گزارش شرکت Phenom-world  در رابطه با دستگاه اسپاترینگ شرکت پوشش های نانو ساختار

DSR1 full face

شرکت هلندی Phenom-world ، یکی از تولید کنندگان مطرح میکروسکوپ الکترونی در جهان است. همانطور که می دانیم تصویر برداری از نمونه ها توسط میکروسکوپ الکترونی نیاز به مرحله آماده سازی نمونه قبل از تصویر برداری دارد. فرایند آماده سازی نمونه، شامل نشاندن یک لایه نانومتری از مواد رسانای الکتریکی است که پرکاربردترین این مواد طلا وکربن هستند. در صورتی که مرحله آماده سازی نمونه به درستی صورت نپذیرد، تصویر مناسبی از میکروسکوپ الکترونی نمی توان دریافت کرد. شرکت Phenom-world طی مذاکراتی که با شرکت پوشش های نانوساختار انجام داده است، خواستار بررسی کیفیت عملکرد دستگاه SEM-Coater ساخت این شرکت (دستگاه اسپاترینگ تک کاتده مدل DSR1) شده است. طبق گزارش آقای مارسل لاروس، نماینده شرکت Phenom-world، نتایج کارکرد دستگاه اسپاترینگ تک کاتده مدل DSR1 به صورت زیر بوده است:

  • دستگاه از نظر ابعاد بسیار مناسب است و فضای کمی را اشغال می کند. در مقایسه با دستگاه مشابه که ساخت شرکت Quorum technology است، این دستگاه بسیار ابعاد مناسب تری دارد.
  • با توجه به جنس مواد تشکیل دهنده بدنه DSR1، دستگاه از دوام فیزیکی بالای برخوردار است.
  • سیم کشی دستگاه بسیار منظم وشکیل صورت گرفته است.
  • بخش های مربوط به الکترونیک و خلاء، کاملا در ماژول های متعدد و مستقل از یکدیگر قرار گرفته اند که در صورت بروز مشکل، به سادگی قابل تعویض و جابجایی هستند.
  • مراحل نصب و راه اندازی دستگاه بسیار ساده تر از سایر کوترها است.
  • پس از نصب و روشن کردن، دستگاه با سرعت مناسبی آماده به کار می شود.
  • رابط گرافیکی دستگاه با کاربر بسیار مناسب و گویا است، به طوری که بدون مطالعه راهنمای کاربری دستگاه، می توان به راحتی مراحل لایه نشانی را انجام داد.
  • نرم افزار دستگاه، قابلیت های فراوانی برای گزارش دهی و ذخیره اطلاعات مورد نیاز دارد.
  • دستگاه با سرعت مناسبی به فشار مطلوب می رسد.
  • پلاسمای تشکیل شده تمیز و پایدار است.
  • لایه نشانده شده روی نمونه از نظر یکنواختی و مسطح بودن در سراسر نمونه، بسیار مناسب است و طبق نظر من و همکارانم، در مقایسه با دستگاه شرکت Quorum technology از کیفیت بالاتری برخوردار است.
  • به طور کلی دستگاه به خوبی کلیه مراحل فرایند لایه نشانی را در زمان مناسب انجام می دهد.