بلاگ

میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM)
میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM)

میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) یا Scanning Electron Microscope، از انواع میکروسکوپ الکترونی، روشی کارآمد و غیر مخرب برای تصویربرداری میکرو-نانو ساختارها است.

read more
اثر فشار گاز محفظه بر نرخ لایه نشانی
اثر فشار گاز محفظه بر نرخ لایه نشانی

‌‌اثر فشار گاز محفظه بر نرخ لایه نشانی از متغیرهای موثر بر عملکرد سیستم‌های مگنترون اسپاترینگ است که بر کیفیت، خلوص لایه و انتقال اتم‌های کندوپاش شده، اثر دارد.

read more
اسپاترینگ فرکانس رادیویی (RF)
اسپاترینگ فرکانس رادیویی (RF)

اسپاترینگ فرکانس رادیویی یا اسپاترینگ RF، از انواع اسپاترینگ و روشی متداول برای لایه نشانی هدف‌های نارسانای الکتریکی، با قابلیت کنترل بیشتر نرخ لایه نشانی است.

read more
مگنترون کاتدهای غیرتعادلی
مگنترون کاتدهای غیرتعادلی

مگنترون کاتدهای غیرتعادلی و تعادلی در سیستم‌های اسپاترینگ دارای مزایا و معایبی هستند که در مطلب “مگنترون اسپاترینگ تعادلی و غیرتعادلی” بیان شده‌اند.

read more
Outgassing چیست؟ | پدیده Outgassing
Outgassing چیست؟ | پدیده Outgassing

یکی از مهمترین منابع ورود گاز به محفظه خلاء در سیستم‌های خلاء بالا، گاز‌هایی است که از سطوح اجسام موجود در محفظه خلاء دفع می‌شود که همان Outgassing نامیده می‌شود.

read more
لایه های نازک مس و دی سی اسپاترینگ
لایه های نازک مس و دی سی اسپاترینگ

افزایش مقاومت لایه های نازک مس به دلیل پدیده‌های مختلف مانند پراکندگی ناشی از عیوب (جای خالی، نابجایی، مرز دانه‌ها) و پراکندگی از سطح و فصل مشترک لایه می‌باشد.

read more
مگنترون اسپاترینگ پالسی
مگنترون اسپاترینگ پالسی

مگنترون اسپاترینگ پالسی یک روش لایه نشانی بخار فیزیکی، برای تولید لایه‌های نازک از مواد مختلف رسانا یا نارسانا است که جایگزینی برای اسپاترینگ RF نیز می‌باشد.

read more
فوتولیتوگرافی یا Photolithography
فوتولیتوگرافی یا Photolithography

لیتوگرافی به ایجاد الگوی مشخص بر روی سطح با استفاده از ماسک‌های نوری گفته می‌شود و لیتوگرافی نوری یا فوتولیتوگرافی، رایج‌ترین نوع لیتوگرافی می‌باشد.

read more