دستگاه اسپاترینگ رومیزی  DSR1

این دستگاه با ابـعاد کوچک و قیمتی بسیار مناسب قادر است به روش اسپاترینگ اقدام به لایه نشانی هدفهایی از جنس فلزات نجیب مانند طلا، پلاتین و پالادیوم نموده و عمدتا به عنوان پوشش دهنده نمونه های میکروسکوپ الکترونی در آزمایشگاه های تحقیقاتی مورد استفاده قرار می گیرد. همچنین این دستگاه با قابلیت تجهیز به سیستم لایه نشان کربن امکان لایه نشانی کربن از نخ کربنی به روش تبخیر حرارتی را نیز فراهم می کند.  با کنترل اتوماتیـک یا دستی فرایند خـلأ سازی و لایه نشانی می توان لایه هایـی با دقت ضخـامت 1 نانومــتر تولید کرد.

مشخصات دستگاه

desk sputter coater-DSR1
  • دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات
  • یک سال گارانتی کامل
  • بسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حمل
  • دارای گواهی بین المللی CE  برای اجازه ورود به بازار اتحادیه اروپا
  • صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
  • نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه
  • پمپ روتاری دو مرحله ای
  • فشار نهایی 30 میلی تور و مناسب برای لایه نشانی فلزات غیر اکسیدی ( طلا، پالادیوم، پلاتین و …)
  • کنترل  نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر  با استفاده از ضخامت سنج کریستالی
  • کاتد  مگنترون اسپاترینگ  2 اینچ
  • نگهدارانده زیر لایه با قابلیت چرخش

کاربردها

  • سیستم لایه نشانی در خلاء مدل DSR1 برای ایجاد لایه های نانومتری ، ایجاد اتصالات الکتریکی بسیار ظریف در حوزه نانو تکنولوژی و ​میکرو الکترونیک بسیار قابل استفاده می باشد.
  • اصلی ترین کاربرد این دستگاه به عنوان پوشش دهنده نمونه های عایق به منظور مشاهده آنها با میکروسکوپ الکترونی (SEM) می باشد. همچنین در صورتی که دستگاه خریداری شده مجهز به لایه نشان کربن هم باشد، از آن می توان برای آماده سازی نمونه ها به منظور آنالیز با اشعه ایکس (EDXA ) استفاده کرد.
  • یکی دیگر از کاربردهای این دستگاه در آزمایشگاه های لایه نشانی، نانو تکنولوژی و الکترونیک بوده و ابزار آموزشی بسیار مناسبی برای آشنا نمودن دانشجویان و دانش آموزان با مقوله خلأ، پلاسما و لایه نشانی می باشد.
  • دستگاه دارای قابلیت لایه نشانی به صورت پیوسته به مدت 20 دقیقه بوده و پس از خنک شدن کاتد مجددا میتوان لایه نشانی را ادامه داد. برای لایه نشانی به صورت پیوسته و بدون توقف مدل DSRW1 که دارای کاتد آبگرد است برای استفاده توصیه می گردد.
  • برای لایه نشانی انواع فلزات اکسیدی و غیر اکسیدی مدل DST1 که مجهز به پمپ توربو مولکولار می باشد توصیه می گردد.

صفحه نمایش رنگی

دستگاه لایه نشانی به روش کند و پاش (اسپاترینگ) مدل DSR1 مجهز به یک مانیتور لمسی 7 اینچی تمام رنگی می باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده نرم افزار سیستم، کاربر می تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به 300 لایه نشانی آخر را دارا می باشد.
کاربر می تواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف می شود.

touch screen software-dsr1
colorfull monitor-dsr1-main

سیستم  چرخاننده زیر لایه

چرخش زیرلایه در هنگام لایه نشانی به منظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات DSR1 می باشد. همچنین دستگاه قابلیت مجهز شدن به سیستم چرخاننده سیاره ای زیرلایه را نیز دارا می باشد. حرکت سیاره ای ( در سه جهت x,y,z ) موجب می شود تا درون حفره های نمونه های متخلخل نیز به خوبی پوشش داده شوند.

نگهدارنده نمونه می تواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارنده های نمونه در این دستگاه بسیار ساده بوده و کاربر به سادگی قادر به انجام آن می باشد.

sample stages-dsr1
planetary-dsr1

سایر مشخصات دستگاه

تارگت های اسپاترینگ

  • تارگت طلا با خلوص 999/99% به قطر 56mm و ضخامت 0.1 – 0.3 mm
  • تارگت نقره با خلوص 999/99%به قطر 56mm و ضخامت 0.1 – 0.3 mm
  • تارگت پلاتین با خلوص 999/99%به قطر 56mm و ضخامت 0.1 – 0.3 mm


نخ کربنی

  • نخ کربنی با طول و ضخامت های مختلف قابل تامین می باشد.

لایه نشان کربن

دستگاه DSR1 به گونه ای طراحی شده است که قابلیت جایگذاری درب مجهز به لایه نشان کربن را دارا می باشد. برای این منظور فقط کافیست کاربر درب اسپاترینگ را از روی محفظه شیشه ای در حالت باز قرار دهد و درب لایه نشان کربن را روی محفظه قرار دهد. الکترودها به گونه ای در نظر گرفته شده اند که کاربر به راحتی می تواند نخ کربن را در مکان مناسب جای دهد.

  • کنترل فرآیند لایه نشانی بر اساس زمان یا ضخامت
  • قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
  • قابلیت نگهداری نمونه ها در خلأ
  • تنظیم فشار داخل محفظه توسط شیر سوزنی
  • شاتر الکترونیکی
  • منبع تغذیه DC با توان 80 وات
  • محفظه از جنس پیرکس با ارتفاع  mm 140 و قطر خارجی mm 170
  • ابعاد 45 Cm H x 50 Cm W x 37 Cm D
  • وزن دستگاه همراه با پمپ 42 کیلوگرم

تجهیزات اضافه و لوازم جانبی

  • دستگاه دارای لوازم جانبی مانند لایه نشان کربن، منبع تغذیه جریان بالا، چرخاننده نمونه، شیشه یدک، کریستال کوارتز، آچار های مورد نیاز دستگاه، نخ کربنی، تارگت های اسپاترینگ و … می باشد.

Packaging Sample

1Standard-Packaging-min-569x1024

ویدئو کلیپ DSR1

کاتالوگ DSR1