جدول بازده اسپاترینگ

جدول بازده اسپاترینگ حاوی اطلاعاتی راجع به بازده اسپاترینگ (میزان اتم های کنده شده از تارگت به ازای برخورد یک یون آرگون) در ولتاژ مشخص بر حسب الکترون ولت می باشد. همچنین در این جدول نرخ اسپاترینگ ماده مورد نظر  بر حسب آنگسترون بر ثانیه آورده شده است. مثلا در جدول زیر از  تارگت نقره (Ag) با چگالی 10.5 گرم بر سی سی به ازای برخورد هر یون آرگون در پلاسمای ایجاد شده با اختلاف پتانسیل 600 الکترون ولت 3.4 اتم کنده می شود و در هر ثانیه 380 آنگسترون بر روی زیرلایه، لایه نشانی صورت می گیرد.

 

Target Material Density (g/cc) Yield @ 600 ev Rate* (Å/sec)
Ag 10.5 3.4 380
Al 2.7 1.2 170
Al98Cu2 2.82 170
Al2O3 3.96 40
Al99Si1 2.66 160
Au 19.31 2.8 320
Be 1.85 0.8 100
B4C 2.52 20
BN 2.25 20
C 2.25 0.2 20
Co 8.9 1.4 190
Cr 7.2 1.3 180
Cu 8.92 2.3 320
Fe 7.86 1.3 180
Ge 5.35 1.2 160
Hf 13.31 0.8 110
In 7.3 800
In2O3 7.18 20
ITO 7.1 20
Ir 22.42 1.2 135
Mg 1.74 1.4 200
MgO 3.58 20
Mn 7.2 1.3 180
Mo 10.2 0.9 120
MoS2 4.8 40
MoSi2 6.31 110
Nb 8.57 0.6 80
Ni 8.9 1.5 190
Ni81Fe19 8.8 110
Ni80Cr20 8.5 140
Ni93V7 8.6 100
Os 22.48 0.9 120
Pd 12.02 2.4 270
Pt 21.45 1.6 205
Re 20.53 0.9 120
Rh 12.4 1.5 190
Ru 12.3 1.3 180
Si 2.33 0.5 80
SiC 3.22 50
SiO2 2.63 70
Si3N4 3.44 40
Sn 5.75 800
SnO 6.45 20
Ta 16.6 0.6 85
TaN 16.3 40
Ta2O5 8.2 40
Th 11.7 0.7 85
Ti 4.5 0.6 80
TiN 5.22 40
TiO2 4.26 40
U 19.05 1 155
V 5.96 0.7 85
W 19.35 0.6 80
W90Ti10 14.6 80
WC 15.63 50
Y 4.47 0.6 85
YBCO 5.41 10
Zn 7.14 340
ZnO 5.61 40
ZnS 3.98 10

Zr

6.49 0.7

85

ZrO2 5.6

40