دستگاه لایه نشانی اسپاترینگ سه کاتده-DST3-A

DST3-A, یک سیستم لایه نشانی در خلاء به روش اسپاترینگ (کندوپاش) با محفظه شیشه ای و پمپ توربومولکولار می باشد. این دستگاه مجهز به سه کاتد مگنترون آبگرد دو اینچی بوده و با دارا بودن منابع تغذیه RF,DC  قادر به لایه نشانی گروه وسیعی از مواد شامل فلزات (اکسیدی و غیر اکسیدی)، نیمه هادی و سرامیک ها می باشد.

 

DST3 با توجه به حالت قرار گرفتن کاتدهای آن دارای دو مدل می باشد:

DST3-A – کاتدهاي با زاويه

مدل DST3-A با بکارگيري سه کاتد زاویه دار با نقطه کانوني مشترک، قادر به انجام لايه نشاني متمرکز و همزمان دو يا سه کاتد است و علاوه بر ساخت چند لايه اي ها امکان آلياژ سازي را نیز فراهم می کند. قابليت چرخش زير لايه این سیستم باعث يکنواختي بسيار خوب لايه رشد داده شده مي شود. همچنين بدليل امکان زاويه دادن به زير لايه نسبت به کاتدها مي توان انواع لايه ها را به صورت ستوني رشد داد (Glad Sputtering).

DST3-S– کاتدهاي خطي (يا مستقيم)

مدل DST3-S با دارا بودن سه کاتد با قطر دو اینچ که بدون زاویه کنار یکدیگر قرار گرفته اند، براي لايه نشاني بر روي تک نمونه هاي بزرگ با قطري حدود 20 سانتي متر و يا چندين قطعه با ابعاد کوچکتر در اين محدوده مناسب مي باشد. اين دستگاه براي اطمينان از يکنواختي لايه در تمام سطح نمونه هاي بزرگ، مجهز به سه کاتد مگنترون گرديده است.

angels DST3-A
angels second DST3-A
  • دو عدد MFC
  • نگهدارانده زیر لایه با قابلیت چرخش و زاویه دادن
  • مجهز به هیتر زیرلایه 500 درجه
  • قابلیت اعمال ولتاژ بایاس به زیرلایه تا 350 ولت
  • کنترل نرخ لايه نشاني براي هر کاتد به صورت مستقل به منظور رسيدن به ساختار دانه ظريف تر
  • لایه نشانی محدوده وسیعی از فلزات (اکسیدی و غیراکسیدی)، سرامیک ها و دی الکتریک ها
  • قابلیت لایه نشانی به صورت پیوسته بدون محدودیت زمانی
  • یک سال گارانتی کامل
  • مجهز به پمپ توربو مولکولار خلاء بالا 90 l/s (آلماني) و پمپ پشتیبان دیافراگمی (آلمانی)
  • خلاء نهايي 8 × 10-5 torr
  • فشار سنج فول رنج (آلمانی)
  • سه عدد کاتد دو اينچي که با آب خنک می شوند
  • قابلیت لایه نشانی نمونه های بزرگ (DST3-S)
  • توانایی لایه نشانی همزمان از دو یا سه کاتد (Co-Sputtering) و آلیاژسازی (DST3-A)
  • ضخامت سنج کريستال کوارتز با دقت اندازه گيري يک نانومتر شامل اسيلاتور و نگهدارنده کريستال با قابليت اندازه گيري ضخامت در حين لايه نشاني
  • صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
  • نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه
DST3-T with ray

محفظه خلاء شیشه ای عاری از هر گونه آلودگی

محفظه خلاء دستگاه شامل یک مخزن استوانه اي از جنس پيرکس به قطر  300 mm و ارتفاع     200mm   همراه با اورينگهاي ال شکل می باشد. دستگاه مجهز به پمپ توربومولکولار خلاء بالا می باشد که توسط یک پمپ دیافراگمی پشتیبانی می شود و در نتیجه هیچ گونه آلودگی ناشی از روغن (که از ویژگی های پمپ های دیفیوژنی است)  وارد محفظه خلاء نمی شود و لایه نشانی در یک محیط بسیار تمیز انجام می شود.

کاتدهای آبگرد

دستگاه لایه نشانی اسپاترینگ (کند و پاش) مدل DST3-A  با دارا بودن سه کاتد آبگرد این امکان را فراهم می آورد تا کاربر بدون محدودیت زمانی و به صورت پیوسته لایه نشانی انجام دهد، با توجه به وجود شاتر، در مدل DST3-A این امکان وجود دارد که لایه نشانی تنها از یک کاتد صورت گیرد و بدون نیاز به خارج شدن از خلأ امکان انتخاب کاتد مورد نظر برای لایه نشانی چند لایه ها در این دستگاه در نظر گرفته شده است.

صفحه نمایش رنگی

دستگاه مجهز به یک مانیتور لمسی 7 اینچی تمام رنگی می باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده این نرم افزار، کاربر می تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به 300 لایه نشانی آخر را دارا می باشد.  کاربر می تواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف می شود.

touch DST3-A
DST3-A three shots

کاربردها

با توجه به این که دستگاه اسپاترینگ رومیزی DST3-A قادر به لایه نشانی محدوده وسیعی از مواد می باشد، حوزه کاربری وسیعی را نیز در بر می گیرد که از جمله آن ها می توان به موارد زیر اشاره کرد:

  • ساخت انواع سنسورهای لایه نازک و سلولهای خورشیدی
  • ساخت ادوات اپتیکی، نانو الکترونیک و میکروالکترونیک
  • ساخت سنسورهای مغناطیسی لایه نازک
  • GLAD Sputtering
  • آماده سازی نمونه های میکروسکوپ الکترونی (SEM)

تجهیزات اضافه و لوازم جانبی

دستگاه دارای هیتر تحت خلاء، شیشه یدک، کریستال کوارتز و تارگت های اسپاترینگ می باشد.

سایر ویژگی های دستگاه DST3

  • منبع تغذيه با جريان 0 تا 1000 ميلي آمپر
  • منبع تغذیه RF با توان 300 وات به همراه مچینگ باکس
  • تنظيم زمان و يا ضخامت فرايند لايه نشاني به صورت دستي و خودکار
  • مجهز به نگهدارنده نمونه قابل چرخش که توانايي کج شدن در جهت کاتد ها را دارد
  • دو عدد MFC براي کنترل فشار محفظه خلاء
  • کنترل خودکار توان لايه نشاني به صورت مستقل از فشار
  • کنترل خودکار دماي کاتدها در جهت بالا بردن طول عمر مگنت ها
  • قابليت ورود سريع داده ها با استفاده از کنترل لمسي و تمام خودکار
  • رسم منحني هاي فشار و ضخامت
  • انتقال منحني ها و داده هاي فرآيند لايه نشاني بوسيله ي USB به کامپيوتر
  • گاز نيتروژن براي انجام عمليات vent
  • برق ورودي: 220 V- 50 HZ- 16 A
  • وزن همراه با راک حدود Kg 90
  • ابعاد: قطر 50سانتي متر × عرض 65 سانتي متر × ارتفاع 60 سانتي متر

نمونه پکیج بسته بندی دستگاه ها

1Standard-Packaging-min-569x1024

نمونه ویدئو کلیپ دستگاه ها

کاتالوگ DST3-A

محصولات مشابه

Product Details
product image
Rating
5 based on 1 votes
Brand Name
Nano-Strtuctured Coatings Co
Product Name
DST3-A