr | ۷.۲ | ۱.۳ | ۱۸۰ |
| Cu | ۸.۹۲ | ۲.۳ | ۳۲۰ |
| Fe | ۷.۸۶ | ۱.۳ | ۱۸۰ |
| Ge | ۵.۳۵ | ۱.۲ | ۱۶۰ |
| Hf | ۱۳.۳۱ | ۰.۸ | ۱۱۰ |
| In | ۷.۳ | ۸۰۰ | |
| In2O3 | ۷.۱۸ | ۲۰ | |
| ITO | ۷.۱ | ۲۰ | |
| Ir | ۲۲.۴۲ | ۱.۲ | ۱۳۵ |
| Mg | ۱.۷۴ | ۱.۴ | ۲۰۰ |
| MgO | ۳.۵۸ | ۲۰ | |
| Mn | ۷.۲ | ۱.۳ | ۱۸۰ |
| Mo | ۱۰.۲ | ۰.۹ | ۱۲۰ |
| MoS2 | ۴.۸ | ۴۰ | |
| MoSi2 | ۶.۳۱ | ۱۱۰ | |
| Nb | ۸.۵۷ | ۰.۶ | ۸۰ |
| Ni | ۸.۹ | ۱.۵ | ۱۹۰ |
| Ni81Fe19 | ۸.۸ | ۱۱۰ | |
| Ni80Cr20 | ۸.۵ | ۱۴۰ | |
| Ni93V7 | ۸.۶ | ۱۰۰ | |
| Os | ۲۲.۴۸ | ۰.۹ | ۱۲۰ |
| Pd | ۱۲.۰۲ | ۲.۴ | ۲۷۰ |
| Pt | ۲۱.۴۵ | ۱.۶ | ۲۰۵ |
| Re | ۲۰.۵۳ | ۰.۹ | ۱۲۰ |
| Rh | ۱۲.۴ | ۱.۵ | ۱۹۰ |
| Ru | ۱۲.۳ | ۱.۳ | ۱۸۰ |
| Si | ۲.۳۳ | ۰.۵ | ۸۰ |
| SiC | ۳.۲۲ | ۵۰ | |
| SiO2 | ۲.۶۳ | ۷۰ | |
| Si3N4 | ۳.۴۴ | ۴۰ | |
| Sn | ۵.۷۵ | ۸۰۰ | |
| SnO | ۶.۴۵ | ۲۰ | |
| Ta | ۱۶.۶ | ۰.۶ | ۸۵ |
| TaN | ۱۶.۳ | ۴۰ | |
| Ta2O5 | ۸.۲ | ۴۰ | |
| Th | ۱۱.۷ | ۰.۷ | ۸۵ |
| Ti | ۴.۵ | ۰.۶ | ۸۰ |
| TiN | ۵.۲۲ | ۴۰ | |
| TiO2 | ۴.۲۶ | ۴۰ | |
| U | ۱۹.۰۵ | ۱ | ۱۵۵ |
| V | ۵.۹۶ | ۰.۷ | ۸۵ |
| W | ۱۹.۳۵ | ۰.۶ | ۸۰ |
| W90Ti10 | ۱۴.۶ | ۸۰ | |
| WC | ۱۵.۶۳ | ۵۰ | |
| Y | ۴.۴۷ | ۰.۶ | ۸۵ |
| YBCO | ۵.۴۱ | ۱۰ | |
| Zn | ۷.۱۴ | ۳۴۰ | |
| ZnO | ۵.۶۱ | ۴۰ | |
| ZnS | ۳.۹۸ | ۱۰ | |
| Zr | ۶.۴۹ | ۰.۷ | ۸۵ |
| ZrO2 | ۵.۶ | ۴۰ |
