مگنترون اسپاترینگ dc و مگنترون اسپاترینگ پالسی dc

مگنترون اسپاترینگ پالسی

در فرایند اسپاترینگ DC  مواد دی الکتریک،  با شتاب گرفتن یون های مثبت آرگون به سمت ماده هدف (که در پتانسیل منفی قرار دارد) و برخورد با سطح آن ، به علت عدم رسانایی الکتریکی سطح برای جابجا کردن بارها، بار مثبت در سطح ماده هدف انباشته می شود. به موجب این پدیده، تمایل یون…
Read More