لایه نشانی اسپاترینگ و تبخیر حرارتی VCS100F

دستگاه  VCS100F پیشرفته ترین سیستم از این نوع، در دنیا می باشد که دارای جزئیات فنی زیر است:

 

دستگاه لایه نشانی به روش اسپاترینگ مدل VCS100F

  مشخصات  و  اجزاء اصلـی دستـگاه لایـه نشـانی  به  روش اسپـاترینـگ مدل VCS100  که  جزء پیـشرفـته تـرین سیستم های لایه نشانی در خلأ  بالا در جهان است به شرح زیر می باشد:

  • سامانه لایه نشانی مگنترون اسپاترینگ متشکل از دو کاتد با قابلیت تنظیم زاویه در سه جهت،منبع تغذیه RF همراه با مچینگ باکس خودکار و منبع تغذیه DC.
  •  سامانه لایه نشانی تبخیر حرارتی متشکل از منبع تغذیه با قابلیت ایجاد 300 آمپر جریان،فیدتروهای جریان بالای آبگرد، نگهدارنده های بوته و نمایشگر جریان گذرنده از بوته.
  • محفظه خلأ دو جداره آبگرد از جنس استیل.
  • پمپ توربو مولکولار برای رسیدن به فشارهای پایین.
  • پمپ روتاری دو مرحله ای پشتیبان.
  • شیر هوشمند متصل به پمپ توربو برای تنظیم خودکار فشار داخل محفظه با قابلیت تنظیم از طریق مانیتور تاچ اسکرین.
  • شیرهای الکترو پنوماتیک برای اتصال پمپ روتاری به محفظه خلأ و پمپ توربو.
  • ضخامت سنج کریستالی به منظـور کنترل فرایند لایه نشانی در حیـن کار با دقت 1 نانومتـر و قابلیت نصب 4 کریستال کوارتز.
  • فشار سنجـهای پیرانی و پنینگ با قابلـیت کنترل دقیق فرایند خلأ سازی  و  رسم گرافهای  فشار.
  • شیرهای هوشمند MFC که کنتـرل دقیق جریان گازهای اسپاترینگ و راکتـیو را به داخل محفـظه خلأ به عهده دارند.
  • سیستم مدار بسته خنک کننده آب برای خنک سازی کاتدها و ضخامت سنج.
  • نگهدارنده نمونه ها همراه با شاتر و فیدتروهای الکتریکی.
  • قابلیت نصب سامانه لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی.

لازم به ذکر است آخرین دستگاه نصب شده از این مدل در دانشکده برق دانشگاه صنعتی شریف آزمایشگاه SERL بوده است.

محصولات مشابه

Product Details
product image
Author Rating
1star1star1star1star1star
Rating
5 based on 1 votes
Brand Name
Nano-Strtuctured Coatings Co
Product Name
VCS100F