نمونه بسته بندی دستگاه

دستگاه لایه نشانی به روش اسپاترینگ مدل VCS100F، دارای جزئیات فنی زیر است:

  • سامانه لایه نشانی مگنترون اسپاترینگ متشکل از دو کاتد با قابلیت تنظیم زاویه در سه جهت،منبع تغذیه RF همراه با مچینگ باکس خودکار و منبع تغذیه DC
  •  سامانه لایه نشانی تبخیر حرارتی متشکل از منبع تغذیه با قابلیت ایجاد ۳۰۰ آمپر جریان،فیدتروهای جریان بالای آبگرد، نگهدارنده های بوته و نمایشگر جریان گذرنده از بوته
  • محفظه خلأ دو جداره آبگرد از جنس استیل
  • پمپ توربو مولکولار برای رسیدن به فشارهای پایین
  • پمپ روتاری دو مرحله ای پشتیبان
  • شیر هوشمند متصل به پمپ توربو برای تنظیم خودکار فشار داخل محفظه با قابلیت تنظیم از طریق مانیتور تاچ اسکرین
  • شیرهای الکترو پنوماتیک برای اتصال پمپ روتاری به محفظه خلأ و پمپ توربو
  • ضخامت سنج کریستالی به منظـور کنترل فرایند لایه نشانی در حیـن کار با دقت ۱ نانومتـر و قابلیت نصب ۴ کریستال کوارتز
  • فشار سنجـهای پیرانی و پنینگ با قابلـیت کنترل دقیق فرایند خلأ سازی  و  رسم گرافهای  فشار
  • شیرهای هوشمند MFC که کنتـرل دقیق جریان گازهای اسپاترینگ و راکتـیو را به داخل محفـظه خلأ به عهده دارند
  • سیستم مدار بسته خنک کننده آب برای خنک سازی کاتدها و ضخامت سنج
  • نگهدارنده نمونه ها همراه با شاتر و فیدتروهای الکتریکی
  • قابلیت نصب سامانه لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی

لازم به ذکر است آخرین دستگاه نصب شده از این مدل در دانشکده برق دانشگاه صنعتی شریف آزمایشگاه SERL بوده است.

محصولات مشابه

Product Details
product image
Author Rating
1star1star1star1star1star
Rating
۵ based on ۱ votes
Brand Name
Nano-Strtuctured Coatings Co
Product Name
VCS100F